MANUAL DE INSTRUÇÕES T‑STATION 85docs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/Documentation/Instructi… · Bomba de diafragma - XDD1 A746-02-885 Bomba de palhetas rotativas - E2M0.7/E2M1.5

MANUAL DE INSTRUÇÕES T‑STATION 85

Número da publicação: D395-94-856Edição: ATradução das instruções originais

edwardsvacuum.com

Nota de direitos autorais©Edwards Limited 2017. Todos os direitos reservados.

Créditos de marca registradaEdwards e a logomarca da Edwards são marcas registradas da Edwards Limitada.

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D395-94-856A - Nota de direitos autorais

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Declaração de conformidade

Nós, Edwards, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, UK

declaramos, sob nossa inteira responsabilidade, como fabricantes e cidadãos na UE, autorizados a montar o processo técnico, que o(s) produto(s)

T-Station 85

T S 8 5 - X X – 0 X X

Os números do material compreendem uma família de produtos onde as seguintes características podem variar:- flanges de entrada da bomba turbomolecular, alimentação de energia elétrica e bombas de apoio.

Bombas de apoio: E2M1.5

XDD1

ao(s) qual(is) essa declaração se refere está(ão) em conformidade com as seguintes normas ou outros documentos normativos

ENISO12100:2010 Segurança da máquina. Princípios gerais para projetos.

Avaliação de risco e redução de risco EN61010-1:2010 Requisitos de segurança para equipamento elétrico para

medição, controle e uso em laboratório. Requisitos gerais EN61326-1:2013 Equipamento elétrico para medição, controle e uso em laboratório. (Emissões Classe B, Requisitos EMC. Requisitos gerais

Imunidade industrial)

e respeita todas as provisões relevantes de

2006/42/CE Diretiva de Máquinas

2014/35/UE Diretiva de baixa tensão 2014/30/UE Diretiva de compatibilidade eletromagnética (EMC) 2011/65/UE Diretiva de restrição de determinadas substâncias perigosas (RoHS)

Nota: Esta declaração abrange todos os números de série do produto a partir da data em que esta declaração foi assinada.

01.11.2016, Burgess Hill Mr Peter Meares, Senior Technical Support Manager Data e local

Este produto foi fabricado de acordo com um sistema de qualidade certificado para ISO 9001:2008

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Sumário

Nota de direitos autorais........................................................................................ 2Créditos de marca registrada.................................................................................. 2Publicações relacionadas........................................................................................ 2Lista de Figuras....................................................................................................... 7Lista de Tabelas.......................................................................................................8

Segurança e conformidade 9Definição de Advertências e Avisos................................................................................ 9Símbolos de segurança................................................................................................... 9

Descrição geral 10Visão geral.................................................................................................................... 10

Instalação 12Segurança da instalação............................................................................................... 12Desembalagem e inspeção........................................................................................... 12Posicione a T‑Station 85 .............................................................................................. 13Fixação na parte superior da bancada..........................................................................13Encha a bomba com óleo............................................................................................. 13Conecte ao sistema de vácuo....................................................................................... 14Conecte o sistema de exaustão/extração..................................................................... 15Conecte a alimentação elétrica.................................................................................... 15Configure o T‑Station 85 ..............................................................................................15

Atraso da bomba turbo......................................................................................16Conexão a um vacuômetro................................................................................ 16

Comissionamento da instalação................................................................................... 17

Operação 18Descrição do painel de controle................................................................................... 18Inicialização.................................................................................................................. 19Estrutura do menu........................................................................................................19

Tela do turbo (TURBO)....................................................................................... 20Tela do medidor (GAUGE).................................................................................. 22Tela da válvula de respiro (VENT).......................................................................23Tela do ponto de ajuste do turbo.......................................................................24Tela de calibração do medidor (CAL)................................................................. 25Tela de unidades................................................................................................ 26

Controle de lastro de gás (E2M1.5).............................................................................. 27Falha na alimentação elétrica....................................................................................... 27

Manutenção 28Segurança em manutenção.......................................................................................... 28Programa de manutenção............................................................................................ 28Inspeção de mangueiras, tubulações e conexões.........................................................29Configurações padrão de fábrica.................................................................................. 29

D395-94-856A - Sumário

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Detecção de falhas 30A T‑Station 85 falhou ao se inicializar...........................................................................30O máximo de pressão não pode ser alcançado............................................................ 30A bomba de apoio está ruidosa.................................................................................... 30A bomba de apoio está com vazamento de óleo..........................................................30A bomba turbo está muito ruidosa ou há vibração em excesso ou ambos.................. 31Números de erro.......................................................................................................... 31

Armazenamento 33

Descarte 34

Manutenção 35

Peças de reposição 36

Acessórios 37Válvula de respiro TAV e adaptador de porta de respiro (para bomba turbo

nEXT85)................................................................................................................... 37Filtro de vapor de saída (para bomba de vácuo rotativa E2M1.5)............................... 37

Referências técnicas 38Condições operacionais e de armazenamento.............................................................38Dados mecânicos.......................................................................................................... 38Dados de desempenho da bomba................................................................................39Meio bombeado........................................................................................................... 40Especificação do gás de respiro e dos dados do controle de respiro........................... 42Materiais expostos a gases bombeados....................................................................... 42Conexões elétricas........................................................................................................ 43Dados elétricos............................................................................................................. 44

D395-94-856A - Sumário

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Lista de Figuras

Figura 1: Visão geral da T‑Station 85....................................................................................... 11Figura 2: Atraso de partida da bomba turbomolecular com bomba de diafragma XDD1....... 16Figura 3: Tela do painel frontal................................................................................................ 18Figura 4: Estrutura do menu....................................................................................................20Figura 5: Tela do turbo (TURBO).............................................................................................. 21Figura 6: Tela do medidor (GAUGE)......................................................................................... 22Figura 7: Tela da válvula de respiro (VENT)............................................................................. 23Figura 8: Tela do ponto de ajuste do turbo............................................................................. 24Figura 9: Modo de entrada do número de ponto de ajuste turbo.......................................... 25Figura 10: Tela de calibração do medidor (CAL)...................................................................... 26Figura 11: Tela de unidades..................................................................................................... 26Figura 12: Dimensões - T‑Station 85........................................................................................39Figura 13: Taxa máxima permitida de aumento de pressão durante o respiro: pressão

versus tempo (bomba inicialmente a velocidade total)..................................................... 42Figura 14: Conexões de pino para soquetes do tipo "D", subminiatura de 15 vias................. 43Figura 15: Conexões de pino para um RJ45 de 8 vias.............................................................. 44Figura 16: Formulário HS1....................................................................................................... 46Figura 17: Formulário HS2....................................................................................................... 47

D395-94-856A - Lista de Figuras

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Lista de Tabelas

Tabela 1: Lista de verificação de itens..................................................................................... 12Tabela 2: Símbolos do painel frontal e suas funções............................................................... 18Tabela 3: Itens do menu.......................................................................................................... 19Tabela 4: Ações das teclas na tela do turbo............................................................................ 21Tabela 5: Ações das teclas na tela do medidor........................................................................22Tabela 6: Tela da válvula de respiro (VENT)............................................................................. 23Tabela 7: Ações das teclas na tela da válvula de respiro......................................................... 24Tabela 8: Ações da chave da tecla de ponto de ajuste turbo.................................................. 25Tabela 9: Ações das teclas da tela de calibração de medidor..................................................26Tabela 10: Ações das teclas na tela de unidades.....................................................................27Tabela 11: Números de erro.................................................................................................... 31Tabela 12: Kits de válvula de respiro TAV e adaptador............................................................ 37Tabela 13: Filtro de vapor de saída..........................................................................................37Tabela 14: Condições operacionais e de armazenamento...................................................... 38Tabela 15: Dados mecânicos................................................................................................... 38Tabela 16: Dados de desempenho da bomba - nEXT85H........................................................39Tabela 17: Dados de desempenho - nEXT85D......................................................................... 40Tabela 18: Especificação do gás de respiro e controle de respiro........................................... 42Tabela 19: Conexões elétricas................................................................................................. 43Tabela 20: Pinagem do conector da bomba turbo.................................................................. 43Tabela 21: Pinagem do conector do medidor ativo.................................................................44Tabela 22: Dados elétricos.......................................................................................................45

D395-94-856A - Lista de Tabelas

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Segurança e conformidade

Definição de Advertências e AvisosAs informações importantes de segurança estão destacadas como instruções deADVERTÊNCIA e AVISO; estas instruções devem ser cumpridas.

A utilização de ADVERTÊNCIAS e AVISOS é definida a seguir.

ADVERTÊNCIA:Advertências significam que a não observância da instrução pode resultar emferimentos ou morte. O símbolo real mostrado varia de acordo com o risco.

AVISO:Avisos significam que a não observância da instrução pode resultar em danos aosequipamentos, equipamentos associados ou ao processo.

Símbolos de segurançaOs símbolos de segurança, nos produtos, indicam áreas onde cuidado e atenção sãoexigidos.

Os seguintes símbolos de segurança podem ser utilizados no T‑Station 85 ou nadocumentação do produto.

Advertência/Aviso

Deve-se seguir instruções adequadas para segurança ou aviso para riscospotenciais existentes.

Advertência - Voltagem perigosa

Indica perigos decorrentes de voltagens perigosas.

Advertência - Superfícies quentes

Indica que o item marcado pode estar quente e não deve ser tocado semtomar-se precauções.

D395-94-856A - Segurança e conformidade

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Descrição geral

Para uma descrição geral dos principais componentes utilizados na T‑Station 85, selecione omanual adequado de instruções relacionado para cada tipo de produto.

Bomba de diafragma XDD1 A746-02-885

Bombas de palhetas rotativas E2M0.7/E2M1.5 A371-32-880

Bombas turbomoleculares nEXT85 B8G0-00-880

Visão geralA T‑Station 85 é um sistema de bombeamento compacto totalmente automático, adequadopara uma ampla gama de aplicações de vácuo.

A T‑Station 85 pode ser fornecida com bomba de diafragma sem óleo XDD1 ou uma bombade palhetas rotativas E2M1.5. Ambas as variantes do sistema utilizam uma bombaturbomolecular nEXT85.

A T‑Station 85 é controlada por um módulo de controle com uma tela de toque de fácilutilização. Uma entrada de medição única incluída pode ser conectada a uma linha deindicadores ativos da Edwards, permitindo medição de pressão e/ou gerenciamento decontrole da bomba turbomolecular.

O tamanho compacto da T‑Station 85 é ideal para utilização em bancadas ou plataformasmóveis adequadas. A configuração de sistema aberto permite fácil manutenção doscomponentes principais da bomba.

D395-94-856A - Descrição geral

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Figura 1 Visão geral da T‑Station 85

A. Visão frontal (T‑Station com opcional de bomba de apoio E2M1.5)B. Visão traseira (T‑Station com opcional de bomba de apoio XDD1)

1. Unidade de controle da T‑Station2. Controle de lastro de gás E2M1.53. Bomba de apoio4. Entrada da bomba turbomolecular5. Conector da bomba turbomolecular

6. Entrada do vacuômetro7. Pontos de fixação da T‑Station para

montagem em bancada8. Alças de elevação da T‑Station9. Conector de rede elétrica da bomba de

apoio10. Entrada da linha de alimentação

D395-94-856A - Descrição geral

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Instalação

Segurança da instalação

ADVERTÊNCIA:Risco de lesão ou danos ao equipamento. Siga as instruções de segurança e tome notade todas as precauções apropriadas.

• Ao consultar um manual fornecido como Publicação Suplementar, deve-se seguirtodas as instruções de ADVERTÊNCIA e AVISO do manual.

• Um técnico, devidamente treinado e supervisionado, deve instalar a T‑Station 85.• Verifique antes do início do trabalho se todas as peças necessárias estão disponíveis

e se são do tipo correto.• Verifique se o técnico de instalação está familiarizado com os procedimentos de

segurança relacionados aos produtos bombeados.• Use as roupas de segurança apropriadas quando entrar em contato com

componentes contaminados.• Isole os outros componentes do sistema da alimentação elétrica de modo que não

possam ser operados acidentalmente.• Não reutilize anéis-O e vedações auxiliares se estiverem danificados.• Descarte componentes, graxa e óleo de maneira segura (consulte Descarte na

página 34).• Tome o cuidado de proteger as faces de vedação contra danos.• Recomenda-se realizar um teste de vazamento do sistema após a instalação

terminar, para garantir um ótimo desempenho do vácuo.

Desembalagem e inspeção1. Remova a tampa externa e todos os materiais de embalagem, remova as coberturas

protetoras da porta de saída e de entrada, inspecione se há danos no sistema.2. Se a T‑Station 85 estiver danificada, notifique o fornecedor e o transportador por

escrito dentro de três dias; informe o número de item da T‑Station 85 juntamentecom o número do pedido e o número da fatura do fornecedor. Guarde todos osmateriais de embalagem para inspeção. Não use a bomba se estiver danificada.

3. Verifique se a embalagem contém os itens listados na Tabela 1 na página 12. Sealgum desses itens estiver faltando, notifique seu fornecedor por escrito dentro detrês dias.

4. Se a bomba não for usada imediatamente, substitua as tampas protetoras earmazene-a em condições adequadas, conforme descrito em Armazenamento napágina 33.

Tabela 1 Lista de verificação de itens

Quantidade Descrição Verificação

1 T‑Station 85 ❏

1 CD com manual de instruções P450-00-000 ❏

D395-94-856A - Instalação

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Quantidade Descrição Verificação

1 Óleo Ultragrade 15, 1 litro (fornecido somente com aE2M1.5)

❏

1 Vedação de entrada (tanto anel de retenção confinado,como vedação auxiliar ou gaxeta de compressão decobre, adequados para o tipo de flange de entrada)

❏

Posicione a T‑Station 85

ADVERTÊNCIA:Objetos pesados podem causar tensão muscular ou lesões nas costas. A massa daT‑Station 85 diferirá, dependendo do modelo fornecido.

ADVERTÊNCIA:A bomba turbo utilizada na T‑Station 85 armazena uma grande quantidade de energiacinética quando estiver funcionando em velocidade máxima. No caso improvável deuma falha (interrupção do rotor), a energia armazenada poderá causar um ligeiromovimento da plataforma da T‑Station 85. Se a T‑Station 85 estiver operando em umabancada, aconselhamos realizar os seguintes passos: (a) Posicione a T‑Station 85 a pelomenos 10-15 cm de distância da borda da bancada e de dispositivos adjacentes e/ou (b)Amarre ou fixe a T‑Station 85 à parte superior da bancada; consulte Fixação na partesuperior da bancada na página 13.

AVISO:Ao posicionar a T‑Station 85, tome cuidado para não restringir a grade de ventilaçãolocalizada sob a base do sistema. A falha em observar esta instrução poderá resultar emsuperaquecimento da bomba turbomolecular.

Fixação na parte superior da bancadaExistem dois pontos de fixação M8 localizadas na traseira T‑Station 85 da base (Figura 1 napágina 11, item 7). Recomenda-se utilizar suportes ou correias adequados (não fornecidos),para fixar o T‑Station 85 à parte superior da bancada, para prevenir movimento excessivo noevento improvável de uma falha da bomba.

Observação:As correias ou suportes não podem ser fornecidos como o melhor tipo de fixação para aparte superior da bancada do cliente, já que a localização não pode ser determinada.Recomenda-se o fornecimento ou a fabricação local dessas fixações.

Encha a bomba com óleoProcedimento ao enchimento da bomba com o óleo recomendado.

Se a T‑Station 85 usar uma bomba de palhetas rotativas E2M1.5, é necessário abastecê-lacom a quantidade correta de óleo (fornecido) antes de operar o equipamento. Para obtermais informações, consulte o manual da Bomba de palhetas rotativas EM A371-32-880.


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Encha a bomba com óleo da seguinte forma:

1. Remova o bujão de abastecimento de óleo.2. Despeje óleo na bomba até o nível de óleo atingir a marca MÁX na chanfradura na

parte superior do visor. Se o nível de óleo ficar acima da marca MÁX, remova obujão de drenagem e drene o excesso de óleo da bomba.

3. Após alguns minutos, verifique novamente o nível de óleo. Se o nível de óleo estiverabaixo da marca MÁX, coloque mais óleo na bomba.

4. Recoloque o bujão de abastecimento de óleo. Aperte firme o bujão manualmente.Não aperte mais que o necessário.

Conecte ao sistema de vácuo

ADVERTÊNCIA:Conecte a entrada da bomba turbo ao sistema de vácuo, antes de aplicar energia àT‑Station 85. Isso garante que a bomba não será operada acidentalmente causandolesão.

ADVERTÊNCIA:Ao instalar o sistema de vácuo diretamente na T‑Station 85, o peso do sistema nãodeverá exceder a 10 kg e o centro de gravidade deverá ser posicionado lateralmente,dentro dos limites da placa de base. Se este não for o caso, o sistema de vácuo deveráser apoiado para garantir que a T‑Station 85 não tombe.

1. A bomba turbo pode ser fixada com segurança ao sistema de vácuo através doflange de entrada. Certifique-se de que a entrada da bomba e todos oscomponentes instalados na entrada da bomba estejam limpos e livres de poeira. Sea entrada da bomba não for mantida limpa, o tempo de inatividade da bombapoderá aumentar.

2. Se a bomba possuir um flange CF, utilize a gaxeta de cobre de compressão fornecidacom a bomba e utilize um complemento completo de parafusos para conectar oflange de entrada da bomba ao sistema de vácuo.

3. Se a bomba possuir um flange ISO, utilize um mínimo de quatro grampos da garra(cada um com torque a 10 Nm) para conectar o flange de entrada da bomba aosistema de vácuo. Alternativamente, utilize um colar rotativo e a tela de entradacombinada e o anel de retenção confinado fornecido com a bomba para conectar oflange de entrada da bomba ao sistema de vácuo; utilize um complementocompleto de parafusos com o colar giratório.

4. Se a bomba possuir um flange NW, utilize o anel centralizador fornecido com abomba e uma braçadeira NW de metal para conectar o flange de entrada da bombaao sistema de vácuo.

5. Todos os parafusos do flange de entrada devem ser reapertados assim que osistema estiver sob vácuo. Certifique-se de que não há torques ou outras forçastransmitidas para a bomba a partir do sistema de vácuo ou das tubulaçõesassociadas.


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Conecte o sistema de exaustão/extração

ADVERTÊNCIA:Exaurir os gases perigosos e misturas de gases com segurança. Não exponha as pessoasa esses gases. Ao bombear gases ou vapores nocivos, observe as recomendações desegurança do fornecedor do gás/vapor.

Observação:Esta seção é aplicável somente a versões E2M1.5.

O sistema de exaustão deve ser configurado para que a pressão máxima na saída da bombanão exceda a 0,5 barg (1,5 bar absoluto, 1,5 × 105 Pa) com a bomba em plena produção.

1. Certifique-se de que o duto de exaustão não fique obstruído.2. Ao utilizar-se uma válvula de isolamento de exaustão, certifique-se de que a bomba

não possa ser operada com a válvula fechada.

Conecte a alimentação elétrica

ADVERTÊNCIA:Certifique-se que a instalação elétrica da bomba está em conformidade com osrequisitos de segurança locais e nacionais. Esta deve ser conectada a uma alimentaçãoelétrica protegida e dotada de fusíveis com um ponto de aterramento adequado.

AVISO:Sempre realize as conexões elétricas para T‑Station 85 após o equipamento ter sidoinstalado no sistema de vácuo. Sempre desconecte a alimentação elétrica deT‑Station 85 antes de remover o equipamento do sistema de vácuo.

Verifique se a alimentação elétrica é adequada para este equipamento. Consulte Tabela 22na página 45 para obter os requisitos elétricos para este equipamento.Realize as conexões elétricas para T‑Station 85 utilizando um cabo equipado com umconector IEC60320.Uma série de cabos adequados está disponível em seu fornecedor.

Configure o T‑Station 85Quando fornecida pela fábrica, a T‑Station 85 controlará o sistema da seguinte maneira:

A partida do sistema é selecionada:

• A válvula de respiro TAV se fechará.• A bomba de apoio será acionada.• A bomba turbomolecular começará a acelerar até a velocidade rotacional máxima.

* Esta operação é referente a sistemas que foram equipados com uma válvula de respiro TAV da Edwards(acessório opcional). Para obter mais opções de respiro consulte Tela da válvula de respiro (VENT) napágina 23.


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Desligar sistema é selecionado:

• A bomba de apoio será desativada.• O drive da bomba turbomolecular será desativado e a bomba começará a

desacelerar.• A válvula de respiro TAV será aberta totalmente a partir de 50% da velocidade

rotacional máxima.

Atraso da bomba turboA T‑Station 85 pode ser configurada para retardar a bomba turbo, após a bomba de apoioter sido inicializada.

Consulte Tela do ponto de ajuste do turbo na página 24. O retardamento pode ajudar aprevenir a aceleração da bomba turbomolecular sob alta pressão por um períodoprolongado, se o volume sendo bombeado for maior que 2 litros. Esta opção éespecialmente útil se a T‑Station 85 utilizar uma bomba de diafragma XDD1.

A Figura 2 na página 16 mostra o período recomendável de retardamento para umacombinação de bomba turbo/XDD1.

Figura 2 Atraso de partida da bomba turbomolecular com bomba de diafragma XDD1

Conexão a um vacuômetroPode-se instalar um único medidor ativo compatível na T‑Station 85.Instale o medidor utilizando um cabo de medidor ativo Edwards no conector do medidorlocalizado na lateral do alojamento do controlador (consulte Figura 1 na página 11, item 6).Para controle e configuração do medidor ativo, consulte Tela do medidor (GAUGE) napágina 22.Os seguintes medidores ativos Edwards são adequados para utilização com a T‑Station 85:

• Vacuômetro ativo APG100 Pirani• Medidor de convecção linear ativo APGX-H


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• Medidor magnetron invertido ativo AIM-X• Medidor de tensão ativo ASG

Comissionamento da instalaçãoApós a instalação da T‑Station 85, o sistema deverá ser testado.

Utilize o seguinte procedimento para testar o sistema:

1. Certifique-se de que todas as conexões elétricas estão seguras.2. Ligue a alimentação elétrica e o sistema de exaustão/extração (quando disponível).3. Para operar o sistema, pressione a tecla PARTIDA/PARADA. Verifique se o

equipamento opera conforme descrito em .4. Verifique se a bomba turbo atinge a velocidade normal. Se a entrada da bomba

estiver valvulada ou bloqueada, deverá levar aproximadamente 100 - 150 segundospara o turbo atingir a velocidade normal. Se uma câmara de vácuo estiver conectadana entrada da bomba, esse tempo poderá ser maior.

5. Para desligar o sistema, pressione a tecla PARTIDA/PARADA seguida pela teclaENTER para confirmar. Verifique se o equipamento fecha conforme descrito em .

Para obter detalhes operacionais completos e como navegar utilizando o teclado de controledo painel frontal, consulte Estrutura do menu na página 19.


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Operação

ADVERTÊNCIA:Não tente mover a T‑Station 85 enquanto a bomba turbo estiver girando. Isso poderácausar danos graves na bomba e lesões pessoais.

AVISO:Para se familiarizar com as bombas de vácuo instaladas na T‑Station 85, é aconselháveller os manuais de instruções relevantes (consulte Descrição geral na página 10).

Descrição do painel de controleFigura 3 Tela do painel frontal

1. Partida/Parada2. Enter

3. Avançar

Tabela 2 Símbolos do painel frontal e suas funções

Símbolo do teclado Nome Função

1 PARTIDA/PARADA Liga e desliga a bomba.

Retorna à tela do menu turbo.

2 ENTER Seleciona ou confirma a opção atual domenu.

Controla medidores ativos.

3 AVANÇAR Avança para o próximo menu.

Rola através das opções do menu.

Os LEDs ao longo do topo da tela da T‑Station 85 indicam qual tela do menu está sendomostrada na tela numérica. Para mover para o próximo item do menu, pressione a teclaAVANÇAR e, para retornar ao menu turbo, pressione a tecla PARTIDA/PARADA. Os itensdisponíveis estão listados em ordem em Tabela 3 na página 19.

D395-94-856A - Operação

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Tabela 3 Itens do menu

Tela do turbo (TURBO)

Tela do medidor (GAUGE)

Tela da válvula de respiro (VENT)

Tela de ponto de ajuste do turbo (TSP)

Tela de calibração do medidor (CAL)

Tela de unidades

InicializaçãoAo aplicar energia à T‑Station 85 todos os LEDs na tela permanecerão acesos durante2 segundos para confirmar a operação. A versão do software será exibida por mais2 segundos. Caso necessário, entre em contato com a Edwards para suporte relativo aT‑Station 85, e mantenha disponível este número da versão do software.

Estrutura do menuA Figura 4 na página 20 mostra os atalhos da tela de visualização e a estrutura de menu datela de controle da T‑Station 85. Também fornecem uma indicação sobre para onde cadabotão o leva no layout do menu.


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Figura 4 Estrutura do menu

Tela do turbo (TURBO)Ao selecionar-se a tela turbo, o LED turbo é aceso e a velocidade da bomba turbomolecularé exibida em porcentagens da velocidade máxima.

Se não houver bomba turbo conectada, a tela indicará "---".


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Figura 5 Tela do turbo (TURBO)

Inicie a bomba com a tela turboQuando a tecla PARTIDA/PARADA for pressionada, as bombas turbo e as bombas de apoiosão iniciadas. A tela mostra que a bomba turbo está acelerando piscando a porção superioresquerda do sinal de porcentagem. Quando a bomba turbo atinge a velocidade normal(> 80% do padrão), o sinal de porcentagem deixa de piscar e permanece estável.Se um ponto de ajuste do turbo (TSP) tiver sido definido, somente a bomba de apoio seráiniciada quando a tecla PARTIDA/PARADA for pressionada. O LED do TSP pisca até o ponto deajuste ser atingido. Assim que o ponto de ajuste for atingido, a bomba turbo é iniciada e oLED do TSP é desligado. Se nenhum ponto de ajuste do turbo tiver sido definido, o LED doTSP permanece desligado.

Detenha a bomba com a tela turbo

1. Para deter as bombas, pressione a tecla PARTIDA/PARADA; a tela mostrará "Stop"por três segundos.

2. Pressione a tecla ENTER dentro desse período para parar as bombas. Se a teclaENTER não for pressionada ou se as teclas PARTIDA/PARADA ou AVANÇAR forempressionadas, a tela mostra a velocidade da bomba turbo e as bombaspermanecerão em operação.Quando a bomba turbo está desacelerando, a porção inferior direita do sinal deporcentagem pisca até que a bomba se detenha completamente.

Ações das teclas na tela do turbo

Tabela 4 Ações das teclas na tela do turbo

Teclas Pressionamento curto Pressionamento longo

INICIAR INICIE o turbo, ou incialize asequência de PARADA do turbo, ou

cancele a PARADA do turbo, ouforce a PARADA do turbo quando

em erro

-

ENTER Reconhecer PARADA do turbo Exibição do código de falha quandoem erro

AVANÇAR Vá para a tela do medidor, oucancele a PARADA do turbo

Rolar através das telas do menu


Página 21

Tela do medidor (GAUGE)Quando a tela do medidor estiver selecionada, o LED do medidor fica aceso e a leitura dapressão do medidor é exibida nas unidades selecionadas.

Se não houver medidor conectado, a tela indicará "---".

Conectar um medidorQuando um medidor é conectado pela primeira vez, a tela indica "ID" seguido por umnúmero para identificar o novo medidor.

Se o medidor é um medidor de tensão ativo (ASG), a tela irá selecionar a faixa ASG; casocontrário, a tela reverte para exibição da leitura da pressão. Se o tipo de medidor não forcompatível, a tela indicará "???". Quando não houver medidor conectado, a tela indicará"---".

Figura 6 Tela do medidor (GAUGE)

Selecionar faixa ASGQuando um ASG estiver conectado, a tela muda para selecionar a faixa ASG. 1000 mbar sãoassumidos por padrão, e a tela pisca "1.03".Pressione a tecla AVANÇAR para selecionar entre 1000 e 2000 mbar e, em seguida, pressionea tecla ENTER para confirmar a seleção.

Controle LIGA/DESLIGA do medidorMedidores com suporte para controle LIGA/DESLIGA (por exemplo, medidores AIM) podemser ligados e desligados utilizando a tecla ENTER.

Quando conectado pela primeira vez, o medidor está no estado DESLIGADO e a tela indica"OFF". Quando o medidor é ativado, a tela indicará "Str" enquanto o medidor estiverinicializando e depois exibirá a pressão.

Ações das teclas na tela do medidor

Tabela 5 Ações das teclas na tela do medidor


INICIAR Vá à tela turbo -

ENTER Controle LIGA/DESLIGA do medidorcompatível ou reconhecer erro

-

AVANÇAR Vá para a tela de controle derespiro

Rolar através das telas do menu


Página 22

Tela da válvula de respiro (VENT)Se uma válvula de respiro solenoide TAV estiver conectada ao módulo da bomba turbo, aoperação da válvula será controlada pela tela da válvula de respiro.

Quando a tela da válvula de respiro estiver selecionada, o LED de respiro fica aceso e seráexibida a configuração atual do controle da válvula de respiro. O padrão é "50%". A tela daválvula de respiro não estará disponível se a bomba turbo estiver em operação.

1. Selecione a configuração apropriada, tanto para abertura normal como para ofechamento normal da válvula de respiro.

2. Para alterar as configurações da válvula de respiro pressione a tecla ENTER, emseguida, utilize a tecla AVANÇAR para escolher entre 50%, Ctrld e FAN.

3. Pressione a tecla ENTER novamente para confirmar a seleção.

Tabela 6 Tela da válvula de respiro (VENT)

50

no

Válvulas de respiro normalmente abertas. A válvula de respiro abre-se totalmentequando a velocidade da bomba turbo cai abaixo de 50% da velocidade rotacionaltotal.

Ctl

no

Válvulas de respiro normalmente abertas. Respiro controlado a partir de 100% a50% da velocidade rotacional total: a válvula de respiro abre-se totalmente abaixode 50%.

Fan Válvulas de respiro normalmente abertas. A conexão da válvula de respiro nabomba turbo é permanentemente energizada, de modo que a válvula de respiropermaneça fechada. Isso também pode ser utilizado para fornecer energia a umresfriador de ar (por exemplo, ACX75).

Off Válvulas de respiro normalmente fechadas. A conexão da válvula de respiro dabomba turbo está permanentemente inabilitada, e assim a válvula de respiropermanecerá fechada.

50

nc

Válvulas de respiro normalmente fechadas. A válvula de respiro irá abrir-se quandoa velocidade da bomba turbo tiver caído abaixo de 50% durante a parada, porémsem condições de falha.

Ctl

nc

Válvulas de respiro normalmente fechadas. Ventilação controlada desde 100% a50% de velocidade rotacional total, a válvula de respiro abre-se totalmente abaixode 50% durante a parada, porém sem condições de falha.

Figura 7 Tela da válvula de respiro (VENT)


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Ações das teclas na tela da válvula de respiro

Tabela 7 Ações das teclas na tela da válvula de respiro



ENTER Entrar no modo de edição ouconfirmar seleção

-

AVANÇAR Próximo à opção de respiro, ou vá àtela de controle TSP

Role através das opções do respiroem modo edição, ou role através

dos menus das telas

Tela do ponto de ajuste do turboA tela do ponto de ajuste do turbo é utilizada para configurar o atraso no arranque dabomba turbo.

Quando a tela do ponto de ajuste do turbo estiver selecionada, o LED do TSP permaneceráaceso e o ponto de ajuste atual será exibido. O padrão é "DESLIGADO". O menu de ponto deajuste permanece indisponível enquanto a bomba turbo estiver em operação ou quando asunidades selecionadas forem em Volts.

1. Para alterar o ponto de ajuste do turbo, pressione a tecla ENTER, em seguida utilizea tecla AVANÇAR para escolher entre desligado, atraso de tempo e ponto de ajusteda pressão.

2. Pressione a tecla ENTER novamente para confirmar a seleção.3. Quando atraso de tempo for selecionado, a tela indicará o atraso de tempo em

segundos. O tempo padrão é de 120 seg. Isto significa que a bomba turbo seráiniciada após um atraso de 120 seg. após a tecla PARTIDA ser pressionada. Paraalterar o valor do tempo de atraso, pressione e segure a tecla ENTER para iniciar omodo de entrada de número.

4. Se um medidor ativo estiver conectado ao sistema, é possível utilizar o ponto deajuste de pressão para iniciar a bomba turbo, assim que a pressão cair abaixo dovalor do ponto de ajuste. Quando a pressão estiver selecionada, a tela indicará apressão do ponto de ajuste. A pressão padrão é de "5,00" mbar, mostrada como umexponencial. Para alterar o ponto de ajuste da pressão, pressione e segure a teclaENTER para iniciar o modo de entrada de número.

Observação:Se o ponto de ajuste estiver configurado para pressão, porém não houver um medidorconectado, a bomba turbo não será inicializada.

Figura 8 Tela do ponto de ajuste do turbo


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Modo de entrada de númeroAo pressionar e segurar a tecla ENTER na opção de tempo ou de pressão, o modo de entradade número será ativado. O primeiro dígito começa a piscar e será possível editar o tempo oua pressão.

1. Pressione a tecla AVANÇAR para ajustar o valor; em seguida, pressione a teclaENTER para confirmar o dígito e avançar, então, para o segundo dígito, que éajustado de maneira semelhante. A tecla ENTER confirma o dígito e avança para odígito final do ponto de ajuste de tempo ou para o expoente do ponto de ajuste dapressão. O expoente do ponto de ajuste da pressão é ajustado como um valor únicona faixa de -10 até +6.

2. O pressionamento final da tecla ENTER confirma o número completo e retorna paraa exibição do valor do ponto de ajuste. O TSP é definido após o número completoser inserido.

Figura 9 Modo de entrada do número de ponto de ajuste turbo

Ações da chave da tecla de ponto de ajuste turbo

Tabela 8 Ações da chave da tecla de ponto de ajuste turbo




Entrar em modo de entrada denúmero

AVANÇAR Próximo à opção TSP, próximonúmero, ou vá à tela de calibração

do medidor

Rolar através das opções do TSP nomodo de edição, rolar através dos

números em entrada de número ourolar através das telas de menus

Tela de calibração do medidor (CAL)Ao se selecionar o medidor de calibração, o medidor LED e o LED de CAL são ativados emconjunto. A tela numérica está em branco. O menu de calibração do medidor não estádisponível para medidores que não ofereçam suporte à calibração.

Ao pressionar a tecla ENTER, a ação depende do tipo de medidor:


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WRG ou APGX: o comando de calibração é enviado para o medidor e a tela indica "CALd"durante três segundos.

ASG: a calibração funciona como um ajuste de desvio de zero. A pressão exibida atualmenteé salva como o desvio de 0 e é subtraída de todas as futuras leituras. A tela indica "CALd" por3 segundos para confirmar a ação. Pode-se cancelar o ajuste de desvio pressionando-se atecla ENTER novamente. A tela indica "OFF" durante 3 segundos para confirmar que o ajustede desvio foi removido.

Figura 10 Tela de calibração do medidor (CAL)

Ações das teclas da tela de calibração de medidor

Tabela 9 Ações das teclas da tela de calibração de medidor



ENTER Calibração do medidor -

AVANÇAR Vá à tela de unidades Rolar através das telas do menu

Tela de unidadesQuando a tela de unidades estiver selecionada, os LEDs do menu são desativados e os LEDdas unidades selecionadas são acesos. A tela numérica está em branco.Para alterar as unidades pressione a tecla ENTER e utilize a tecla AVANÇAR para selecionarentre mbar, Torr, Pa e tensão. Pressione a tecla ENTER novamente para confirmar a seleção.Observe que quando tensão for selecionado, a tela indicará "0.000".Quando as unidades são modificadas, os valores do ponto de ajuste serão convertidos anovas unidades. Por exemplo, se um limiar de ponto de ajuste for inserido como1.0 × 10-3 mbar e as unidades forem alteradas para Torr, então o valor será exibido como7,5 × 10-4 Torr.

Figura 11 Tela de unidades


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Ações das teclas na tela de unidades

Tabela 10 Ações das teclas na tela de unidades




-

AVANÇAR Próximo à opção de unidades ou vápara a tela turbo

Role através das unidades em modoedição, ou role através das telas de

menus

Controle de lastro de gás (E2M1.5)Utilize o controle de lastro de gás para alterar a quantidade de ar (ou gás inerte) introduzidono estágio de baixo vácuo da bomba.

O uso do lastro de gás evitará a condensação de vapores na bomba; os vapores condensadoscontaminariam o óleo.

Use o controle de lastro de gás (Figura 1 na página 11, item 2) fechado:

• Para atingir vácuo máximo.• Para bombear gases secos.

Gire o controle de lastro de gás por seis voltas no sentido anti-horário para abri-locompletamente.

Use o controle de lastro de gás aberto:

• Para bombear altas concentrações de vapor condensável.• Para bombear altas concentrações de vapor condensável.

Ao operar a bomba com o controle de lastro de gás aberto, haverá um aumento na taxa deperda de óleo da bomba.

Falha na alimentação elétrica

ADVERTÊNCIA:Risco de lesão ou morte. Se a fonte de alimentação falhar durante a operação dabomba, o propulsor poderá continuar a girar durante aproximadamente 10 minutos. Ocircuito de controle poderá não dar qualquer indicação de que o propulsor continuafuncionando.

Se a alimentação elétrica da T‑Station 85 falhar enquanto a bomba turbo estiver em rotação,o motor da bomba turbo será utilizado como gerador. A energia regenerada é usada paramanter o sistema de controle e a tela. A energia regenerada não é utilizada para manter oT‑Station 85 sistema de controle ou a tela.

Quando se perde a energia do sistema de controle, não será dada nenhuma indicação sobrea velocidade rotacional da bomba; no entanto, o propulsor poderá continuar girando.

O sistema não será reinicializado quando a energia for reestabelecida.


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Manutenção

Segurança em manutenção

ADVERTÊNCIA:Risco de lesão ou danos ao equipamento. Siga as instruções de segurança e tome notade todas as precauções apropriadas.

• Ao consultar um manual fornecido como Publicação Suplementar, deve-se seguirtodas as instruções de ADVERTÊNCIA e AVISO do manual.

• Um técnico devidamente treinado e supervisionado deverá fazer a manutenção daT‑Station 85.

• Permita que o sistema esfrie (assim estará em uma temperatura segura para contatocom a pele) antes de iniciar um trabalho de manutenção. Certifique-se de que osistema esteja desligado, caso o dispositivo de sobrecarga térmica reiniciar osistema.

• Verifique se todas as peças necessárias estão disponíveis e se são do tipo corretoantes de começar o trabalho.

• Certifique-se de que o técnico de manutenção esteja familiarizado com osprocedimentos de segurança relativos ao óleo da bomba e aos produtosprocessados pelo sistema de bombeamento.

• Isole o sistema e os outros componentes no sistema do processo da alimentaçãoelétrica, assim não poderão ser operados acidentalmente.

• Não reutilize anéis-O e vedações danificados.• Descarte componentes, graxa e óleo de maneira segura (consulte Descarte na

página 34).• Proteja as faces de vedação contra danos.• Após a manutenção, recomenda-se um teste de vazamento do sistema. Sele

quaisquer vazamentos encontrados, caso quaisquer conexões de vácuo ou de dutode exaustão tiverem sido desconectadas.

Programa de manutenção

ADVERTÊNCIA:Se a bomba turbo for removida da T‑Station 85 plataforma, é importante reter ereutilizar os mesmos parafusos de fixação. Se quaisquer desses parafusos for perdido ounão puder ser utilizado, será necessário utilizar o de tipo M5 × 12 mm CAP HD com altaclasse de tensionamento 12.9. Se esta advertência for ignorada e a bomba turbo setravar, a energia armazenada na bomba turbo poderá provocar a falha de alguns ou detodos os parafusos. Isso pode fazer com que a bomba turbo seja ejetada da T‑Station 85base.

Lista de manuais de instruções que indicam as operações mínimas de manutençãonecessárias para manter T‑Station 85 em uso normal:

Bomba de diafragma XDD1 A746-02-885

Bombas de palhetas rotativas E2M0.7/E2M1.5 A371-32-880

Bombas turbomoleculares nEXT85 B8G0-00-880

D395-94-856A - Manutenção

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Poderá ser necessária manutenção com maior frequência caso T‑Station 85 tenha sidoutilizada para bombear gases e vapor corrosivos ou abrasivos. Se necessário, ajuste oprograma de manutenção de acordo com sua experiência.

Inspeção de mangueiras, tubulações e conexões1. Inspecione todas as conexões elétricas e verifique se estão seguras. Aperte qualquer

conexão frouxa.2. Inspecione todos os cabos elétricos e verifique se não estão danificados e

superaquecidos. Substitua ou repare qualquer cabo danificado ou superaquecido.3. Inspecione todas as conexões de exaustão e de vácuo e verifique se estão seguras.

Aperte qualquer conexão frouxa.4. Inspecione todos os dutos de exaustão e de vácuo e verifique se não estão corroídas

ou danificados ou apresentando vazamento. Substitua ou repare qualquercomponente danificado ou corroído e vede qualquer vazamento encontrado.

Configurações padrão de fábricaProceda para retornar a T‑Station 85 às configurações padrão de fábrica.

1. Remova rede de energia elétrica da T‑Station 85.2. Pressione a tecla NEXT e mantenha-a pressionada ao reaplicar a energia da rede

elétrica. Continue segurando a tecla AVANÇAR até "Err01" ser exibido.3. Remova e reaplique a energia da rede elétrica. O padrão de fábrica estará agora

definido.


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Detecção de falhas

A T‑Station 85 falhou ao se inicializar

Causa O fusível de alimentação elétrica queimou.

Solução Substitua o fusível. Consulte Tabela 19 na página 43.Causa A voltagem operacional é incorreta.

Solução Verifique se a voltagem de alimentação corresponde aos T‑Station 85 requisitos devoltagem. Consulte a etiqueta de classificação elétrica localizada na parte traseira daT‑Station 85.

O máximo de pressão não pode ser alcançado

Causa A pressão está limitada pelo vapor de água.

Solução Realize o cozimento da câmara ou opere o sistema por um período até o vácuo aumentar.Causa Os vacuômetros estão contaminados.

Solução Limpe ou substitua os vacuômetros.Causa A velocidade de bombeamento é insuficiente devido à baixa condutância entre a bomba

e o medidor ou a câmara é muito grande.

Solução Aumente a condutância ou reduza o volume.Causa A pressão de apoio é > 10 mbar (1 × 103 Pa).

Solução A pressão de apoio pode ser muito alta. Verifique a tubulação de apoio por vazamentos. Sea produção for alta, pode ser necessário uma bomba de apoio maior.

Causa A área de alto vácuo do sistema está contaminada.

Solução Limpe o sistema de alto vácuo.Causa Verifique o restante do sistema quanto a vazamentos e contaminação.

Solução Se encontrar, repare os vazamentos e limpe a contaminação.Causa A pressão de entrada é baixa.

Solução Se a pressão de entrada for baixa, verifique a bomba turbo quanto a contaminações econsulte a seção de Resolução de Problemas do manual da bomba turbo.

Teste o vazamento da bomba. Se a taxa de vazamento for > 1 × 10-7 mbar l s-1

(1 × 10-5 Pa l s-1), entre em contato com o fornecedor da Edwards.

A bomba de apoio está ruidosa

Causa Listada a seção Detecção de Falhas no manual da bomba de apoio.Solução Consulte a seção de Detecção de Falhas do manual da bomba de apoio. Consulte Descrição

geral na página 10.

A bomba de apoio está com vazamento de óleo

D395-94-856A - Detecção de falhas

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Causa Listada a seção Detecção de Falhas no manual da bomba de apoio.Solução Consulte a seção de Detecção de Falhas do manual da bomba de apoio. Consulte Descrição

geral na página 10.

A bomba turbo está muito ruidosa ou há vibração em excesso ou ambos

Causa Listada na seção de resolução de problemas, no manual da bomba turbo.Solução Consulte a seção de resolução de problemas do manual da bomba turbo. Consulte

Descrição geral na página 10.

Números de erroSe um erro for detectado pelo controlador, a tela indicará "Err" seguido por um número.

Consulte Tabela 11 na página 31 para obter uma descrição do erro, juntamente com ascausas prováveis e soluções sugeridas.

Tabela 11 Números de erro

Número deerro

Significado Possíveis causas/soluções

Erros do controlador

1 Erro da EEPROM Ocorreu uma falha na soma de verificação internada EEPROM. Todas as configurações do usuárioserão revertidas para o padrão de fábrica.

2 Erro de referência de ID A referência utilizada para identificar medidoresestá incorreta. Remova todos os medidoresconectados, ligue e desligue a alimentação elétricae aguarde 30 segundos antes de reconectar osmedidores.

Erros de medidor

11 Tensão do medidormuito alta

A tensão de um medidor está muito alta. Omedidor poderá estar com defeito.

12 Tensão do medidormuito baixa

A tensão de um medidor está muito baixa. Omedidor poderá estar com defeito.

21 Falha do WRG Pirani Erros específicos de WRG. Consulte o manual doWRG para detalhes. Pressione a tecla ENTER paraeliminar o erro da tela após a falha ter sidocorrigida.

22 Curto do magnetronWRG

23 Falha do striker do WRG

24 Magnetron do WRG nãobateu

25 Falha do filamento APGX Erros específicos de APGX. Consulte o manual APGXpara detalhes. Pressione a tecla ENTER paraeliminar o erro da tela após a falha ter sidocorrigida.

26 APGX cal err


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Número deerro

Significado Possíveis causas/soluções

27 Tubo APGXH nãoencaixado

Erros de bomba

41 Falha da bomba turbo Inspecione os LEDs no módulo da bomba turbopara obter informações de status. Para obtercódigos de falha mais detalhados, pressione esegure a tecla ENTER (enquanto Err41 estiver sendoexibido) para exibir a status word do sistema dabomba turbo. Os 16 bits inferiores da status wordsão exibidos em hexadecimal. Pressione a teclaPARTIDA/PARADA para eliminar a mensagem deerro. Consulte o manual de instruções da bombaturbo para obter uma detecção de falhasdetalhada.


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Armazenamento

Use o procedimento a seguir para armazenar a T‑Station 85.

1. Desligue a T‑Station 85 conforme descrito em Detenha a bomba com a tela turbo napágina 21.

2. Isole a T‑Station 85 da alimentação elétrica e desconecte-a do sistema de vácuo.3. Drene o óleo da bomba de apoio (aplicável somente para a bomba de palhetas

rotativas E2M1.5) conforme descrito no manual de instruções (consulte Descriçãogeral na página 10).

4. Coloque as tampas protetoras sobre os flanges de entrada e saída.5. Para o bombeamento mais rápido após a T‑Station 85 ser reinstalada, vede a bomba

turbomolecular no interior de uma sacola plástica junto com um dessecanteadequado.

6. Armazene a T‑Station 85 em condições secas e limpas, até o momento do uso.

D395-94-856A - Armazenamento

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Descarte

Descarte a T‑Station 85 e quaisquer componentes e acessórios em segurança e emconformidade com as exigências locais e nacionais de segurança ambiental.

É necessário cuidado especial com quaisquer componentes que tenham sido contaminadoscom substâncias de processos perigosos.

Para obter instruções sobre a drenagem do óleo da bomba de palhetas rotativas E2M1.5consulte o manual de instruções da bomba. Consulte Descrição geral na página 10.

D395-94-856A - Descarte

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Manutenção

Observação:A política da Edwards é de fornecer suporte ao produto após sua obsolescência, através devárias opções, incluindo manutenção, reparação, melhoria e substituição. O suporteestará disponível por vários anos após a obsolescência do produto e em conformidadecom quaisquer legislações aplicáveis. A Edwards irá, sempre, realizar ações apropriadaspara garantir que o apoio seja mantido e, onde o suporte já não for possível, garantiráque isto seja comunicado a todos os clientes afetados, em um período de aviso adequado.

Os produtos, peças de reposição e acessórios da Edwards estão disponíveis nas empresas daEdwards na Bélgica, Brasil, China, França, Alemanha, Israel, Itália, Japão, Coreia, Singapura,Reino Unido, EUA e em uma rede mundial de distribuidores. A maioria desse centrosemprega engenheiros de manutenção que participaram de cursos de treinamentoabrangentes da Edwards.

Solicite peças de reposição e acessórios à empresa ou ao distribuidor Edwards maispróximos. Ao fazer o pedido, informe os seguintes dados para cada peça solicitada:

• modelo e número do item do equipamento;• número de série;• número do item e descrição da peça.

Os produtos da Edwards recebem suporte de uma rede mundial de Centros de AssistênciaEdwards. Cada Centro de Assistência oferece diversas opções, inclusive: descontaminação doequipamento, troca de serviços, reparo, reconstrução e teste das especificações da fábricaOs equipamentos que receberam manutenção, foram consertados ou retificados serãodevolvidos com garantia total.

Os centros de assistência local também podem disponibilizar engenheiros da Edwards paraexecutar manutenção, serviço ou reparação do equipamento no local. Para obter maisinformações sobre as opções de serviços, entre em contato com o Centro de Assistênciamais próximo ou com outra empresa da Edwards.


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Peças de reposição

AVISO:O uso de peças de reposição que não seja da Edwards pode resultar em confiabilidade edesempenho reduzidos e invalidará a garantia do produto.

As peças de reposição disponíveis para a bomba turbo e as bombas de apoio estãorelacionadas nos manuais de instruções em CD fornecidos com o equipamento. Consulte Descrição geral na página 10.

D395-94-856A - Peças de reposição

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Acessórios

Válvula de respiro TAV e adaptador de porta de respiro (para bombaturbo nEXT85)

Uma válvula de respiro operada por solenoide está disponível para a ventilação do sistema.

A válvula é de 24 V CC, normalmente aberta ou normalmente fechada, e pode ser acionadapelo módulo da bomba turbo. A válvula solenoide é instalada no lugar da válvula manual ou,de modo alternativo, pode ser instalada com um adaptador (fornecido com a válvula) e podeser utilizada com qualquer porta flangeada NW10 adequada no sistema de vácuo.

Tabela 12 Kits de válvula de respiro TAV e adaptador

Descrição Número do item

Kit nEXT85 TAV5 NF com conector montado (0,3 m) B8G2-00-835

Kit nEXT85 TAV5 NF com fio nu (3 m) B580-66-040

Kit nEXT85 TAV5 NA com conector montado (0,3 m) B8G2-00-834

Kit nEXT85 TAV5 NA com fio nu (3 m) B580-66-010

Adaptor de porta de respiro NW10 -1/8" BSP, macho B580-66-011

Filtro de vapor de saída (para bomba de vácuo rotativa E2M1.5)O filtro de vapor de saída separa e absorve respingos de óleo na saída da bomba para evitardescarga de névoa de óleo.

Para todos os outros acessórios como medidores, cabos ativos e fiação de rede elétrica,consulte as informações de solicitação T‑Station 85 no catálogo de produtos da Edwards.

Tabela 13 Filtro de vapor de saída

Descrição Número do item

Filtro de vapor de saída EMF3 A462-20-000

D395-94-856A - Acessórios

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Referências técnicas

Observação:As condições operacionais e de armazenamento e o desempenho da T‑Station 85 podemdepender do tipo de bomba de apoio instalada na T‑Station 85; consulte os dados técnicosnas publicações suplementares adequadas, conforme listado em Descrição geral napágina 10.

Condições operacionais e de armazenamentoTabela 14 Condições operacionais e de armazenamento

Parâmetro Valor Units

Faixa de temperaturas ambientes deoperação

12 a +40 °C

Faixa de temperaturas ambientes dearmazenamento

-30 a +70 °C

Umidade máxima de operação máximo de 90,condensando a 40

% UR e °C

Altitude máxima de operação máximo de 2000 m

Nível de ruído 56 dB(A)

Grau de poluição (EN61010) 2 -

Pressão máxima de saída

- Bomba XDD1

- Bomba E2M1.5

1,1 (1,1 × 105)

1,5 (1,5 × 105)

bar absoluto (Pa)

Campo magnético externo máximopermitido (turbo nEXT85)

5 mT

Dados mecânicosTabela 15 Dados mecânicos

Parâmetro Dados

Dimensões Consulte Figura 12 na página 39

Grau de proteção (para IEC34-5:1981) IP20

Massa:

- Combinação XDD1

- Combinação E2M1.5

17 kg máx.

21 kg máx.

D395-94-856A - Referências técnicas

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Figura 12 Dimensões - T‑Station 85

Todas as medições indicadas são mostradas em mm (polegadas)

Dados de desempenho da bombaTabela 16 Dados de desempenho da bomba - nEXT85H

Tipo de bomba turbomolecular nEXT85H ISO63 nEXT85H CF63 nEXT85H NW40

Velocidade de bombeamento deentrada:

Nitrogênio 84 ls-1 84 ls-1 47 ls-1

Hélio 78 ls-1 78 ls-1 61 ls-1

Hidrogênio 54 ls-1 54 ls-1 49 ls-1

Argônio 80 ls-1 80 ls-1 44 ls-1

Proporção de compressão deentrada:

Nitrogênio > 1 E+11 > 1 E+11 > 1 E+11

Hélio 2 E+07 2 E+07 2 E+07

Hidrogênio 5 E+05 5 E+05 5 E+05

Argônio > 1 E+11 > 1 E+11 > 1 E+11

Máximo de pressão:


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Tipo de bomba turbomolecular nEXT85H ISO63 nEXT85H CF63 nEXT85H NW40

com bomba de apoio de palhetarotativa *

< 5 E-09 mbar < 5 E-10 mbar < 5 E-09 mbar

com bomba de apoio do diafragma § < 5 E-08 mbar < 5 E-09 mbar < 5 E-08 mbar

* Máximo de pressão 48 horas após o cozimento com a bomba de apoio de palhetas rotativas de 2 estágios.§ Máximo de pressão 48 horas após cozimento com pressão de apoio < 5 mbar (500 Pa).

Tabela 17 Dados de desempenho - nEXT85D

Tipo de bomba turbomolecular nEXT85D ISO63 nEXT85D CF63 nEXT85D NW40

Velocidade de bombeamento deentrada:

Nitrogênio 84 ls-1 84 ls-1 47 ls-1

Hélio 78 ls-1 78 ls-1 61 ls-1

Hidrogênio 60 ls-1 60 ls-1 49 ls-1

Argônio 80 ls-1 80 ls-1 44 ls-1

Proporção de compressão deentrada:

Nitrogênio > 1 E+11 > 1 E+11 > 1 E+11

Hélio 8 E+06 8 E+06 8 E+06

Hidrogênio 2 E+05 2 E+05 2 E+05

Argônio > 1 E+11 > 1 E+11 > 1 E+11

Máximo de pressão:

com bomba de apoio de palhetarotativa *

< 5 E-09 mbar < 5 E-10 mbar < 5 E-09 mbar

com bomba de diafragma § < 5 E-08 mbar < 5 E-09 mbar < 5 E-08 mbar

* Máximo de pressão 48 horas após o cozimento com bomba de apoio de palhetas rotativas de dois estágios.§ Máximo de pressão 48 horas após cozimento com pressão de apoio < 5 mbar (500 Pa).

Meio bombeado

ADVERTÊNCIA:Exaurir os gases perigosos e misturas de gases com segurança. Não exponha as pessoasa esses gases. Ao bombear gases ou vapores nocivos, observe as recomendações desegurança do fornecedor do gás/vapor.

ADVERTÊNCIA:Não utilize a bomba turbo para bombear misturas de gases explosivos ou pirofóricos,pois esta não é adequada a tal propósito. A bomba e suas conexões não são projetadaspara conter uma explosão.


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ADVERTÊNCIA:Não exponha quaisquer partes do corpo humano ao vácuo, já que isso pode resultar emlesões ou morte de pessoas.

AVISO:Não utilize a bomba para bombear meios condensáveis ou particulados. Pode ocorrerdeposição dentro da bomba, que irá degradar seu desempenho e reduzir sua vida útil.

AVISO:Não utilize a bomba para bombear gases contendo mais de 20% de oxigênio. Isto farácom que o lubrificante seja polimerizado e a bomba falhe de modo prematuro.

Observação:Concentrações de gases podem ser modificadas pela compressão da bomba.

A bomba turbo é projetada para bombear os seguintes gases residuais normalmenteutilizados em sistemas de alto vácuo:

• Ar• Monóxido de carbono• Neon• Etanol• Metano• Nitrogênio• Criptônio• Argônio• Propano• Dióxido de carbono• Hélio• Hidrogênio• Butano

É possível utilizar a bomba para bombear oxigênio e vapor de água, sujeita às seguintescondições:

• Oxigênio - quando a bomba foi purgada por um gás inerte, o oxigênio pode serbombeado a concentrações acima de 20% por volume. Consulte o manual deinstruções da nEXT85 (B8G0-00-880) para obter a especificação do gás de purga. Noentanto, se a bomba não foi purgada, a concentração de oxigênio deverá ser menordo que 20% por volume.

• Vapor de água - certifique-se de que o vapor não se condensará dentro da bomba.

Para bombear um gás não listado acima, entre em contato com o fornecedor paraorientações. A falha ao entrar em contato com o fornecedor poderá invalidar a garantia dabomba. A bomba não é adequada para bombeamento de gases agressivos ou corrosivos.


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Especificação do gás de respiro e dos dados do controle de respiroApesar de ser possível o respiro da bomba para a atmosfera, a alta umidade relativa do arpoderá aumentar consideravelmente o tempo de bombeamento subsequente. Para reduziros tempos de detenção de bombeamento, é necessário realizar o respiro da bomba comgases secos e limpos.

Consulte o manual nEXT85 da bomba turbo (B8G0-00-880) para a conexão da válvula derespiro. Consulte Tela da válvula de respiro (VENT) na página 23 para configurar as opçõesde respiro.

Tabela 18 Especificação do gás de respiro e controle de respiro

Especificação do gás de respiro e controle Dados de referência

Gás de respiro Ar seco, nitrogênio, argônio e outros gasesinertes

Ponto de condensação máximo com pressãoatmosférica

-22 °C

Tamanho máximo de particulados 1 μm

Concentração máxima de óleo 0,1 partes por milhão

Tempo recomendado para a velocidaderotacional atingir 50%

> 15 segundos

Taxa máxima permitida de aumento depressão

Consulte

Pressão do suprimento máxima permitida degás de respiro

1 barg; 14,5 psig, 2 × 105 Pa

Figura 13 Taxa máxima permitida de aumento de pressão durante o respiro: pressãoversus tempo (bomba inicialmente a velocidade total)

Materiais expostos a gases bombeadosOs seguintes materiais e tipos de componentes são expostos aos gases bombeados:

• ligas de alumínio• aços inoxidáveis


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• anéis‑O fluoroelastômeros e de nitrilo• lubrificante de hidrocarboneto• feltro• ímãs de terras raras• nitreto de silício• fibra de carbono reforçada com resina epóxi• polipropileno retardador de fogo• poliamida• PVC

Conexões elétricasTabela 19 Conexões elétricas

Parâmetro Valor

Alimentação elétrica (consulte Figura 1 na página 11, item 10)

Tipo de plugue de entrada IEC60320

Calibre do fusível integral 10 A Tipo T, 20 mm

Bomba de apoio (consulte Figura 1 na página 11, item 9)

Tipo de soquete de saída IEC60320

Bomba turbomolecular (consulte Figura 1 na página 11, item 5)

Tipo de conector Soquete tipo 'D' subminiatura de 15 vias

Fonte de alimentação 24 V CC nominal

Classificação de energia máxima 4 W

Medidor ativo (consulte Figura 1 na página 11, item 6)

Tipo de conector RJ45 de 8 vias

Fonte de alimentação 24 V CC nominal

Classificação de energia máxima 4 W

Figura 14 Conexões de pino para soquetes do tipo "D", subminiatura de 15 vias

Tabela 20 Pinagem do conector da bomba turbo

Pino Função

1 Fonte de alimentação positiva

2 Sinal comum

3 Saída de sinal de partida

4 RS232 Tx


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Pino Função

5 Saída de ativação serial


7 RS232 Rx

8 Fonte de alimentação comum

9 Entrada de sinal de velocidade

10 Tela


12 Tela



15 Entrada de sinal normal

Figura 15 Conexões de pino para um RJ45 de 8 vias

Tabela 21 Pinagem do conector do medidor ativo

Pino Função



3 Entrada de sinal

4 Identificação

5 Sinal comum

6 Linha de controle 1

7 Linha de controle 2

8 Não conectado

Dados elétricosCaso a T‑Station 85 utilizar um E2M1.5, a corrente de arranque do motor será drenada pormenos de um segundo; portanto, deve-se utilizar fusíveis de sopro lento para evitar falhasdesnecessárias de fusíveis quando a bomba for inicializada. Se a bomba for utilizada emtemperaturas menores a 12 °C (53,6 °F), a corrente de arranque será drenada por maistempo; isto pode causar a abertura do dispositivo de sobrecarga térmica do motor.


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Tabela 22 Dados elétricos

Tensão dealimentação

50/60 Hz

Corrente (A) Potência (W)

Carga total Iniciar

XDD1/nEXT85

100 3,1 - 310

120 2,6 - 310

200 1,6 - 310

230 1,35 - 310

E2M1.5/nEXT85

100 4,7 13,6 470

120 3,92 12,0 470

200 2,2 6,4 430

230 1,9 5,7 430


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Devolução de Equipamentos Edwards - Procedimento

Formulário HS1P900-7

0-8

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ue N

INTRODUÇÃOAntes de devolver seu equipamento, você deve avisar à Edwards se as substâncias que foramutilizadas (e produzidas) no equipamento podem ser perigosas. Essas informações são fundamentaispara a segurança dos funcionários do nosso Centro de Atendimento e determinarão os procedimentosempregados para atender o seu equipamento.Preencha a Declaração (HS2) e envie-a à Edwards antes de despachar o equipamento.É importante observar que essa declaração destina-se somente para uso interno da Edwards e nãoestá relacionada com quaisquer exigências ambientais ou de segurança de transporte locais, nacio-nais ou internacionais. Como pessoa que entrega o equipamento para embarque, é suaresponsabilidade assegurar o cumprimento da legislação aplicável.

ORIENTAÇÕES• O equipamento 'não está contaminado' caso não tenha sido usado ou se somente foi utilizado com

substâncias que não são perigosas. Seu equipamento estará 'contaminado' se ele tiver sido usadocom qualquer substância classificada como perigosa de acordo com o Sistema GlobalmenteHarmonizado das Nações Unidas de classificação e rotulagem de produtos químicos (GHS), Regu-lamentação da UE Nº 1272/2008 sobre a classificação, rotulagem e embalagem (CLP) ou com asregulamentações de Saúde e Segurança Ocupacional dos Estados Unidos (29CFR1910.1200, Comu-nicação de Risco).

• Caso seu equipamento tenha sido utilizado com substâncias radioativas ou agentes infecciosos,mercúrio, bifenil policlorado (PCB), dioxinas ou azida de sódio, você deve descontamina-lo antesde devolve-lo à Edwards. Você deve enviar um teste independente de descontaminação (porexemplo um laudo de análise) à Edwards, juntamente com a Declaração (HS2). Para orientações,telefone para a Edwards.

• Se seu equipamento está contaminado, você deve adotar uma das seguintes medidas:• Remover quaisquer traços de contaminação (conforme a legislação que regulamenta o trans-

porte de substâncias perigosas).• Ou, classificar adequadamente o perigo, marcar, declarar e embarcar o equipamento de

acordo com a legislação aplicável que regulamenta o envio de materiais perigosos.

Observação: Alguns equipamentos contaminados podem não ser adequados para o transporte aéreo.

PROCEDIMENTO1. Contate a Edwards e obtenha um Número de Autorização de Devolução* para seu equipamento.2. Preencha a Devolução de Equipamentos Edwards - Declaração (HS2).3. Se o equipamento estiver contaminado, você deve entrar em contato com seu transportador para

assegurar-se de ter classificado adequadamente o perigo, marcado, declarado e enviado o equi-pamento, de acordo com a legislação aplicável que regulamente os materiais contaminados/peri-gosos. Como pessoa que entrega o equipamento para embarque, é sua responsabilidadeassegurar o cumprimento da legislação aplicável. Nota: Os equipamentos contaminados com alguns materiais perigosos, tais como derivadosde semicondutores, podem não ser adequados para o frete aéreo - contate seu transportadorpara obter orientações.

4. Remova todos os traços de gases perigosos: Faça passar um gás inerte pelo equipamento e quais-quer acessórios que forem devolvidos à Edwards. Sempre que possível, drene todos os fluídos elubrificantes do equipamento e seus acessórios.

5. Vede todas as entradas e saídas do equipamento (inclusive aquelas nas quais havia acessóriosacoplados) com flanges cegos ou com uma fita grossa, quando se tratar de produtos não conta-minados.

6. Embale o equipamento em uma sacola ou folha de politeno/polietileno grossa.7. Se o equipamento for grande, amarre o equipamento e seus acessórios com fitas a um pallet de

madeira. Se o equipamento for muito pequeno para ser amarrado com fitas a um pallet, embale-o numa caixa resistente adequada.

8. Encaneie e envie por e-mail, fax ou por correio uma cópia da via original da Declaração (HS2)com a assinatura para a Edwards. A Declaração deve chegar antes que o equipamento.

9. Entregue uma cópia da Declaração (HS2) ao transportador. Você deve informar ao transportadorse o equipamento está contaminado.

10. Coloque a Declaração num envelope fechado adequado: anexe o envelope de forma segura àparte externa do pacote do equipamento, dentro de uma sacola transparente à prova de água.

ESCREVA CLARAMENTE O SEU NÚMERO DE AUTORIZAÇÃO DE DEVOLUÇÃO* NA PARTE EXTERNA DO ENVELOPE OU NA PARTE EXTERNA DO PACOTE DO EQUIPAMENTO.

* não se aplica ao Japão

Devolução de Equipamentos Edwards - Declaração

Formulário HS2

Você deve:

• Conhecer todas as substâncias que tenham sido utilizadas e produzidas no equipamento antes de preencher esta Declaração

• Ler o formulário Devolução de Equipamentos Edwards - Procedimento (HS1) antes de preencher esta Declaração

• Contatar a Edwards para obter um Número de Autorização de Devolução e para obter orientações, caso você tenha

alguma pergunta

• Enviar este formulário à Edwards antes de devolver seu equipamento, conforme estabelecido no procedimento do HS1

Número de Autorização de Devolução:

Nome do Produto do Fabricante ______________________

Número de Peça do Fabricante _________________________

Número de Série do Fabricante _________________________

O equipamento foi utilizado, testado ou operado?

SIM, foi usado ou operado Ir para a Seção 2

SIM, testado, mas sem conexão com qualquer processo ou

equipamento de produção, apenas exposto ao Nitrogênio,

Hélio ou Ar Ir para a Seção 4

NÃO Ir para a Seção 4

SE APLICÁVEL:Número de identificação da ferramenta ________________

Fabricante/OEM da ferramenta __________________________

Modelo de ferramenta _______________________________

Processo ___________________________________________

Data de instalação _______ de desinstalação ___________

Número da peça do equipamento de substituição

____________________________________________________

Número de série do equipamento de substituição

____________________________________________________Registro dos dados da bomba anexado? SIM NÃO (Somente para uso interno da Edwards)

As substâncias utilizadas ou produzidas no equipamento são:

• Radioativas, agentes biológicos ou infecciosos,

mercúrio, bifenis clorados (PCBs), dioxinas

ou azida de sódio? (se SIM, ver Nota 1) SIM NÃO

• Perigosas para a saúde

e segurança de seres humanos? SIM NÃO

Nota 1: A Edwards não aceitará a entrega de quaisquer

equipamentos que tenham sido contaminados com substâncias

radioativas, agentes biológicos/infecciosos, mercúrio, PCBs,

dioxinas ou azida de sódio, exceto quando você:

• descontamine o equipamento

• forneça comprovação de descontaminação

VOCÊ DEVE ENTRAR EM CONTATO COM A EDWARDS PARA RECEBER ORIENTAÇÕES ANTES DE DEVOLVER ESSES EQUIPAMENTOS

Imprima seu nome: ________________________________ Imprima seu cargo: ____________________________________

Imprima o nome da sua empresa: __________________________________________________________________________

Imprima seu endereço: __________________________________________________________________________________

_____________________________________________________________________________________________________

Número de telefone: ______________________________ Data de entrega do equipamento: _________________________

Eu fiz as consultas necessárias e forneci informações precisas nesta Declaração.

Eu não omiti quaisquer informações e cumpri o Procedimento de Devolução

de Equipamentos Edwards (HS1).

Assinatura: _______________________________ Data: _________________

• de quem você comprou o equipamento? _______________________________________________________________________

• forneça o número de nota fiscal do fornecedor ____________________________________________________________

Se você tiver uma reclamação dentro do prazo de garantia:

Nome da substânciaComposição

química SímboloPrecauções necessárias (por exemplo:

uso de luvas de proteção, etc.)

Ação requerida após um derramamento,

vazamento ou exposição

Observação: Por favor, preencha este formulário, assine-o e devolva uma cópia do formulário impresso e assinado.

SEÇÃO 1: EQUIPAMENTO

SEÇÃO 2: SUBSTÂNCIAS EM CONTATO COM O EQUIPAMENTO

SEÇÃO 3: LISTA DE SUBSTÂNCIAS EM CONTATO COM O EQUIPAMENTO

SEÇÃO 4: INFORMAÇÕES DA DEVOLUÇÃO

SEÇÃO 5: DECLARAÇÃO

P900-7

1-8

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Motivo da devolução e sintomas do mal-funcionamento: __________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Por quantas horas o produto foi executado? ___________

Deseja adquirir um relatório de Análise de Falhas completo? SIM NÃO

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Documents

MANUAL DE INSTRUÇÕES T‑STATION 85docs.edwardsvacuum.com/P450-00-000/pages/Documentation/Instructi… · Bomba de diafragma - XDD1 A746-02-885 Bomba de palhetas rotativas - E2M0.7/E2M1.5