39
Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006 Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 1 2006/2-1 Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez Mini-Curso Fabricação e Caracterização de Nanoestruturas CBPF - Rio de Janeiro, 20-24 Março, 2006 Unidade 2: Técnicas de Microscopia Eletrônica de Transmissão Aula 2 – Difração de Elétrons Por: Antônio J. Ramirez Laboratório Nacional de Luz Síncrotron 2006/2-2 Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez Conteúdo Introdução Definições Ótica Eletrônica Fontes de elétrons Lentes magnéticas Aberrações Interação Elétron Matéria Sinais Dano na amostra Microscopia Eletrônica de Transmissão (TEM) Configuração do equipamento Microscopia de transmissão por varredura Difração de elétrons Tipos de imagem Técnicas de microscopia convencional Aplicações Preparação de Amostras Microscopia de alta resolução – contraste de fase Espectroscopia de Raios –X Dispersiva em Energia (EDS) Espectroscopia de Elétrons (EELS)

Mini-Curso Fabricação e Caracterização de …labmag/MinicursoNano/Ramirez1_CBPF2006.pdfLaboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006 Antonio

  • Upload
    others

  • View
    0

  • Download
    0

Embed Size (px)

Citation preview

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 1

2006/2-1

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Mini-CursoFabricação e Caracterização de

Nanoestruturas

CBPF - Rio de Janeiro, 20-24 Março, 2006

Unidade 2: Técnicas de Microscopia Eletrônica de Transmissão

Aula 2 – Difração de Elétrons

Por:

Antônio J. RamirezLaboratório Nacional de Luz Síncrotron

2006/2-2

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Conteúdo IntroduçãoDefinições

Ótica EletrônicaFontes de elétronsLentes magnéticasAberrações

Interação Elétron MatériaSinaisDano na amostra

Microscopia Eletrônica de Transmissão (TEM)

Configuração do equipamentoMicroscopia de transmissão por varreduraDifração de elétronsTipos de imagemTécnicas de microscopia convencionalAplicaçõesPreparação de AmostrasMicroscopia de alta resolução – contraste de fase

Espectroscopia de Raios –X Dispersiva em Energia (EDS)Espectroscopia de Elétrons (EELS)

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 2

2006/2-3

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

ReferenciasTEM-EELS

D.B. Williams, C.B. Carter, Transmission ElectronMicroscopy, Plenum Press, New York, 1996.L. Remier, Transmission Electron Microscopy, 4th Ed., Springer-Verlag, New York, 1997.J.W. Edington, Practical Electron Microscopy in MaterialsScience, N.V. Philips, Eindhoven, 1976.

2006/2-4

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Formação de Imagem

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 3

2006/2-5

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Modos de Imagem e Difração - TEM

2006/2-6

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Modos de Imagem em TEM

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 4

2006/2-7

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Modos de Imagem em TEM

BF

DF

SAD

2006/2-8

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração de Elétrons

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 5

2006/2-9

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Esfera de Ewald

2006/2-10

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Interface de Macla

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 6

2006/2-11

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração

Co Ag

2006/2-13

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração

AmorfoCristalino

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 7

2006/2-14

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração

Convergent Beam Parallel Beam

2006/2-15

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração – Relação de Orientação

M23C6 FCCAustenite FCC

[001] // [001], (200) // (200)

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 8

2006/2-16

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Super-Reticulado

2006/2-17

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. RamirezNT disovery, S. Iijima, Nature1991

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 9

2006/2-18

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Efeito da Lámina Fina

2006/2-19

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração de Pequenos Volumes

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 10

2006/2-22

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Constante de Câmera

]Amm[LRd

2~sen2d

2~LR2tan

λ=

θθ=λ

θ=θ

2006/2-23

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Constante de Câmera

Ag

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 11

2006/2-24

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Indexação (Trabalho no TEM)

2006/2-25

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Indexação

bcc B=[011] L/N=1.732, M/N=1.414

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 12

2006/2-26

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Indexação

Refleções (hkl) num eixo de zona [UVW]

hU+kV+lW=n (n: zona de Laue)

(000) dentro: anti-horário(000) fora : horário

2006/2-27

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Indexação

fcc

90o

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 13

2006/2-28

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Niquel

x=13.9, y=5.5, z=14.25 [mm]

λL=11.2 mm Å

y: B=2.038 Å {111} (111) x: C=0.805 Å {331} ( )z: A=0.786 Å {420} ( )

XY

Z

2006/2-29

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

FCC

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 14

2006/2-30

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração

2006/2-31

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Dupla Difração

[011]γ // [011]MC(111)γ // (111)MC

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 15

2006/2-32

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Dupla Difração

2006/2-33

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

DifraçãoEspalhamentoDifuso

Linhas de Kikuchi

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 16

2006/2-34

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração

Strong weak

2006/2-35

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Mapas de Kikuchi

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 17

2006/2-36

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração de Feixe Convergente - CBED

SAD

CBED

2006/2-37

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração de Feixe Convergente - CBED

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 18

2006/2-38

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração de Feixe Convergente - CBED

Variação de L (Magnificação)

2006/2-39

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Difração de Feixe Convergente - CBED

Cinemâtica

Dinâmica

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 19

2006/2-40

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Condição de 2 Feixes – Two Beam

2006/2-41

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Franjas de Espessura

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 20

2006/2-42

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Franjas de Espessura

2006/2-43

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Condição de 2 Feixes

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 21

2006/2-44

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Condição de 2 Feixes

2006/2-45

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Erro de Excitação (s)

S>0

S<0

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 22

2006/2-46

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Ondas de Bloch

PredominaS>0

PredominaS<0

2006/2-47

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Erro de Excitação (s) = 0

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 23

2006/2-48

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Erro de Excitação (s) < 0

2006/2-49

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Erro de Excitação (s) > 0

Condição Ideal para Contraste

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 24

2006/2-50

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Erro de Excitação (s)

S=0 S>0 S>>0

2006/2-51

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Contornos de Dobramento

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 25

2006/2-52

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Contornos de Dobramento

2006/2-53

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Defeitos Planares

Translation BoundaryFalha de EmpilhamentoAnti-Phase Boundary

Grain BoundaryΣ

Phase BoundarySurface

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 26

2006/2-54

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Condição de 2 Feixes – Dif. DinâmicaHowie-Whelan eqs.

2006/2-55

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Mudança de Fase Devido ao Defeito

O defeito planar causa contraste quando α é diferente de zero

α = 120o em SFs de FCC

A imagem depende da espessuraImagens campo obscuro e claro não são complementarias como no caso de franjas de espessura

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 27

2006/2-56

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

SF in FCC Materials

11131

21161

R

R

=

=

[ ]

o

o

12032

38

12032

38

34R.g)202(g

0R.g)022(g

111 31R

−=π

−=π

−=α

=α→±=→=

=→=

±=

2006/2-57

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

SF in FCC

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 28

2006/2-58

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Contrast Modulation on Planar Defects

2006/2-59

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Defeito Planar - Difração

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 29

2006/2-60

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Deslocamento-Deformação-Tensão

R(r) : Campo de Deslocamentoε(r) : Campo de Deformaçãoσ(r) : Campo de Tensão

O deslocamento gera contraste no TEM

2006/2-61

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Discordâncias - Dislocações

Direção e magnitude do vetor de Burgers (b) ⊥ plano hkl em condição de difração

Linha (Vetor), define cunha, parafuso, mista

Plano de escorregamento

Interação com outras discordâncias

Curvada, hélice

Densidade

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 30

2006/2-62

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Discordâncias

2006/2-63

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Efeito do S no Contraste

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 31

2006/2-64

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Perfil de Intensidade

2006/2-65

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Discordâncias - FCC

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 32

2006/2-68

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Discordâncias

Imagem com s>0 (Dislocation is black)

g.b=0 Sem contraste (R ll planos difratam)

g1.b=g2.b=0 → g1xg2 ll b

Problema devido a:

falta de contraste para g.b<1/3

Contraste para g.b=0 onde g.bxu ≠0

Cambio de Signo

2006/2-69

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

g.b = 0

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 33

2006/2-70

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

S=0

S>0 Two Beam

Three Beam

2006/2-72

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Discordâncias - Loops

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 34

2006/2-74

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Emaranhados de Discordâncias

2006/2-75

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Partículas Esféricas

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 35

2006/2-77

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Feixe Fraco – Weak Beam

2006/2-78

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Weak Beam Dark Field

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 36

2006/2-79

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Feixe Fraco – Weak Beam

2006/2-80

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Feixe Fraco – Weak Beam

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 37

2006/2-81

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Feixe Fraco – Weak Beam

2006/2-82

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Sample Preparation

Thickness: 10-50 nm (most applications)100 nm may be acceptable for some ones

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 38

2006/2-83

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

2006/2-84

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez

Laboratório Nacional de Luz Síncrotron Mic. Eletrônica de Transmissão - CBPF - 2006

Antonio J. Ramírez Difração de Elétrons - 39

2006/2-85

Microscopia Eletrônica de Transmissão Antônio J. Ramirez