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Reinaldo Trindade Proença
Belo Horizonte Escola de Engenharia da UFMG
Junho de 2007
Dissertação apresentada ao Programa de Pós-Graduação em Ciências e Técnicas Nucleares da Escola de Engenharia da Universidade Federal de Minas Gerais, como requisito parcial a obtenção do título de Mestre em Ciências e Técnicas Nucleares. Área de Concentração: Engenharia da Energia Orientador: José Roberto Tavares Branco Co-Orientador: Ricardo Brant Pinheiro
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PESQUISA E DESENVOLVIMENTO DE
FILMES FINOS DE TiO2 PARA
JANELAS INTELIGENTES
Reinaldo Trindade Proença
Reinaldo Trindade Proença
PESQUISA E DESENVOLVIMENTO DE FILMES FINOS DE TiO2 PARA JANELAS INTELIGENTES
Belo Horizonte Escola de Engenharia
2007
Dissertação apresentada ao Programa de Pós-Graduação em Ciências e Técnicas Nucleares (CCTN) da Escola de Engenharia da Universidade Federal de Minas Gerais (UFMG). Área de concentração: Engenharia da Energia Orientador: José Roberto Tavares Branco Rede Temática de Materiais, Universidade Federal de Ouro Preto Co-orientador: Ricardo Brant Pinheiro Escola de Engenharia, Universidade Federal de Minas Geais
UNIVERSIDADE FEDERAL DE MINAS GERAIS ESCOLA DE ENGENHARIA DEPARTAMENTO DE ENGENHARIA NUCLEAR PROGRAMA DE PÓS-GRADUAÇÃO EM CIÊNCIAS E TÉCNICAS NUCLEARES
Dissertação intitulada “Pesquisa e Desenvolvimento de Filmes Finos de TiO2 para Janelas Inteligentes ” de autoria do mestrando Reinaldo Trindade Proença , aprovada pela banca examinadora constituída pelos seguintes professores:
____________________________________________ Prof. Lauro de Vilhena Brandão Machado Neto, Dr.
____________________________________________ Prof.ª Antônia Sônia Alves Cardoso Diniz, Ph.D.
____________________________________________ Prof. Ricardo Brant Pinheiro, Prof. Dr. – Co-Orientador
_____________________________________________ Prof. José Roberto Tavares Branco, Ph.D. - Orientador
Belo Horizonte
2007
AGRADECIMENTOS Agradeço a Deus por iluminar o meu caminho e permitir mais essa realização. Aos meus pais, Heleno e Francisca que proporcionaram e contribuíram neste momento e também como exemplos; aos meus irmãos Lucas e Raquel pela amizade e incentivo. A minha esposa Fernanda, fiel companheira e parceira nos estudos. Ao Dr. José Roberto Tavares Branco, pela oportunidade, amizade, orientação e confiança. Ao Dr. Ricardo Brant Pinheiro, pelos conhecimentos transmitidos ao longo dos últimos anos. Aos colegas do Laboratório de Engenharia e Modificações de Superfícies (LEMS) do CETEC-MG. Em especial aos colegas do Laboratório de Tratamento de Superfícies sob Vácuo (LATVA) pela convivência saudável dos últimos três anos. A colega Viviane Mota Bispo, que contribuiu significativamente na realização do trabalho. Aos Setores de Tecnologia Química (STQ) e Setor de Tecnologia Metalúrgica (SDT) do CETEC-MG, onde foi realizada a maior parte dos experimentos. Aos departamentos de Engenharia Química, Física e Química da UFMG por contribuir na realização de alguns experimentos. Aos professores, funcionários e alunos do Programa de Pós Graduação em Ciências e Técnicas Nucleares da UFMG pela colaboração ao longo do curso. Aos familiares e amigos que de perto ou de longe fizeram esta etapa mais divertida. Aos colegas do Programa de Pós Graduação em Ciências e Técnicas Nucleares. Em especial ao Serginho, Fernando, Larissa, Melissa, Rejane, Carlos Eduardo e Theo pela convivência saudável e momentos de descontração. À Companhia Energética de Minas Gerais, financiadora do projeto, através da gerente do projeto CEMIG - ANEEL - P&D 016, Abordagem Integrada da Eficiência Energética e Energias Renováveis, Dra Antônia Sônia Alves Cardoso Diniz “Agradecer é admitir que em um momento se precisou de alguém”, obrigado a todos.
5
SUMÁRIO LISTA DE ARTIGOS PUBLICADOS............................................................................ 7
LISTA DE FIGURAS ...................................................................................................... 8
LISTA DE TABELAS ................................................................................................... 10
LISTA DE ABREVIATURAS E SIGLAS .................................................................... 11
RESUMO ....................................................................................................................... 13
ABSTRACT ..................................................................................................................... 14
1 INTRODUÇÃO........................................................................................................... 15
1.1 Objetivos............................................................................................................... 17 1.1.1 Objetivos Gerais ............................................................................................ 17 1.1.2 Objetivos Específicos .................................................................................... 17
1.2 Justificativa........................................................................................................... 17 1.3 O Desenvolvimento da Dissertação...................................................................... 18
2 REVISÃO DE LITERATURA ................................................................................... 20
2.1 As Janelas e o Consumo de Energia..................................................................... 20 2.2 Janelas Inteligentes ............................................................................................... 21 2.2.1 Filme Fino ..................................................................................................... 23 2.2.2 Óxidos Condutores Transparentes................................................................. 24 2.2.3 Filmes eletrocrômicos ................................................................................... 25
2.3. Filmes de TiO2..................................................................................................... 30 2.4 Processos de Deposição a Vácuo.......................................................................... 34 2.4.1 Deposição química de vapor (CVD).............................................................. 34 2.4.2 Deposição física de vapor (PVD) .................................................................. 36 2.4.3. Sistemas de Deposição existentes no LATVA............................................. 39 2.4.4 Gestão da Manutenção na Produção de Filmes Finos ................................... 40
2.5. Eficiência Energética........................................................................................... 42 2.5.1 Demanda de Energia e a Questão da Eficiência Energética em Edificações 42 2.5.2 Sistemas de Iluminação Natural .................................................................... 44 2.5.3 Utilização de Luz Natural.............................................................................. 45
2.6. Conforto Ambiental............................................................................................. 45 2.7. Conforto Térmico ................................................................................................ 46 2.7.1 Desempenho Térmico e Ganho de Calor de Vidros ...................................... 47 2.7.2 Desempenho Térmico de Vidros e a Avaliação de Protótipos ...................... 49 2.7.3 A importância das janelas e aberturas ........................................................... 51 2.7.4 As janelas e o consumo de energia em edificações ....................................... 51
3 MATERIAIS E MÉTODOS........................................................................................ 53
3.1 Plano de Gestão da Manutenção, Modernização e Ampliação do LEMS............ 53 3.2 Produções de Filmes Finos................................................................................... 55 3.2.1 Planejamento de Experimento ....................................................................... 55 3.2.2 Deposição de Filmes Finos de óxido de Titânio ........................................... 56 3.2.3 Tratamento Termoquímico ............................................................................ 57
3.3 Caracterizações dos Filmes preparados................................................................ 60 3.3.1 Medida de Espessura ..................................................................................... 60
6
3.3.2 Análise de Composição e Estrutura............................................................... 60 3.3.3 Difração de Raios X ...................................................................................... 61 3.3.4 Caracterização Óptica.................................................................................... 61 3.3.5 Voltametria Cíclica........................................................................................ 62
3.4 Validações do desenvolvimento de filmes de TiO2.............................................. 65 4 RESULTADOS E DISCUSSÃO ................................................................................ 66
4.1 Gestão da Manutenção.......................................................................................... 66 4.2 Influências dos Parâmetros de Deposição ............................................................ 67 4.3 Caracterização de Filmes de TiO2 ........................................................................ 72 4.3.1 Propriedades ópticas ...................................................................................... 72 4.3.2 Composição e Estrutura................................................................................. 73 4.3.3 Voltametria Cíclica........................................................................................ 79
4.4 Considerações finais ............................................................................................. 81 4.5 Protótipo produzido .............................................................................................. 81
5 CONCLUSÕES........................................................................................................... 82
6 SUGESTÕES DE TRABALHOS FUTUROS............................................................ 83
7 REFERÊNCIAS .......................................................................................................... 86
ANEXO A: Ficha de Registro de Manutenção .............................................................. 94
7
LISTA DE ARTIGOS PUBLICADOS
1 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T.; DINIZ, A. S. A. C.; BISPO, V. M.. “Pesquisa de Filmes de TiO2 para Janelas Inteligentes.” Publicado no I Congresso Brasileiro de Eficiência Energética, realizado em Belo Horizonte – MG no período de 12 a 14 de setembro de 2005.
2 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T. ; DINIZ, A. S. A. C. ; BISPO, V.
M.. “Estudo de Filmes de ZnO e FTO para Janelas Inteligentes visando Conforto Térmico.” Publicado nos Anais do VIII Encontro Nacional sobre Conforto no Ambiente Construído (ENCAC), IV Encontro Latino-Americano sobre Conforto no Ambiente Construído (ELACAC) e III Workshop IBPSA-Brasil; AL – Maceió no período de 05 a 07 de outubro de 2005.
3 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T.; NUNES, M. C.; FELIPPE, V. S.
L ; DINIZ, F. A. T. “Gestão da Manutenção na Produção de Filmes Finos para Fabricação de Células Solares Fotovoltaicas.” Publicado no Primeiro Seminário de Sistemas Indústrias de Automação, Minas Gerais , MG – Belo Horizonte no período de 23 a 25 de novembro de 2006.
4 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T.; NUNES, M. C.; FELIPPE, V. S.
L.. “Desenvolvimento de um “Painel Virtual” para o Sistema BAS450 utilizando o LABVIEW.” Publicado no Primeiro Seminário de Sistemas Indústrias de Automação, MG – Belo Horizonte no período de 23 a 25 de novembro de 2006.
5 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T.; DINIZ, A. S. A. C.; SADE, W;
PROENÇA, F. P. H.; ANDRADE, R. P. “Pesquisa e Desenvolvimento de Filmes Finos para Janelas Inteligentes.” Publicado no I Congresso Brasileiro de Energia Solar, Ceará - Fortaleza no período de 08 a 11 de abril de 2007.
6 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T.; NUNES, M. C.; FELIPPE, V. S.
L; DINIZ, F. A. T.. “Gestão da Manutenção na Produção de Filmes Finos para Aplicação em Fontes Alternativas de Energia.” Publicado no XXVIII Congresso Brasileiro da Indústria de Vácuo e Aplicação (CBRAVIC) – Natal no período de 05 a 08 de setembro de 2007
7 PROENÇA, R. T./ BRANCO, J. R. T.; NUNES, M. C.; FELIPPE, V. S.
L.. “Desenvolvimento de um “Painel Virtual” para um Sistema de Deposição de Filmes Finos.” Publicado no XXVIII Congresso Brasileiro da Indústria de Vácuo e Aplicação (CBRAVIC) – Natal no período de 05 a 08 de setembro de 2007
8
LISTA DE FIGURAS FIGURA 01 – Esquema de uma janela eletrocrômica ................................................... 16
FIGURA 02 – Filmes da janela eletrocrômica ............................................................... 22
FIGURA 03 – Janela Inteligente controlada por eletricidade para variação de
luminosidade e transmissão de calor ...................................................................... 23
FIGURA 04 – Janela Inteligente com mudança de coloração. ...................................... 29
FIGURA 05 – Esquema de funcionamento e foto do dispositivo de emissão do feixe de
elétrons ................................................................................................................... 37
FIGURA 06 – Esquema do sputtering ........................................................................... 39
FIGURA 07 – Fotos dos Sistemas de Deposição existentes no LATVA....................... 40
FIGURA 08 – Consumo Final de Energia por Setor...................................................... 43
Fonte: BEN, 2006........................................................................................................... 43
FIGURA 09 - Ferramentas utilizadas na gestão das atividades de manutenção ............ 54
FIGURA 10 – Esquema do reator para produção de filmes finos.................................. 56
FIGURA 11 – Vista frontal do reator BAI 640R ........................................................... 57
FIGURA 12 – Montagem utiliza para tratamento térmico............................................. 58
FIGURA 13 – Detalhe da entrada e saída de gases no forno ......................................... 59
FIGURA 14 – Detalhe das amostras dentro do tubo de quartzo .................................... 59
FIGURA 15 – Difratômetro ........................................................................................... 61
FIGURA 16 – Espectrofotômetro Specord – 210 AnalytikJena .................................... 62
FIGURA 17 – Estrutura organizacional do LEMS antes da mudança ........................... 66
FIGURA 18 – Estrutura organizacional do LEMS após a mudança. ............................. 67
FIGURA 19 – Variação da pressão ao longo do Experimento 1.................................... 70
FIGURA 20 – Variação da pressão ao longo do Experimento 2.................................... 71
FIGURA 21 – Transmitância das amostras T1 e T2 e amostras T1T(amostra T1 tratada)
e T2T(amostra T2 tratada)...................................................................................... 72
FIGURA 22 – Microscopia de Força Atômica da amostra T1....................................... 74
FIGURA 23 – Microscopia de Força Atômica da amostra T1 tratada. .......................... 74
FIGURA 24 – Microscopia de Força Atômica da amostra T2....................................... 75
FIGURA 25 – Microscopia de Força Atômica da amostra T2 tratada (T2T). ............... 75
FIGURA 26 – DRX de TiO2 Calcinado sintetizado....................................................... 76
FIGURA 27 – Identificação das fases presentes no recobrimento................................. 76
9
FIGURA 28 – Difratogramas de Raios X da amostra T1 a diferentes ângulos de
incidência................................................................................................................ 77
FIGURA 29 – Difratograma da amostra T1T ................................................................ 78
FIGURA 30 – Difratograma da amostra T2................................................................... 78
FIGURA 31 – Difratograma da amostra T2T ................................................................ 79
FIGURA 32 – Voltametria cíclica para amostra T1....................................................... 80
A amostra de TiO2 com tratamento térmico (T1T) mostrou-se menos eletroativa que a
amostra não tratada (Fig. 33).................................................................................. 80
FIGURA 33 – Voltamograma cíclico da amostra T1T. ................................................. 80
FIGURA 34 – Janela Eletrocrômica............................................................................... 81
FIGURA 35 – Detalhe da Janela Eletrocrômica ............................................................ 82
10
LISTA DE TABELAS
TABELA 01 – Aparelhos elétricos e suas respectivas potências................................... 21
TABELA 02 – Propriedades gerais de recobrimentos para janelas de energia eficiente.
................................................................................................................................ 29
TABELA 03 – Representação das propriedades de Materiais Eletrocrômicos.............. 30
TABELA 04 – Amostras analisadas por Voltametria Cíclica........................................ 64
TABELA 05 – Amostras utilizadas para caracterização sem tratamento térmico ......... 68
TABELA 06 – Matriz de experimentos 1 ...................................................................... 69
TABELA 07 – Matriz de experimentos 2 ...................................................................... 71
TABELA 08 – Dados da Microscopia de Força Atômica.............................................. 73
11
LISTA DE ABREVIATURAS E SIGLAS
ABNT - Associação Brasileira de Normas Técnicas
AFM - Atomic Force Microscope
ALCVD - Atomic Layer CVD
ANEEL - Agência Nacional de Energia Elétrica
BEN - Balanço Energético Nacional
CDPAEE - Centro de Demonstração e Pesquisa Aplicada em Eficiência
Energética
CEMIG - Companhia Energética de Minas Gerais
CETEC-MG - Fundação Centro Tecnológico de Minas Gerais
CVD - Chemical Vapor Deposition
D.C. - Direct Current
DEC - Dispositivos Eletrocrômicos
EAP - Estrutura Analítica de Projeto
EVA - Etileno-Acetato de Vinila
FTO - Fluorine-doped Tin Oxide
HEC - 2-hidroxietil cellulose
HPC - hidroxipropil cellulose
ITO - Indium Tin Oxide
LATVA - Laboratório de Tratamento de Superfície sob Vácuo
LEMS - Laboratório de Engenharia e Modificação de Superfícies
LPCVD - Low-Pressure CVD
MEV - Microscopia Eletrônica de Varredura
MFA - Microscopia de Força Atômica
NBR - Normas Brasileiras
NIR - Near InfraRed
PECVD - Plasma-Enhanced CVD
P&D - Pesquisa e Desenvolvimento
PVD - Phisical Vapor Deposition
RF - Radiofreqüência
RMS - Root Mean Square
RTCVD - Rapid Thermal CVD
12
sccm - standard cubic centimeter per minute
SDT - Setor de Tecnologia Metalúrgica
SPM - Scanning Probe Microscopy
STQ - Setor de Análises Químicas
T1 - Amostra T1
T1T - T1 tratada
T2 - Amostra T2
T2T - T2 tratada
TCO - Transparent Conducting Oxide
UFMG - Universidade Federal de Minas Gerais
XRD - X-ray Diffraction
WBS - Work Break-down Structure
13
RESUMO A conscientização quanto às limitações necessárias ao uso de recursos naturais impõe questões referentes a um projeto arquitetônico mais racional do ponto de vista energético. A associação de indústrias de energia solar nos Estados Unidos declara que janelas inteligentes (eletrocrômicas) poderiam chegar a causar uma diminuição de 50% no gasto de energia em um edifício. Isso torna seu uso importante não só para fins estéticos e de conforto térmico, mas, também, para redução do consumo e aumento da eficiência energética. Nesse contexto, a pesquisa e o desenvolvimento de janelas inteligentes (dispositivos eletrocrômicos) tornam-se relevantes para a agenda energética nacional e, também, mundial, pelo papel que podem desempenhar no tocante ao conforto térmico e visual, possibilitando a redução do consumo de energia elétrica com lâmpadas e aparelhos de ar condicionado. As janelas inteligentes possibilitam regular a transmissão de luz e calor para ambientes fechados, reduzindo o consumo de energia com iluminação e condicionamento de ar, contribuindo para o conforto visual e térmico. O conforto térmico resulta das condições climáticas externas e, portanto, da eficácia das proteções adequadas das edificações. Vários estudos sobre dispositivos têm sido realizados visando o conforto térmico e a eficiência energética. Dentre as técnicas promissoras para a produção de filmes para esse dispositivo, a Deposição Física de Vapores apresenta vantagens devido à sua flexibilidade e à qualidade dos produtos, o que proporciona uma maior diversidade dos materiais que podem ser utilizados, e à possibilidade de seu uso para produção seriada. Nesse estudo, investigou-se deposição a partir da evaporação a vácuo de Titânio, com fusão por feixe de elétrons e em atmosfera reativa com assistência por plasma. Investigou-se, também, o efeito de tratamento termoquímico pós-processamento, em atmosfera oxidante. Os filmes foram analisados por microscopia de força atômica, espectroscopia UV-VIS-NIV, difração de Raios X e voltametria cíclica. Considerando-se as características estruturais, ópticas e os resultados de voltametria, os filmes, da maneira como foram depositados, têm teor de óxidos de Titânio suficientes para a realização de processos eletrocrômicos. Com o melhor filme produzido e outros desenvolvidos em projetos correlatos, foi implementado com sucesso um dispositivo eletrocrômico de 2cm x 2cm que validou esse desenvolvimento.
14
ABSTRACT The understanding of the natural resource limitation brings up some important
questions referring to a more rational architectural project on energetic point view. The
association of solar energy industries in the United States declares that smart windows
(electrochromic) could allow a decrease of 50% in the amount of energy used in a
building. This makes their use important not only for aesthetic ends and for thermal
comfort, but also to reduce the consumption and to increase energy efficiency. In this
context, the research and development of smart windows (electrochromic devices)
become very important in the country and world calendar, because of the visual and
thermal comfort. The smart windows can reduce the electrical energy consumption of
lamp and devices of conditioned air. The smart windows regulate the light and heat
transmission to closed atmospheres, reducing the energy consumption with illumination
and air-conditioners, contributing to visual and thermal comfort. The thermal comfort
results of the external climatic conditions and, therefore, of the effectiveness of the
appropriate protections of the constructions. Several studies on devices have been
accomplished seeking thermal comfort and energy efficiency. Among the promising
methods of film production for smart windows, Physical Vapor Deposition have some
advantages because of the flexibility and quality of the product, this provide a bigger
diversity of the materials that can be used and the possibility to produce in large scale.
At this work, the consumption and energy efficiency increase of films of titanium oxide
produced by electron beam assisted by plasma, one of the techniques of Physical Vapor
Deposition and thermo chemical post-processing treatment, in oxidize atmosphere are
investigated. The films have been analyzed by atomic force microscopy, UV-VIS-NIV
spectroscopy, X-ray diffraction and cyclic voltammetry. Considering the structural and
optical properties and the voltammetry, the results indicate that the manufactured films,
considering the way of deposition, have sufficient titanium oxide to electrochromic
process. Through the best film produced, and other developed in correlated projects
was implemented an electrochromic device with 2cm x 2 cm that validated this
development.
15
1 INTRODUÇÃO
Vive-se, atualmente, tempos de incertezas, tempos de questionamentos e de
expectativas na construção do futuro com sustentabilidade. O desafio do setor elétrico
nacional, após o racionamento de energia, tem sido buscar modelo que garanta um
equilíbrio entre a oferta e a demanda de energia, necessárias para o crescimento do País.
Entretanto, juntamente a todas as incertezas e questionamentos, há uma direção a ser
seguida: utilizar a energia e os recursos disponíveis de forma racional. O
aproveitamento da energia solar tem sido o foco de inúmeras pesquisas visando à
eficiência e à redução do consumo de energia. Hoje, é notório o desenvolvimento de
tecnologias para a utilização de fontes alternativas de energia (YOONG, 1989;
OLIVEIRA, 2000; GRANQVIST, 2002; GRANQVIST,2007)
Essa direção, em processo de internalização na cultura brasileira, precisa se
tornar um valor importante não apenas nas políticas de governo ou nas concessionárias
de energia elétrica, mas, também, nas ações cotidianas, nas atividades empresariais e no
exercício da cidadania.
Em um tempo de escassez de recursos para novos investimentos, a eficiência
energética, resultado do combate ao desperdício de energia e da eficientização de
processos que a utilizam, é um fator de competitividade e cidadania.
Este trabalho está inserido em um projeto que pretende estudar e desenvolver
filmes finos para Janelas Inteligentes (Smart Windows) de forma a contribuir para uma
maior Eficiência Energética em usos finais de energia e, também, desenvolvimento de
novas tecnologias. A Fundação Centro Tecnológico de Minas Gerais (CETEC-MG) é a
executora do projeto e atua em parceria com a Companhia Energética de Minas Gerais
(CEMIG), a qual gerencia o trabalho junto à Agência Nacional de Energia Elétrica
(ANEEL), agência que tem a responsabilidade de regulamentar o Setor Elétrico. A
origem desse projeto foi a tese de doutorado de Diniz,1995, onde foi feito um estudo de
propriedades elétricas e macroestruturais de filmes In2O3:Sn para aplicações em energia
solar.
A pesquisa e o desenvolvimento de filmes finos são de fundamental importância
para a produção das Janelas Inteligentes. Esse tipo de janela é capaz de controlar a
16
luminosidade do ambiente, podendo ser usado para regular a intensidade da luz e atuar
na temperatura do local em que está instalada. Como resultado, pode-se ter um menor
uso de ventiladores e aparelhos de ar condicionado para refrigeração durante o verão ou
aquecedores durante o inverno. Uma comparação pode ser feita entre a janela
inteligente e um gerador fotovoltaico de mesma área e instalado no mesmo local. A
economia de energia advinda do uso da Janela Inteligente é equivalente à energia que
poderia ser gerada pelo gerador fotovoltaico, utilizando-se as células solares mais
eficientes atualmente. (GRANQVIST, 2002)
Materiais eletrocrômicos sofrem uma mudança em suas propriedades óticas
quando uma diferença de potencial é aplicada no dispositivo. Uma grande quantidade de
materiais orgânicos e inorgânicos exibe o eletrocromismo (GRANQVIST, 2007).
Dispositivos para envidraçamento eletrocrômico podem ser fabricados com cinco
camadas que consistem em dois óxidos condutores transparentes (TCO), um eletrólito
ou condutor de íons, um eletrodo contador (contra-eletrodo) e uma camada
eletrocrômica (eletrodo), Fig. 01. (LAMPERT, 2004). Controlando-se o potencial
elétrico nos filmes eletrocrômicos é possível controlar-se a transmitância através destes.
Isto os torna mais um recurso para contribuir com a redução da demanda de energia.
Substrato – Vidro
TCO
Eletrocrômico e-
A+
Eletrólito – Condutor de Íons
Armazenagem de íons
TCO
Substrato
FIGURA 01 – Esquema de uma janela eletrocrômica
17
Há vários dados que indicam que as janelas inteligentes têm um importante ciclo
pela frente (PRIDE, 2003). Um estudo de 2002 relatou que a demanda por essas janelas
nos Estados Unidos seria da ordem de 20% para o período de 2004-2006, quando
atingiria US$500 milhões, uma taxa, aproximadamente, 5 vezes maior que a taxa de
crescimento do consumo de vidros planos entre 1997 e 2002 (GRAHL, 2002).
Em outro estudo relevante, consumidores se mostraram altamente atraídos pelos
aspectos de economia de energia possibilitados pelas janelas inteligentes, tendo ainda
constatado que as melhores condições de iluminação ao longo do dia promovem o
aumento da produtividade, de 15 a 20% (SOTTILE, 2005). Com a utilização da janela
inteligente em edificações, será possível diminuir a demanda de energia durante o dia.
1.1 Objetivos
1.1.1 Objetivos Gerais
Desenvolver filme de Óxido de Titânio com qualidade para Janela Inteligente.
1.1.2 Objetivos Específicos
• Adequação/Manutenção de sistemas de deposição de vapores para preparo de
filmes óxidos.
• Preparar filmes de óxidos de Titânio, a partir da evaporação a vácuo de Ti, em
atmosfera oxidante.
• Determinar características estruturais, ópticas e eletroquímicas dos filmes
preparados e relacioná-las as variáveis de processamento.
• Verificar o efeito de tratamentos termoquímicos pós-processamento dos filmes
óxidos, na sua estrutura e transmitância óptica.
• Produzir um protótipo de janela inteligente para validação do filme.
1.2 Justificativa
No Estado de Minas Gerais, as questões relativas à eficiência energética de
edifícios e equipamentos é uma das ações da Companhia Energética de Minas Gerais
(CEMIG), a principal concessionária de energia elétrica do Estado. A CEMIG tem,
aprovados pela ANEEL, diversos projetos de P&D em áreas de interesse.
18
O projeto começou com a idealização de dois centros de pesquisa e
desenvolvimento em eficiência energética, um deles instalado na PUC-MG, para
estudos sobre energia solar como instrumento de eficientização energética, e o outro no
Centro Federal de Educação Tecnológica (CEFET), direcionado para equipamentos
usados na busca do uso racional de energia. Ambos também apoiaram a capacitação de
pessoas para compreender e praticar formas de energias eficientes e renováveis, além de
representarem espaços voltados para a transferência de tecnologia.
A idéia virou realidade quando a UFMG e o CETEC-MG se integraram ao
projeto por intermédio do Laboratório de Arquitetura Bioclimática e o Laboratório de
Engenharia e Modificações de Superfícies, respectivamente.
O P&D016, Abordagem Integrada da Eficiência Energética, buscava o
desenvolvimento de 5 subprojetos:
1) Habitações Eficientes,
2) Sistemas Integrados de Energia na Concepção e Uso de Edificações
de Diferentes Tipologias,
3) Maior Eficiência Energética de Processos e Equipamentos Térmicos
e Elétricos,
4) Automação Predial,
5) Vidros Eletrocrômicos.
Os resultados desse trabalho cobriram as metas do subprojeto 5 de
desenvolvimento experimental de vidro capaz de reagir, diferentemente, às variadas
incidências solares.
Espera-se, com isso, contribuir para o cumprimento, por parte dos edifícios
públicos do Estado, do decreto 43.696 de 11/12/2003. Esse decreto obriga os prédios
públicos a reduzirem os gastos com energia elétrica em 15%.
1.3 O Desenvolvimento da Dissertação
Seguindo a Introdução, a dissertação é apresentada ao longo de mais seis
capítulos, a saber, Revisão de Literatura, Materiais e Métodos, Resultados e Discussões,
Conclusões, Sugestões para Trabalhos Futuros, Referências e Anexos.
19
O Capítulo 2 aborda questões referentes à janela inteligente, óxidos condutores
transparentes, filmes eletrocrômicos, técnicas de produção de filmes finos,
gerenciamento da manutenção no Laboratório de Tratamento de Superfícies Sob Vácuo
(LATVA), eficiência energética, conforto térmico e filmes de óxido de Titânio (TiO2).
É enfatizado o setor elétrico brasileiro e o papel das edificações no consumo de energia
e a utilização de janelas inteligentes. Também é destacada a parte de gerenciamento da
manutenção no Laboratório de Tratamento de Superfícies sob Vácuo, tarefa essa de
fundamental importância para o desenvolvimento das atividades no Laboratório de
Engenharia e Modificações de Superfícies (LEMS) e para maior entendimento do
funcionamento dos reatores para produção de filmes
O Capítulo 3 apresenta a metodologia de trabalho e os materiais que estiveram
envolvidos na pesquisa. São tratados, ainda, o Plano de Gestão da Manutenção,
Modernização e Ampliação, Produções de Filmes Finos, Caracterização dos Filmes
preparados e a Validação do dispositivo.
O Capítulo 4 apresenta os resultados e discussão dos mesmos. São apresentados,
inicialmente, resultados referentes à gestão da manutenção e, posteriormente às
caracterizações dos filmes de TiO2 produzidos, especificamente caracterizações
relativas à estrutura e composição dos filmes, caracterização óptica, medida do efeito
eletrocrômico e montagem de protótipo de Janela Inteligente.
O Capítulo 5 apresenta as conclusões desse trabalho abordando os principais
avanços alcançados na pesquisa.
O Capítulo 6 apresenta sugestões de trabalhos futuros e mostra parte do
desenvolvimento referente aos dados para proposta de um novo P&D CEMIG-ANEEL
e simulação computacional utilizando o EnergyPlus.
No Capítulo 7, são listadas as Referências Bibliográficas utilizadas no presente
trabalho.
Ao final do trabalho, é apresentado o anexo A, referente à ficha de manutenção.
20
2 REVISÃO DE LITERATURA
2.1 As Janelas e o Consumo de Energia
As janelas, aberturas e proteções (cortinas, brise) proporcionam, em uma
edificação, o controle da passagem da luz e de ar para o interior do ambiente. Através
desses fechamentos, que, usualmente, são transparentes, torna-se possível o contato
visual entre os ocupantes de uma edificação e o meio externo. As características
construtivas desses elementos possibilitam o isolamento ao frio ou ao calor e também
uma maior privacidade. As janelas são um dos mais interessantes e sensíveis elementos
no projeto de uma edificação, devido às suas funções e à sua relação com o ambiente
externo (GÓMEZ, 1995; MARINOSKI, 2005).
No projeto arquitetônico, as janelas tendem a ocupar um lugar de destaque na
estética do projeto. Além disso, ela vem despertando preocupação em relação ao
consumo de energia de uma edificação. O interesse nasce da sua relação com o
dimensionamento de sistemas de iluminação e o condicionamento de ar (GHISI, 2005).
Janelas amplas podem proporcionar níveis mais altos de iluminação natural e melhor
vista para o exterior, mas, também, podem permitir maiores ganhos ou perdas de calor,
o que refletirá no consumo de energia de edificações condicionadas artificialmente
(GHISI, 2005).
O custo de energia é cada vez mais elevado devido às restrições de
licenciamento ambiental que impedem a expansão da geração de energia hidrelétrica e,
também, ao crescimento da economia que possibilita um aumento da demanda de
energia. Diante dessa situação, as edificações não podem ser vistas apenas como “a
parte” no meio. Outro ponto é que as janelas não consomem energia. Porém, é
necessário pensar na questão de forma ampla. O consumo não tem relação direta ao
elemento janela, mas aos efeitos que essa causa no ambiente. Ela exerce forte influência
sobre o desempenho energético de uma edificação. Basta se imaginar dias quentes e dias
frios onde se atua no elemento janela buscando estabelecer um melhor conforto em
determinado ambiente. Trabalhando-se com equipamentos/dispositivos de maior
eficiência energética, há uma redução do consumo de energia.
21
Para se ter uma idéia do consumo de energia com condicionamento de ar e
iluminação nas edificações de uma forma geral, a Tab. 01 apresenta médias de consumo
mensal de alguns aparelhos elétricos.
TABELA 01 – Aparelhos elétricos e suas respectivas potências
Aparelhos Elétricos Potência
(Watts)
Dias estimados
Uso/Mês
Média
Utilização/Dias
Consumo
Médio
Mensal
(kWh)
AR CONDICIONADO 7.500 BTU 1000 30 8 h 240,0
AR CONDICIONADO 10.000 BTU 1350 30 8 h 324,0
AR CONDICIONADO 12.000 BTU 1450 30 8 h 348,0
AR CONDICIONADO 15.000 BTU 2000 30 8 h 480,0
AR CONDICIONADO 18.000 BTU 2100 30 8 h 504,0
CIRCULADOR AR GRANDE 200 30 8 h 48,0
CIRCULADOR AR PEQ/MED 90 30 8 h 21,6
VENTILADOR DE TETO 120 30 8 h 28,8
VENTILADOR PEQUENO 65 30 8 h 15,6
LÂMPADA FLUORESCENTE
COMPACTA - 11W 11 30 5 h 1,65
LÂMPADA FLUORESCENTE
COMPACTA - 15W 15 30 5 min 2,2
LÂMPADA FLUORESCENTE
COMPACTA - 23W 23 30 5 h 3,5
LÂMPADA INCANDESCENTE - 40W 40 30 5 h 6,0
LÂMPADA FLUORESCENTE
COMPACTA - 60W 60 30 5 h 9,0
FONTE: PROCEL
Analisando-se a Tab. 01, pode-se constatar o alto consumo de equipamentos
relacionados ao condicionamento de ar. Pode-se observar que o consumo médio mensal
desses aparelhos varia de 240 a 504kWh, de acordo com a potência do aparelho. Já os
sistemas de iluminação apresentam um menor consumo médio mensal quando
comparados aos sistemas de condicionamento de ar.
2.2 Janelas Inteligentes
As janelas inteligentes ou eletrocrômicas são dispositivos que representam a
aplicação prática do fenômeno chamado eletrocromismo. Por definição, eletrocromismo
22
implica em uma mudança reversível de coloração, ocasionada pela aplicação de uma
diferença de potencial ou corrente elétrica (GRANQVIST, 1991; MONTEIRO, 2002;
AVELLANEDA, 2005). Uma janela inteligente deve ser composta por algumas
camadas, conforme Fig. 02 (SIVAKUMAR, 2004). A parte central é um condutor
puramente iônico (eletrólito), usualmente um filme fino ou um material polimérico
laminar, que deve ser um bom condutor para pequenos íons, tais como Li+ ou H+. O
eletrólito fica em contato com uma camada eletrocrômica e um contra-eletrodo. O
último, no caso de um dispositivo transparente, deve exibir eletrocromismo de maneira
oposta àquela do filme eletrocrômico base. Idealmente, o filme eletrocrômico (contra-
eletrodo) pode apresentar um forte eletrocromismo catódico ou anódico (GRANQVIST,
2003; PAWLICKA, 2004; AVELLANEDA, 2005). Esses eletrodos são contatados com
filmes finos condutores e transparentes (por exemplo, ZnO e FTO) que, por sua vez,
devem se apoiar em algum substrato.
Os dispositivos eletrocrômicos apresentam uma estrutura de sanduíche,
composta por filmes finos de óxidos condutores (por exemplo, ZnO e FTO) e uma
segunda camada de filme eletrocrômico (por exemplo, WO3 e TiO2) (GRANQVIST,
1998).
FIGURA 02 – Filmes da janela eletrocrômica
1. Vidro 2. Óxido condutor 3. Filme eletrocrômico 4. Polímero com metal ou cátions que sairão desta camada para eletrocrômica com cargas negativas. 5. Filme
eletrocrômico com coloração elétrica oposta à anterior. 7. Vidro.
Janelas Inteligentes proporcionam um maior conforto térmico e luminoso nas
edificações, uma vez que são dispositivos capazes de controlar a luminosidade da luz
solar e a temperatura no ambiente. Nas janelas feitas de cristais líquidos, tem-se uma
redução na transparência das mesmas. Já nas janelas de materiais eletrocrômicos, tem-se
23
uma redução na transmitância da luz, ou seja, uma modulação óptica (GRANQVIST,
1998; PATIL, 2005).
FIGURA 03 – Janela Inteligente controlada por eletricidade para variação de
luminosidade e transmissão de calor
A Fig. 03 apresenta o esquema de uma janela inteligente em que uma tensão
elétrica é aplicada. O Lítio migra dessa camada (Contra-eletrodo) para a camada que
contém óxido de Titânio com propriedade eletrocrômica através de uma reação química,
a qual altera a transmissão de luz nesse material. A coloração de um material
eletrocrômico é controlada pela variação do número de cargas envolvidas na reação
eletrocrômica (OLIVEIRA e TORRESI, 2000).
A habilidade das janelas inteligentes para controlar efetivamente a transferência
de calor e de luz possibilita uma vantagem adicional em sua utilização, favorecendo a
utilização da luz natural durante várias horas do dia (NIKLASSON, 2004). Outra
vantagem é a possibilidade de se usar, efetivamente, uma área envidraçada maior que
pode ser ocupada, devido à rejeição das radiações do infravermelho médio e próximo.
2.2.1 Filme Fino
Filmes finos são camadas de materiais com uma alta razão superfície/volume.
Fino é um termo relativo. Porém, alguns filmes podem atingir a espessura de
nanômetros. Dentre os vários métodos possíveis, utilizou-se, nesse trabalho, um
24
processo de deposição de vapores sob vácuo (STEMPNIAK, 2002). Os filmes foram
produzidos a partir de evaporação de Titânio, sob vácuo, com a condensação do vapor
nos substratos, frios, em camadas sub-micrométricas.
A integridade dos filmes finos é influenciada pela qualidade da sua adesão, por
tensões residuais após a deposição e pela presença de imperfeições superficiais. A
adesão dos filmes finos ao substrato (material onde o filme fino é depositado) ou a uma
camada subjacente de filme fino é uma questão que afeta a confiabilidade do filme. Um
filme que está inicialmente aderindo à camada subjacente, mas se solta após o
dispositivo ser solicitado mecanicamente ou termicamente, pode ficar com defeitos. A
adesão de um filme fino depende da limpeza da superfície onde o filme será depositado
e da rugosidade. Uma superfície muito lisa diminui a tendência de adesão do filme,
enquanto uma superfície muito rugosa pode levar a defeitos na sua cobertura pelo filme,
o que acarreta falhas na adesão do filme fino.
Independente do processo de deposição do filme fino, freqüentemente ele acaba
tendo tensões residuais intrínsecas ao processo de deposição. Tensões residuais afetam
estrutura e propriedades e, se excessivas, podem levar às falhas do filme, como, por
exemplo, perda da adesão e da corrosão. Uma técnica correta de deposição é essencial
para minimizar as tensões residuais em filmes finos.
As aplicações dos filmes finos são diversas. Na ótica, eles são usados para
alterar as propriedades refletivas das superfícies. Na computação, há um estudo sobre a
utilização dos filmes finos de materiais ferromagnéticos para a confecção de memórias
de computadores. Filmes finos de materiais cerâmicos são usados para prolongar a vida
útil de ferramentas de corte e para proteger contra corrosão, devido à dureza e à baixa
reatividade dos materiais cerâmicos.
2.2.2 Óxidos Condutores Transparentes
Óxidos condutores transparentes apresentam, simultaneamente, duas
propriedades de interesse científico e tecnológico: transparência ótica na região da luz
visível e elevada condutividade elétrica à temperatura ambiente. Tais propriedades
viabilizam a utilização dos mesmos como eletrodos transparentes em diversos
dispositivos. Além de serem adequados para utilização em janelas inteligentes como
materiais eletricamente condutores e para dispositivos eletrocrômicos, eles são
25
utilizados, também, em displays finos, outdoor, dispositivos transparentes de alarme e
antenas transparentes para carros. Significativos estudos têm sido promovidos visando-
se o entendimento de suas propriedades, o aperfeiçoamento dessas para diversas funções
e redução de custos (SELLA et al, 1998).
Diversas técnicas são utilizadas para a produção de Óxidos Condutores
Transparentes. Entre elas, destacam-se: “RF magnetron sputtering”, deposição por
pulsos de laser, sol-gel, spray-pirólise, (SABINO, 2007).
A maioria dos experimentos em eletrocromismo são realizados com filmes
crescidos sobre condutores transparentes, sendo os mais comuns aqueles à base de SnO2
(Óxido de Estanho) e o In2O3:Sn (Óxido de Índio dopado com Estanho, ou ITO)
(DINIZ, 1995).
2.2.3 Filmes eletrocrômicos
Há um considerável interesse na pesquisa e desenvolvimento de materiais e
dispositivos que podem ser utilizados como moduladores ópticos em grandes janelas.
Algumas tecnologias potenciais estão disponíveis para janelas, incluindo aquelas
baseadas em fenômenos eletrocrômicos, termocrômicos e fotocrômicos. Vários óxidos
de metais de transição, quando preparados como filmes finos, apresentam a
característica de serem oticamente ativos sob a ação de radiação eletromagnética ou
calor, dando origem aos fenômenos conhecidos, respectivamente, como fotocromismo e
termocromismo (GRANQVIST, 1995). Ainda há outras tecnologias concorrentes, tais
como cristal líquido e displays de partículas suspensas.
Dispositivos eletrocrômicos são atrativos para dispositivos de grande área com
transparência. O desenvolvimento de tecnologias para esses dispositivos é realidade
para janelas de automóveis e edifícios e, também, para espelhos. A história dos
materiais cromogênicos é datada de 1704 quando Diesbach descobriu a coloração
química do Prussian Blue. Em 1930, a coloração eletroquímica foi observada em um
bulbo de Óxido de Tungstênio. Vinte anos mais tarde, Kraus observou coloração
eletroquímica em filmes finos, sendo que o primeiro dispositivo eletrocrômico foi
criado por Déb em 1969 (LAMPERT, 2004).
26
O eletrocromismo implica em poder ser colorido pela ação da eletricidade. O
efeito eletrocrômico ocorre em alguns materiais em que, quando sob ação de um campo
elétrico, são intercalados, neles, elétrons ou íons, o que resulta em mudança de
transmitância e/ou coloração. Um material eletrocrômico de valor tecnológico deve ter
uma ampla faixa de transmitância e independência em relação ao ângulo de visão,
memória óptica e estabilidade aos raios ultravioletas (OLIVEIRA e TORRESI, 1999).
Esse efeito é a base para as tecnologias mais promissoras para seletividade
óptica (MONTEIRO, 2002; AVELLANEDA, 2003).
A modulação da transmitância de materiais eletrocrômicos deve ser reversível
quando a tensão é removida ou quando a polaridade é invertida. São de particular
interesse tecnológico filmes de óxidos cuja absorbância varia com a intercalação ou
deintercalação de um íon condutor. Entre esses materiais, destacam-se óxidos de
tungstênio, molibdênio, nióbio e Titânio, os quais se tornam absorvedores sob inserção
de íons (coloração catódica), enquanto óxidos baseados em Irídio, Ródio, Níquel e
Cobalto tornam-se absorvedores com a extração dos íons, coloração anódica
(GUTARRA e GRANQVIST, 1994). Uma das propriedades de interesse desses
materiais é que eles, ao se tornarem coloridos e após a tensão ser removida, conservam
a cor por algum tempo.
As características que os materiais eletrocrômicos devem apresentar dependem
de sua aplicação, mas, geralmente, buscam-se materiais com baixa tensão mecânica,
alto contraste, rápida cinética de coloração e descoloração e boa capacidade de resistir
aos ciclos de coloração e descoloração.
No primeiro trabalho sobre o efeito eletrocrômico, Déb (Déb, 1969) propôs que
a cor azul produzida no WO3 se devia a centros de cor. Isso significa que, às vezes, a
cor de um sólido tem origem em transições que ocorrem em pontos determinados da
amostra, chamados centros de cor (delocalizados no cristal). Um caso clássico é o
centro de cor F em haletos alcalinos, no qual um elétron é capturado por um defeito da
estrutura do haleto, como a fluorita, ou CaF2, por exemplo, em que um átomo de Flúor é
retirado da sua posição na rede de algum modo (aquecimento, irradiação ou eletrólise).
Nesse deslocamento, o Flúor pode carregar uma carga negativa, deixando uma carga
positiva na sua lacuna, a qual pode ser balanceada por um elétron (CANTÃO, 1993).
27
O eletrocromismo é decorrente de um processo redox1. No caso de óxidos
cristalinos, ocorre uma dupla injeção de íons e elétrons na rede cristalina (OLIVEIRA e
TORRESI, 2000).
Os materiais eletrocrômicos podem ser classificados como:
• Material de coloração catódica: quando o estado mais absorvedor
envolver uma reação de redução,
ECM + xM+ + xe - MxECM (1)
• Material de coloração anódica: quando o estado mais absorvedor
envolver uma reação de oxidação.
ECM + xA- AxECM + xe- (2)
onde ECM representa o material eletrocrômico.
Os materiais eletrocrômicos podem, também, ser classificados de acordo com o
seu mecanismo de coloração. Nesse caso, eles podem ser:
• Material de inserção de íons, que são filmes finos que mudam de cor via
inserção rápida e reversível de íons e elétrons dentro do material,
• Sistema de eletrodeposição reversível, que se trata de uma mudança de
cor efetiva via deposição e dissolução de filmes finos sobre um substrato
transparente.
Os materiais de inserção de íons são condutores mistos, ou seja, conduzem íons
e elétrons, dentro dos quais íons podem ser inseridos rápida e reversivelmente. Para
garantir a eletro neutralidade do meio, a inserção de um íon, em geral um cátion
monovalente M+, dentro da rede do composto, deve ser acompanhada pela injeção de
um elétron, balanceando a estrutura eletrônica do composto e, vice-versa, a inserção de
um ânion, em geral monovalente A-, deve ser acompanhada pela perda de um elétron. O
processo de inserção de íons induz mudanças na distribuição da rede cristalina do
1 Diz-se de uma reação, ou qualquer outro fenômeno, em que, simultaneamente, ocorrem uma oxidação e uma redução.
28
material eletrocrômico e, portanto, nas suas propriedades ópticas (GRANQVIST, 1998;
PATIL, 2005).
Eletrodeposição reversível é um termo geral que inclui a deposição e dissolução
sobre um substrato condutor transparente do material eletrocrômico. Dispositivos
baseados nesse princípio contêm o material eletrocrômico no eletrólito e formam um
filme fino sobre o substrato por passagem de corrente elétrica (OLIVEIRA e TORRESI,
2000).
Materiais de intercalação ou de inserção são formados por óxidos, selenetos e
sulfetos de alguns metais de transição e seus compostos, nos quais íons de pequenas
dimensões, como H+ e Li+, podem ser reversivelmente inseridos e retirados desses
materiais sem acarretar em mudanças nas suas estruturas. As intercalações são
realizadas por meio de reações eletroquímicas em estado sólido, envolvendo
transferências de cargas eletrônicas acopladas com a inserção dos íons móveis na
estrutura do material. A transferência de elétrons pelas reações redox altera a
distribuição eletrônica dos metais de transição do material de intercalação e, então, suas
propriedades óticas e eletrônicas. Se o material de intercalação é preparado na forma de
filmes finos, as alterações nas respostas óticas podem ser usadas para a construção de
dispositivos eletrocrômicos que permitem modular a absorção de luz de forma contínua
entre dois estados claro e escuro (AVELLANEDA,2005; SCARMINIO, 2006).
Desse modo, o comportamento da janela pode ser entendido fazendo-se uma
analogia com o funcionamento de uma bateria, onde a cor depende do estado de carga
(intercalação) ou descarga (deintercalação) do filme eletrocrômico.
Na Fig. 04, pode-se observar uma fotografia da janela inteligente obtida da
Arcoweb.
29
FIGURA 04 – Janela Inteligente com mudança de coloração.
Como prefácio para uma discussão das características específicas de diferentes
recobrimentos para janelas de eficiência energética na Tab. 2, apresentam-se metas
gerais, os requisitos para atingí-las e os materiais pertinentes de cobertura.
TABELA 02 – Propriedades gerais de recobrimentos para janelas de energia eficiente.
Meta Requisitos Material do recobrimento * Calor solar diminuído Refletância de 0.7<λ<3µm
Transmitância dependente
angular
M ou D/M/D
Metal colunar oblíquo
Isolamento térmico
Refletância de 3< λ <50 µm D/M/D SnO2:F; In2O3:Sn, ZnO:Al...
Controle de radiação
dinâmica
Absorção e refletância em material eletrocrômico
Refletância de 0.7< λ <3 µm em material termocrômico
LixWO3, NiOxHy,... Em projeto de
multicamadas com condutor de íon transparente
- baseado em VO2
Alta transmitância Anti-refletância de λ =0.55 µm
AlOxFy...
* M é Ag, Cu, Au (ou Al?); D é Bi2O3, In2O3, SnO2, TiO2, ZnO ou ZnS. Fonte: GRANQVIST, 1991
A Tab. 03 apresenta materiais potencialmente úteis para essas aplicações. Os
filmes de TiO2 e NiO apresentam coloração catódica e anódica respectivamente,
tornando-os de interesse para produção de um dispositivo eletrocrômico.
30
TABELA 03 – Representação das propriedades de Materiais Eletrocrômicos
CLASSIFICAÇÃO
MATERIAL ELETROCRÔMICO
CORES DE TRANSIÇÃO
EFICIÊNCIA ELETROCRÔMICA
(cm2C-1)
WO3 Transparente/azul escuro
115 (633nm)
MoO3 Transparente/azul escuro
5 (633nm)
Nb2O3 Transparente/azul claro
90 (633nm)
Coloração Catódica
TiO2 Transparente/azul claro
8 (646nm)
NiO Transparente/Marrom escuro
50 (350-500nm)
IrO2 Transparente/preto 15-18 (633nm)
Coloração Anódica
IRTOF2 Transparente/preto 20 (633nm)
V2O5 Cinza/amarelo 80 (514nm)
CoOx Vermelho/azul 30 (633nm)
Coloração Anódica e Catódica
Rh2O3 Amarelo/Verde 20 (546nm)
Fonte : OLIVEIRA e TORRESI, 2000
2.3. Filmes de TiO2
Titânio é um dos mais estudados metais de transição. O interesse é devido à
ampla gama de aplicações e pesquisa do material na última década, que mostrou ter
notáveis propriedades ópticas e eletrônicas (CANTÃO, 1993; KARUNAGARAN,
2003). O Titânio é um elemento de transição que se encontra no 4º grupo da Tabela
Periódica. É o segundo metal de transição, possui número atômico igual a 22, massa
molar igual a 47,90 g/mol e símbolo químico, "Ti".
Ele é um metal sólido, branco, prateado e muito resistente à corrosão e ao
impacto mecânico. É um metal de baixa densidade, igual a 4,5 g/ml.
O Titânio foi descoberto em 1791, por William Gregor, no minério Ilmenita
(FeTiO3), que, após tratamento com ácido clorídrico e ácido sulfúrico concentrado,
permite obter o TiO2. M. H. Klaproth, quatro anos depois, redescobriu o elemento, de
31
forma independente, obtendo o chamado Rutilo2. Em 1910, Matthew A. Hunter obteve
o elemento na forma elementar, aquecendo TiCl4 com sódio metálico às temperaturas de
700 a 800°C. O seu nome, Titânio, é derivado do grego Titán, da mitologia grega, filhos
mitológicos do Céu (Uranus) e da Terra (Gaia). Eram gigantes e considerados
personificações das forças da natureza em número de doze (MEDEIROS, 2004).
Esse elemento não ocorre livre na natureza. Em compostos, ocorre
principalmente na forma de Rutilo e Ilmenita3 (FeTiO3). É um metal de abundância
significativa, sendo o nono mais abundante entre todos os elementos e o segundo entre
os metais de transição, ficando atrás apenas do Ferro (MEDEIROS, 2004).
O Titânio é aplicado na fabricação de ligas leves e de alta resistência,
empregadas em reatores, motores de foguetes, aviões e automóveis. Seus compostos são
empregados como pigmento branco para tintas, papel e borracha, além de ser utilizado
na produção de cosméticos e descontaminação radioativa da pele. O TiO2 é utilizado
como pigmento branco em tintas para alvenarias. O TiO2 produz ~90% de brancura,
onde o padrão 100% é produzido pelo MgO. Quanto mais TiO2 a tinta possuir, mais
"grossa" e mais cara ela será.
Titânio (IV) é o estado de oxidação mais estável e mais importante do Titânio. É
encontrado no cloreto de Titânio (IV), TiCl4, um líquido incolor que se hidrolisa
rapidamente quando exposto à umidade atmosférica, formando uma densa fumaça
(GREENWOOD e EARNSHAW, 1998; RUSSEL, 1994). O TiO2 amorfo é utilizado
em inúmeras aplicações por causa do seu alto índice de refração e resistência à corrosão
(MOHAMED et al, 2004).
Apesar do dióxido de Titânio ter sido extensivamente estudado, quer seja por
suas propriedades ópticas, quer seja pelo largo uso em eletroquímica, o efeito
eletrocrômico do mesmo foi observado e estudado por poucos pesquisadores. Em 1982,
o TiO2 foi proposto como material base para a construção de um dispositivo
eletrocrômico, através da intercalação de Li+. O espectro de transmissão óptica relatado
pelos autores (DYER e LEACH, 1978) mostra três picos de absorção: em 850, 480 e
350nm, resultando na cor verde escuro, não coincidindo com outros dados da literatura.
2 Mineral tetragonal, óxido de Titânio, minério de Titânio. 3 Mineral romboédrico, titanato ferroso.
32
Quinze anos mais tarde, mostrou-se que ocorre uma banda de absorção centrada entre
750 e 800nm e que resulta na cor azul escura (CANTÃO, 1993).
Filmes finos de TiO2 podem ser depositados em baixas temperaturas e em
pressão atmosférica por deposição física de vapores e pós-tratamento termoquímico
respectivamente. Enquanto os filmes de TiO2 depositados em temperaturas inferiores a
350ºC são tipicamente amorfos, acima desta temperatura uma fase meta estável
cristalina é formada (MARDARE, 2002). No trabalho proposto por Martin e
colaboradores, é possível observar que, com o tratamento térmico, na temperatura de
300ºC, é observada a forma cristalina Anastásio e que, então, é transformada em Rutilo
entre 700 a 900ºC (MARTIN, 1997; KONSTANTINIDIS, 2006). O tratamento térmico
pode modificar também a densidade das camadas de TiOx e pode mudar o índice de
refração.
O dióxido de Titânio possui eletrocromismo, podendo ser utilizado em liga com
outros metais como Vanádio, Tungstênio e Cério, aumentando, dessa maneira, o tempo
de vida do material em relação aos números de ciclos de intercalação e deintercalação
(IVANOVA e HARIZANOVA, 2005).
A capacidade de carga do TiO2 muda drasticamente nos primeiros 10 ciclos de
voltametria cíclica, quando a sua estrutura é a do cristal Rutilo, pois esta característica é
necessária para a mudança de cor em óxido de Titânio. Pode ser feita uma analogia do
dispositivo eletrocrômico com uma pilha recarregável, que hora está carregada e hora
está descarregada. O óxido de Titânio amorfo cristaliza na forma Anastásio por
aquecimento a 400ºC. A fase Rutilo é obtida por aquecimento a temperaturas mais altas
ou à 400ºC por tempos prolongados (EUFINGER, 2006).
A mudança de cor no dióxido de Titânio ocorre porque este óxido possui uma
estrutura cristalina que, justaposta, forma túneis onde pequenos cátions podem se
inserir, como H+, Li+, K+. Ocorre, assim, o fenômeno de eletrocromismo. Unidades
octaédricas de TiO6 se unem em cadeias que se organizam de maneira a formar
pequenos túneis com vagas para pequenos cátions (CERQUEIRA et al., 2006).
33
Entretanto, as propriedades eletrocrômicas dependem muito dos parâmetros de
deposição e do pós-processamento, por exemplo, tratamento térmico. Vem, daí, a
necessidade de se conhecer parâmetros ótimos para deposição (YONGHONG, 1997).
O TiO2 tem vantagens potenciais para ser utilizado como eletrodo devido à
microestrutura favorável à intercalação e deintercalação de pequenos íons. Além dessa
vantagem, esses óxidos possuem alta resistência mecânica e química, o que lhes confere
características importantes como camadas de revestimento.
Filmes de óxido de Titânio têm um grande band gap que resulta em uma
transmitância ótica excelente na região do visível e infravermelho próximo (MENG,
2005; EUFINGER, 2006). Ele pode ser utilizado como camada de proteção, em grande
escala, de circuitos integrados e na produção de elementos ópticos, devido às suas boas
propriedades de isolamento e índice de refração. Adicionalmente, o TiO2 tem aplicação
potencial em campos de dispositivos eletrônicos, tais como dye sensibilizável para
células fotovoltaicas como recobrimento anti-reflectivo, sensores a gás, displays
eletrocrômicos e guias de onda planares. Essas aplicações de filmes de TiO2 têm
resultado em inúmeros estudos (MENG, 2005).
Muitas técnicas podem ser utilizadas para preparação de filmes de TiO2, tais
como deposição química de vapores, processo Sol-Gel, deposição a laser pulsado,
evaporação por feixe de elétrons e sputtering (MARDARE, 2002; KARUNAGARAN,
2003; MENG, 2005).
A técnica de sputtering reativo tem emergido como uma das técnicas mais
promissoras. Essa técnica permite produção, em grande escala, de filmes de alta
qualidade em altas taxas de deposição. Os parâmetros de processo são facilmente
controlados e um alvo de metal pode ser utilizado (MENG, 2005).
Os filmes preparados à baixa pressão (2x10-3 à 2x10-2 mbar) têm a fase
Anastásio e os filmes preparados à alta pressão têm a fase amorfa. A fase amorfa pode
resultar em um menor espalhamento da luz e, então, um menor coeficiente de extinção.
O índice de refração dos filmes pode ser mudado pela mudança da pressão de
sputtering. Na fase Anastásio, filmes de TiO2 apresentam um maior espalhamento de
luz do que a fase amorfa (MENG, 2005).
34
2.4 Processos de Deposição a Vácuo
Para a produção de filmes finos a partir de vapor, são dois os grupos de
processo:
• Deposição Química de Vapores;
• Deposição Física de Vapores;
2.4.1 Deposição química de vapor (CVD)
A deposição química de vapor, Chemical Vapor Deposition (CVD) refere-se aos
processos que ocorrem na presença de reagentes químicos gasosos que, ao reagirem
quimicamente em substratos, formam filmes finos.
Esse tipo de deposição é usado para a fabricação de wafers semicondutores,
filmes finos amorfos, mono cristalinos e ou policristalinos de metais cerâmicos ou
compostos. O CVD também é usado na fabricação de diamantes artificiais.
Basicamente, para a realização de CVD, introduz-se, primeiramente, uma
mistura pré-definida de gases reagentes e gases inertes com um determinado fluxo em
uma câmara de reação. Depois, os gases vão para o substrato onde são adsorvidos. Em
seguida, ocorrem reações químicas na superfície do substrato para a formação de filmes.
Finalmente, os produtos gasosos das reações desorvem da superfície do substrato e são
removidos da câmara de reação.
Durante o processo de deposição química de vapor, os gases reagentes reagem
não somente na superfície do substrato, mas, também, na fase gasosa, no ambiente do
reator. As reações que ocorrem na superfície do substrato são as de interesse no
processo de CVD.
Reações que acontecem na fase gasosa são chamadas de reações homogêneas.
Essas reações formam agregados de materiais que podem ser depositados, os quais
aderem mal à superfície do substrato. Esses materiais formam filmes de baixa densidade
e com muitos defeitos. Por isso, as reações homogêneas são indesejadas durante a
deposição química de vapor.
35
Um sistema típico de CVD contém linhas de alimentação para gases,
controladores de fluxo mássicos para medirem os gases no sistema, uma câmara de
reação, um sistema de aquecimento para o substrato e sensores de temperatura. Algumas
técnicas especificas são apresentadas a seguir.
2.4.1.1 CVD em camada atômica (ALCVD)
Atomic Layer CVD é um processo de CVD no qual dois reagentes primários são
introduzidos na câmara de reação alternadamente. Um dos reagentes irá aderir à
superfície do substrato, mas não reage sem a presença do segundo. O primeiro reagente
adere ao substrato até saturar sua superfície. Então, o segundo reagente é introduzido, a
reação ocorre e há a formação do filme fino. A espessura do filme é controlada pelo
número de ciclos dos reagentes e não pelo tempo de deposição, como em outros
processos de CVD. Teoricamente, o ALCVD permite controle extremamente preciso da
espessura e da uniformidade do filme fino.
2.4.1.2 CVD à baixa pressão (LPCVD)
Low-Pressure CVD é um processo de CVD que ocorre a pressão menor que a
pressão atmosférica. O LPCVD tem a vantagem de apresentar menos gases indesejados
para a reação. Isso garante a redução de reações indesejadas na fase gasosa e melhora a
uniformidade dos filmes.
2.4.1.3 CVD auxiliado por plasma (PECVD)
Plasma-Enhanced CVD utiliza plasma para melhorar as taxas de reações
químicas. O processo de PECVD permite a deposição a temperaturas menores, o que é
bastante útil na fabricação de semicondutores.
2.4.1.4 CVD térmico rápido (RTCVD)
Rapid thermal CVD é o processo de CVD que usa lâmpadas ou outro método de
aquecimento para aquecer rapidamente o substrato. Aquecendo apenas o substrato, em
detrimento ao gás ou às paredes da câmara, ajuda a inibir as reações indesejadas na fase
gasosa.
36
2.4.2 Deposição física de vapor (PVD)
A deposição física de vapor ou PVD (Physical Vapor Deposition) é uma técnica
de produção de filmes a partir de vapor por reações físicas, diferenciando-se, portanto,
das de CVD. O material a ser depositado deve ser colocado no estado gasoso, formando
um ambiente altamente energético. Nesse ambiente, é colocada a superfície mais fria.
Os átomos, moléculas ou espécies que atingem essa superfície ficam adsorvidos nela e,
com o tempo, alcançam posições de equilíbrio, permitindo formar uma camada sólida.
O local onde partículas de vapor se condensam é o substrato. Frequentemente, todo o
sistema é mantido em uma câmara de vácuo para permitir maior controle da composição
dos filmes, maiores taxas de deposição e maior momentum das espécies que se chocam
com o substrato. Quando se aumenta o livre caminho médio das espécies, os filmes
sofrem os efeitos de sombras.
A Deposição Física de Vapor foi descoberta, acidentalmente, por Faraday, que
observou a deposição de matéria na superfície interna de bulbos de lâmpadas
incandescentes oriundas da explosão do seu filamento. De fato, pode-se observar que,
em uma lâmpada queimada, o vidro fica escurecido no interior, resultado da deposição
de vapor do filamento. A partir da descoberta de Faraday, diversos pesquisadores
desenvolveram processos de deposição em vácuo onde, primeiramente, um material é
transformado em vapor sendo, então, transportado nessa fase e por último, depositado
na superfície de um substrato.
Os primeiros processos de deposição física de vapores (PVD) remontam a 1938
por Berghaus. No entanto, foi necessário esperar pelas deposições iônicas desenvolvidas
por Mattox, no princípio da década de 60, para consolidar grandes expectativas em
torno dessas técnicas de PVD baseadas em sistemas de vácuo. Com o advento da
revolução tecnológica, desenvolveram-se sistemas de vácuo, fontes de alimentação,
entre outros, permitindo otimizar a qualidade da produção de revestimentos
repetidamente e a custos cada vez mais baixos.
Atualmente, existem variações desse processo básico em laboratórios de todo o
mundo. Filmes finos são produzidos dos mais variados materiais através das técnicas de
PVD, sendo a sputtering reativa uma das técnicas mais versáteis, dado que é facilitada a
passagem do trabalho laboratorial para o industrial. O processo possibilita controlar,
37
meticulosamente, os parâmetros de entrada durante a deposição, tais como pressão
inicial e de trabalho, espécies químicas envolvidas (quer sejam de trabalho, quer sejam
de reação) e respectivos fluxos, temperatura do substrato, potências e tensões/correntes
de alimentação e polarização do substrato.
Esse processo permite depositar uma infinidade de metais puros e ligas, como
Ouro, Cromo, Titânio, Tungstênio, Níquel e outros, bem como uma série de cerâmicas,
polímeros e compósitos.
Com o avanço das pesquisas, foi desenvolvido o chamado íon plating,
introduzindo diversos benefícios ao processo de PVD, tais como melhor aderência,
controle da estrutura do filme, deposição em temperaturas baixas, assim como
deposição de ligas, multicamadas, nanocamadas e camadas com gradiente de
composição (MATTOX, 1998).
A técnica se caracteriza pela aplicação de uma tensão negativa de polarização
(bias) nos substratos e assistência de plasma enquanto o material a ser depositado é
transformado para a fase vapor.
A produção da fase vapor pode ser realizada de formas distintas: por evaporação
a arco, por feixe de elétrons, sputtering, processos de aquecimento resistivo, deposição
por laser pulsante, entre outras. Nesse trabalho, serão abortados os processos de
evaporação por feixe de elétrons e sputtering.
2.4.2.1 Evaporação por feixe de elétrons
Nesse tipo de evaporação, o material a ser evaporado é bombardeado por um
feixe de elétrons de alta energia, Fig. 05.
FIGURA 05 – Esquema de funcionamento e foto do dispositivo de emissão do
feixe de elétrons
38
Um filamento de tungstênio do dispositivo de emissão do feixe de elétrons é
percorrido por uma corrente elétrica e libera elétrons termoionicamente. Esses elétrons
são acelerados por uma alta diferença de potencial e são guiados por campos elétricos e
magnéticos em direção ao alvo, que se localiza no cadinho. No bombardeio eletrônico, a
energia cinética dos elétrons se transforma em energia térmica no material-alvo, que
aquece até que taxas de evaporação são atingidas ao se chocarem com um substrato e,
finalmente, nele se adsorvem e se estabilizam, formando um filme.
As vantagens oferecidas pela evaporação por feixe de elétrons são altas taxas de
deposição e maior controle da pureza do filme.
As desvantagens encontradas ao se usar a evaporação por feixe de elétrons são
maior dificuldade em controlar a composição de compostos ou de filmes contendo mais
que um elemento e custo de capital relativamente elevado.
2.4.2.2 Sputtering
Sputtering significa processos pelo qual átomos em um material alvo sólido são
ejetados para uma fase gasosa devido ao bombardeio que sofrem por íons.
A técnica é realizada através da troca de momentum entre íons ou átomos de um
gás e átomos que ganharam momentum podendo ser ejetados. Quanto maior o número
de átomos ejetados por íon incidente, mais eficiente é o processo de sputtering. A
eficiência do processo depende da energia dos íons incidentes, das massas dos íons,
pressão da câmara, tempo de sputtering, potência, fluxo de gases, temperatura de
substrato e átomos do alvo e da energia de ligação dos átomos do alvo.
39
FIGURA 06 – Esquema do sputtering
Os íons para processos de sputtering são conseguidos do plasma onde o alvo está
inserido (geralmente um gás nobre, como o Argônio).
O alvo pode ser mantido a uma temperatura relativamente baixa, uma vez que o
processo não é de evaporação. Por isso, é uma técnica de deposição mais flexível, sendo
especialmente útil para produção de vapor de materiais compostos ou misturas, onde os
diferentes componentes evaporariam com taxas diferentes se outros processos fossem
usados.
O sputtering possui, entre outras, as seguintes vantagens: o material alvo pode
ser grande, permite a deposição uniforme sobre grandes áreas, a espessura do filme é
facilmente controlada através da fixação dos parâmetros operacionais e do ajuste do
tempo de deposição e o controle das propriedades do filme é garantido mais facilmente.
O sputtering também apresenta algumas desvantagens: é um processo caro de se
implementar, as taxas de deposição de alguns materiais são relativamente baixas,
alguns materiais, como sólidos orgânicos, se degradam por causa do bombardeio
iônico, impedindo sua deposição e a tendência do filme ficar impuro é maior que na
evaporação por feixe de elétrons, por trabalhar a uma pressão maior.
2.4.3. Sistemas de Deposição existentes no LATVA
No Laboratório de Tratamento de Superfícies sob Vácuo (LATVA), existem
alguns sistemas para processamento de filmes, Fig. 07. Alguns desses sistemas estão
40
operacionais (BAI e BAS), outros estão parcialmente operacionais (ASTRO e LC03),
em fase de montagem (LC02) e em manutenção (VARIAN).
Os sistemas BAI, VARIAN, BAS e LC02 trabalham com PVD. Já o ASTRO e
LC03 trabalham com processo CVD. O reator utilizado no trabalho foi o BAI.
A manutenção dos sistemas é de suma importância para o processamento de
filmes para aplicação em células solares fotovoltaicas, janelas inteligentes e coletores
solares. A máxima operacionalidade dos sistemas fará com que os mesmos possibilitem
a captação de um número maior de projetos.
(a) ASTRO LC01 (b) LC02 (c) HOT WIRE LC03
(d) BAS 450 MS (e) BAI 640 R (f) VARIAN
FIGURA 07 – Fotos dos Sistemas de Deposição existentes no LATVA
2.4.4 Gestão da Manutenção na Produção de Filmes Finos
Aplicar e desenvolver práticas da gestão da manutenção e implementar
ferramentas adequadas para as atividades desempenhadas dentro do LEMS, mais
especificamente LATVA, responsável pela produção de filmes finos, é parte do escopo
do trabalho de Mestrado. As motivações para o envolvimento do Laboratório no
planejamento e gestão da manutenção estão refletidas na busca do aumento da
41
produtividade, da redução de custo, do amplo compartilhamento das informações e na
identificação precoce de possíveis falhas nos sistemas/equipamentos.
Para melhor entendimento da situação atual da manutenção, é importante relatar
os caminhos percorridos até então. A evolução histórica da manutenção acompanha o
próprio desenvolvimento industrial, tendo sido bastante impulsionada e organizada
devido às necessidades do setor militar.
Essa evolução pode ser dividida em três gerações:
1ª. Geração: Período anterior à Segunda Guerra Mundial, em que a indústria era
pouco mecanizada, os equipamentos eram mais simples e, na sua maioria,
superdimencionados. Na época, a questão da produtividade não era prioritária. A
manutenção era essencialmente corretiva (KARDEC, 2001).
2ª. Geração: Período pós Segunda Guerra Mundial até os anos 60, em que a
indústria passou a atender a demanda por todo tipo de produto. Aumento na
mecanização e complexidade das instalações industriais e, conseqüentemente, um
menor contingente de mão-de-obra industrial. Há uma crescente necessidade de maior
disponibilidade e confiabilidade dos equipamentos e, na busca por maior produtividade,
surge o conceito de manutenção preventiva. Manutenções eram realizadas nos
equipamentos a intervalos fixos. Os custos de manutenção se elevam em comparação
com os custos operacionais. Aumenta-se o planejamento e controle da manutenção e há
uma preocupação com a vida útil dos equipamentos (KARDEC, 2001).
3ª. Geração: Período posterior à década de 70, em que ocorrem novas mudanças
na indústria, custos crescentes com a paralisação da produção e problemas na qualidade
dos produtos. Em alguns casos, ocorre ineficiência das indústrias na utilização de
sistemas just-in-time, onde estoques reduzidos poderiam paralisar a fábrica.
Crescimento da automação e mecanização nos diversos segmentos da sociedade (saúde,
informática, telecomunicações, construção civil) indicando a importância da
confiabilidade e disponibilidade. Na terceira geração, reforçou-se o conceito de uma
manutenção preditiva. A interação entre as fases de implantação de um sistema (projeto,
fabricação, instalação e manutenção) e a disponibilidade/confiabilidade torna-se mais
evidente (KARDEC, 2001).
42
No gerenciamento do trabalho em um centro de pesquisa, mais especificamente,
dentro da área de Manutenção do setor, existe o grande empecilho em relação à
mensuração do andamento das atividades. Além disso, ainda existe uma cultura muito
forte que valoriza a prática da manutenção corretiva, resultando em uma fonte de
gargalos e má utilização dos recursos.
Esses fatores foram impulsionadores da implantação do gerenciamento da
manutenção dentro do Laboratório de Engenharia e Modificações de Superfícies –
LEMS – dentro do Setor de Metalurgia do CETEC/MG em parceria com a CEMIG e
ANEEL no projeto de P&D012 – Desenvolvimento Experimental de Tecnologia para a
Produção de Células Solares de Baixo Custo.
2.5. Eficiência Energética
Utilizar de forma correta a energia elétrica, tratando-a com responsabilidade e
sem desperdício, é uma diretriz com valor crescente no exercício da cidadania. As
ferramentas a serem utilizadas devem estar alicerçadas em dois pontos: no uso de
tecnologias mais eficientes e na mudança de hábito (KRAUSE, 2002).
A energia é um bem essencial utilizado em todos os setores ou áreas da
sociedade. Em alguns setores produtivos, a energia representa não somente um insumo
essencial, mas também se constitui como um dos elementos de maior peso na estrutura
de custos.
O aumento da eficiência energética e a conseqüente redução do ritmo de
crescimento do consumo de energia irão permitir o desenvolvimento de novas
tecnologias. Além disso, a redução da intensidade de consumo energético é hoje a forma
mais eficaz de preservar o meio ambiente e evitar a destruição do patrimônio natural
(KRAUSE, 2002).
2.5.1 Demanda de Energia e a Questão da Eficiência Energética em Edificações
O crescimento da demanda de energia elétrica pode ser visto na Fig. 08. Nos
diversos setores da economia, o consumo de eletricidade é relevante, sendo observado
um bom potencial de economia em alguns setores tais como industrial, comercial e
público e residencial.
43
Gráfico 13 - Consumo Final de Energia: Evolução dos Consumos Setoriais(Brasil 1970-2005)
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
200
1970
1975
1980
1985
1990
1995
2000
2005
106 tep
INDUSTRIAL
TRANSPORTERESIDENCIAL
ENERGÉTICO
AGROPECUÁRIO
COMERCIAL E PÚBLICO
USOS NÃO-ENERGÉTICOS
FIGURA 08 – Consumo Final de Energia por Setor
Fonte: BEN, 2006
A instalação de novas usinas geradoras causa preocupação do ponto de vista
ambiental e social. Há que se pensar em formas de diminuir a demanda de energia
elétrica sem prejudicar a economia do País. Algumas alternativas são possíveis, como:
• Utilização de tecnologias mais eficientes em processos de conversão de energia:
força motriz, ar condicionado, iluminação e refrigeração.
• Educação para a sociedade (programas que visem à educação da população em
geral).
O uso de eletricidade nas edificações comerciais e públicas tem seu foco em
elevadores, bombas e, de forma intensa (aproximadamente 60% da demanda de
eletricidade dos setores), em sistemas de iluminação e de condicionamento ambiental
(SANTOS, 2002). A utilização de aparelhos de ar condicionado nos setores comercial e
público é devida à construção de grandes centros comerciais, ampliação do horário de
funcionamento do comércio, crescimento e modernização do setor de serviço.
44
2.5.2 Sistemas de Iluminação Natural
A utilização da luz natural é, sob todos os aspectos, o ponto de partida para se
obter um sistema de iluminação energeticamente eficiente. Essa é uma tendência
mundial cada vez mais adotada nos modernos sistemas de iluminação, que encontra, no
Brasil, razões mais fortes para ser amplamente utilizada em função das características
climáticas. O Brasil possui uma das abóbadas celestes mais claras do mundo e, em
grande parte do território, a presença de nebulosidade é reduzida quando comparado a
outros países, evidenciando o enorme potencial de racionalização de energia que a
utilização da luz representa (KRAUSE, 2002).
O sol, que é fonte primária de iluminação, tem sua radiação filtrada na atmosfera
pelas moléculas gasosas e partículas de poeira suspensas no ar. Porém, para efeito de
iluminação natural, a fonte de luz considerada é a da abóbada celeste (fonte secundária).
A luz solar direta não é considerada como fonte primária de iluminação em sistemas
naturais, devido à sua enorme carga térmica, por ser uma fonte pontual de grande
intensidade luminosa e, também, devido à sua movimentação (KRAUSE, 2002).
Os problemas mais comuns para o correto aproveitamento da luz natural são:
• A variação da iluminância da abóbada celeste durante o dia: em um edifício, é
necessário considerar tanto a iluminação natural quanto a artificial. A correta
integração entre os dois sistemas pode solucionar o problema da variação da
intensidade da luz proveniente da abóbada e contribuir para a redução do
consumo de energia.
• Realização de tarefas com diferentes exigências visuais no mesmo recinto: a
iluminação de edifícios modernos visa atender a um grande número de pessoas
realizando várias atividades com exigências diferentes quanto ao nível de
iluminância. Para melhor utilizar a luz natural, a localização das tarefas com
maiores exigências visuais deve ser próxima às janelas.
• Da carga térmica que entra nas edificações, oriunda da radiação proveniente do
sol, aproximadamente 50% da energia recebida na Terra é composta pelo
espectro visível (luz) e uma parcela de aproximadamente 45% é composta por
radiações infravermelhas. Um sistema de iluminação natural eficiente deve
possuir uma proteção adequada contra a incidência da radiação solar direta.
45
Nessas condições, o uso da luz natural pode permitir uma redução de até 50% no
consumo de energia elétrica com iluminação, com efeitos positivos sobre o
consumo dos sistemas de ar-condicionado.
2.5.3 Utilização de Luz Natural
Proveniente do sol, direta ou difusa pelas nuvens, a luz natural deveria ser
utilizada ao máximo visando à eficiência dos sistemas de iluminação no período diurno.
Entre os problemas que podem surgir na utilização dessa fonte de luz, destacam-se:
• Certa imprevisibilidade quanto ao caráter da luz solar. O céu com nuvens produz
uma luz difusa e dispersa, enquanto que o sol ao meio-dia produzirá uma luz
dura e com fortes contrastes.
• Mudança rápida na “temperatura de cor” 4 ao longo do dia, o que origina
reproduções cromáticas incorretas.
• A constante mudança da direção da luz que acaba por afetar a situação das
sombras nos objetos imóveis.
• A diferença da duração da luz diurna no inverno e no verão.
• A distinta angulação do sol em relação à terra segundo as estações do ano.
• A necessidade de recorrer à utilização de superfícies pouco refletoras que
ajudem a diminuir o contraste entre luzes e sombras.
• Ter de recorrer às fontes de iluminação artificial para corrigir os efeitos da luz
natural ou para criar efeitos, provocando algumas incompatibilidades que
obrigam a utilização de filtros nos projetos de iluminação.
2.6. Conforto Ambiental
Conforto Ambiental em projetos de arquitetura significa, em linhas gerais, o
atendimento de algumas necessidades orgânicas – basicamente acústicas, higrotérmicas,
visuais e de qualidade do ar. Recentemente, vem se agregando a questão de
sustentabilidade a seu conceito, o que se traduz em novas escolhas de procedimentos e
materiais que resultem no menor impacto ambiental possível (KRAUSE, 2002).
4 Temperatura que se determina pela comparação entre a energia irradiada por um corpo num certo comprimento de onda (ou numa faixa de comprimentos de onda) e a energia irradiada por um corpo negro no mesmo comprimento de onda (ou na mesma faixa de comprimentos de onda).
46
Conforto Ambiental, no âmbito da eficiência energética, incorpora um atributo a
mais que, quando obtido, gera um ambiente saudável ao uso e uma fatura de energia
elétrica mínima necessária para complementar os momentos em que o microclima
externo não oferece as condições necessárias de iluminação, temperatura, qualidade do
ar, umidade ou silêncio (KRAUSE, 2002).
O grande desafio no âmbito da eficiência energética consiste em garantir, via
definição projetual, um ambiente interno o mais ameno possível durante o período de
ocupação – em geral diurno – de forma a retardar, ou mesmo evitar, que o usuário inicie
o processo de climatização artificial e que, se necessário, esse processo seja o mais
econômico possível.
Uma das funções dos fechamentos exteriores de uma edificação é controlar, de
forma adequada, as interferências do meio externo, visando proporcionar um melhor
condicionamento ambiental. A fachada de um edifício atua como um filtro entre as
condições externas e internas para controlar a entrada do ar, do calor, do frio, da luz e
dos ruídos. Do ponto de vista do conforto ambiental, a radiação solar relaciona-se
diretamente ao conforto térmico e visual nas edificações, sendo a fachada, através de
suas superfícies transparentes, a parte do envoltório que permite, facilmente, seu
ingresso no ambiente interno. A radiação solar é uma das condições externas que pode
ser muito benéfica quando bem aproveitada, como também pode ser especialmente
indesejável em determinadas condições. A radiação solar é um dos fatores mais
importantes na determinação de um projeto arquitetônico, pois influencia decisões como
a orientação de fachadas e aberturas e tipos de vidro (SANTOS, 2002).
2.7. Conforto Térmico
Em termos de projeto arquitetônico, deve-se sempre permitir a entrada
gerenciada do clima através do aproveitamento da insolação, iluminação e ventilação
naturalmente disponível. Essa entrada deverá situar-se sobre o envelope construtivo, por
meio do estudo adequado da orientação, sombreamento, escolha de matérias e da
redução das cargas térmicas internas (KRAUSE, 2002).
47
O Brasil encontra-se divido em oito Zonas Bioclimáticas5. Apesar de sua
dimensão e da predominância do clima tropical, a falta de proteção adequada das janelas
traz problemas de desconforto local (ABNT, 2005).
O comportamento do vidro frente à radiação solar e suas possíveis repercussões
no aquecimento e resfriamento deve ser analisado criteriosamente em um projeto de
janela. O vidro pode ser considerado transparente às radiações solares de pequeno
comprimento de onda e opaco às de grande comprimento de onda. Portanto, a radiação
solar que entra por uma janela não retornará da mesma forma ao exterior, aquecendo o
ambiente. Uma parte do calor absorvido será reemitida ao exterior da janela em forma
de condução.
As superfícies transparentes merecem atenção especial quando se trata do
conforto térmico de edificações, pois são elementos vulneráveis a um alto ganho de
calor, principalmente em locais de grande insolação, como é o caso do Brasil.
Considerando seu desempenho como fachadas, devem atender, também, às necessidades
de iluminação, as quais, conjugadas com os requisitos para conforto térmico, garantem a
eficiência energética da construção (MICHELATO, 2005).
2.7.1 Desempenho Térmico e Ganho de Calor de Vidros
As áreas envidraçadas em fachadas ocupam um papel importante em se tratando
de conforto térmico, pois, ao receberem radiação solar, contribuem consideravelmente
para a elevação da temperatura no ambiente interno (CASTRO, 2005).
Uma das funções dos fechamentos exteriores de uma edificação é controlar, de
forma adequada, as interferências do meio externo, visando proporcionar um melhor
condicionamento ambiental. As necessidades de iluminação e contato visual com o
exterior, às quais essas superfícies transparentes visam atender, devem ser conjugadas
com os requisitos para conforto térmico, de modo que se tenha um melhor
aproveitamento da energia solar incidente, resultando em eficiência energética
(CASTRO, 2005).
5 Região geográfica homogênea quanto aos elementos climáticos que interferem nas relações entre ambiente construído e conforto humano.
48
No Brasil, 17,5% do consumo de energia elétrica são relativos aos setores de
comércio e serviços, cujas edificações são, geralmente, compostas por fachadas
envidraçadas. Desse percentual, cerca de 75% são gastos com iluminação artificial e
condicionamento de ar, indicando que a climatização exige demanda energética maior e
que as fachadas envidraçadas, em países predominantemente quentes, contribuem com o
desperdício de energia (NUTAU, 1998).
Conforme Rivero (1986), os fechamentos transparentes são um ponto fraco da
envoltória de um edifício, apresentando uma série de inconvenientes: possuem elevada
transmissão térmica, obrigando a aumentar o dimensionamento dos equipamentos
condicionadores de ar para verão e inverno e incrementando as despesas de instalação e
funcionamento.
A utilização racional de energia implica em varias ações, tais como: substituição
de lâmpadas incandescentes pelas fluorescentes; durante o dia, dar preferência para
utilização de luz natural; manter portas e janelas fechadas quando utilizar o ar
condicionado; desligar o ar condicionado quando o ambiente permanecer vazio; limpar
os filtros do aparelho de condicionamento de ar; utilizar equipamentos de maior
rendimento e que possuam o selo PROCEL, dentre outros fatores.
Do ponto de vista do conforto ambiental, a radiação solar e as janelas
relacionam-se diretamente com o conforto térmico e visual nas edificações, sendo a
janela, através de suas superfícies transparentes, o componente do envelope responsável
pelo ingresso dessa radiação ao ambiente interno. A radiação solar, ao ser absorvida,
converte-se em energia térmica.
É interessante evitar o excesso de radiação solar sem diminuir o aproveitamento
de iluminação natural. O incremento da carga térmica interna devido aos ganhos por
radiação solar pode ser significativo em alguns casos, levando ao super
dimensionamento de equipamentos de refrigeração, que, geralmente, consomem muita
energia.
Atualmente, um constante desafio aos projetistas é o de projetar grandes áreas
envidraçadas que controlem, efetivamente, a penetração da radiação solar no interior
49
dos edifícios, e que obtenham, como conseqüência, um desempenho adequado quanto
ao nível de iluminação e de carga térmica (DIBARTOLOMEU, 2002).
Depreende-se, portanto, que a fachada é um dos elementos responsáveis pelos
resultados obtidos na economia de energia e o vidro, imprescindível para compor a
fachada, é um dos materiais mais requisitados nas exigências de desempenho térmico e
energético.
Caram (2002) obteve valores de transmitância e absortância à radiação solar de
vários tipos de vidros através de análise espectrofotométrica. A partir desses valores,
tornou-se evidente a necessidade de verificar, experimentalmente, os resultados da
aplicação desses materiais em fachadas sujeitas à incidência de radiação solar. Com
isso, é possível analisar o comportamento dos vidros com relação ao ganho de calor
solar verificando o efeito dessas superfícies transparentes no conforto térmico e visual.
2.7.2 Desempenho Térmico de Vidros e a Avaliação de Protótipos
A importância do estudo de um material que, cada vez mais, é utilizado como
envoltório de uma edificação é premente, principalmente em se tratando de edificações
que são verdadeiras “caixas de vidro”. A partir da década de 50, ocorreu a difusão do
conceito de “pele de vidro” através do estilo internacional proposto pelo Movimento
Moderno. Segundo Vianna e Gonçalves (2001), com o uso dos panos de vidro, foi
criada a idéia do espaço aberto sem limites, através da transparência total. O uso
generalizado das fachadas envidraçadas tornou-se possível graças ao avanço da
indústria do vidro e de outras tecnologias (MICHELATO, 2005).
As áreas envidraçadas em fachadas ocupam um papel importante quando se trata
de conforto térmico, pois, ao receberem radiação solar, contribuem consideravelmente
para a elevação da temperatura no ambiente interno. Os materiais que constituem a pele
da edificação têm um papel decisivo na utilização e no controle dos raios solares.
Portanto, as necessidades de iluminação e contato visual com o exterior, às quais essas
superfícies transparentes visam atender, devem ser conjugadas com os requisitos para
conforto térmico, de modo que se tenha um melhor aproveitamento da energia solar
incidente, resultando em eficiência energética (OLGYAY, 1998).
50
Com relação à qualidade da radiação solar transmitida para o ambiente interno,
sabe-se que, da radiação solar total incidente no vidro, uma parcela é absorvida, outra
refletida e a restante, maior, transmitida diretamente ao ambiente interno. As proporções
correspondentes às energias absorvida, refletida e transmitida variam de acordo com o
comprimento da onda incidente, além de estarem, também, relacionados com a
espessura, o índice de refração do vidro e o ângulo de incidência da radiação incidente.
Pode-se dizer, portanto, que cada tipo de vidro possui, para cada uma das faixas do
espectro solar, diferentes transmitâncias. Caram de Assis (2002) obteve esses valores de
transmissão para cada uma das três faixas do espectro solar, para diversos tipos de
vidro. Do ponto de vista de iluminação e temperatura, as principais diferenças entre os
tipos de materiais transparentes estão em suas transmitâncias relativas distintas e taxas
de comprimentos de onda transmitidos (CARAM, 2002). Um vidro ideal seria de
acordo com os efeitos físicos e biológicos relativos a cada faixa do espectro solar, ou
seja, aquele que tivesse uma alta transmissão da radiação visível e baixa transmissão do
ultravioleta e infravermelho (MICHELATO, 2005).
A crise energética ocorrida em 2001, devido à falta de planejamento e ausência
de investimentos em geração e distribuição de energia foi agravada pelas poucas
chuvas. Com a escassez de chuva, o nível de água dos reservatórios das hidroelétricas
baixou e os brasileiros foram obrigados a racionar energia. Diante dessa situação, o
consumo de energia e até questões referentes aos aspectos construtivos de
equipamentos/edificações foram reavaliados. Do ponto de vista arquitetônico, isso
trouxe à mídia um grande problema e os edifícios de vidro eclodiram como uma questão
fundamental. Tentando solucionar os problemas de superaquecimento, o mercado atual
oferece vários tipos de materiais transparentes em diversas cores, permitindo uma
grande liberdade no projeto. Porém, o que se tem notado é que a estética quase sempre
norteia a escolha do material, não levando em consideração as características óticas dos
materiais transparentes. Além disso, alguns materiais transparentes têm propriedades
que podem representar uma opção em termos de controle da radiação solar. Porém, esse
controle pode ter atenuação limitada, pois uma área transparente mal dimensionada ou
posicionada de forma incorreta provocaria um calor excessivo no ambiente.
Os arquitetos e projetistas têm um grande número de opções de materiais
transparentes no mercado. Porém, precisam escolher materiais mais adequados à
51
realidade climática. Esse cuidado deve ser maior num país como o Brasil, já que a
incidência solar proporciona elevadas temperaturas médias durante todo o ano. O uso
excessivo de paredes externas com grandes áreas transparentes, sem elementos
adequados de proteção, pode implicar num significativo aumento do ganho de calor no
interior das edificações, traduzindo-se em desconforto para usuários ou em grande
consumo energético (MICHELATO, 2005).
2.7.3 A importância das janelas e aberturas
As janelas e aberturas, comumente, nos proporcionam controle da passagem da
luz e de ar para o interior do ambiente. São elas que permitem, através de fechamentos
transparentes, o contato visual entre os ocupantes da edificação e o meio exterior. Suas
características construtivas podem oferecer isolamento ao frio ou ao calor, bem como
segurança e privacidade. Isso demonstra o seu significativo papel em proporcionar
qualidade de vida e conforto nas edificações. PEREIRA (1992) e CARMODY et al.
(1996) destacam que as janelas são um dos mais interessantes e sensíveis elementos no
projeto de uma edificação, devido às suas funções e à sua relação dinâmica com o
ambiente externo (MARINOSKY, 2005).
Arquitetonicamente, as janelas e aberturas podem ocupar um lugar de destaque
atribuindo beleza e estética ao projeto. Mas, além das atribuições estéticas e funcionais,
nos últimos anos, essas vêm despertando outro tipo de preocupação: a influência no
consumo geral de energia da edificação. Esses elementos podem influenciar,
diretamente, tanto o desempenho como o dimensionamento de sistemas de iluminação e
condicionamento de ar (MARINOSKY, 2005).
2.7.4 As janelas e o consumo de energia em edificações
Atualmente, a conservação de energia tem mostrado ser uma preocupação
crescente em diferentes setores produtivos da sociedade. A exemplo de outras áreas,
também na construção civil, a eficiência energética tem se tornado um aspecto
fundamental. Devido ao custo da energia, o edifício não pode mais ser considerado um
elemento à parte do meio. Com a crise do petróleo, que ocorreu na década de 70, muitos
países passaram a pesquisar novas fontes de geração e diferentes formas de redução do
consumo. Nos EUA, durante esse período, as janelas passaram a ser vistas como
52
responsáveis por uma grande parcela do uso da energia (SELKOWITZ, 1985;
ARASTEH, 1995).
Talvez seja difícil compreender ou, até de certa forma, torne-se intrigante dizer
que uma janela consome energia, porém, é preciso analisar a questão de forma mais
ampla. O consumo não está associado ao elemento em si, mas aos efeitos que este causa
no ambiente. Uma janela, mesmo sem utilizar energia diretamente, exerce influência
sobre o desempenho energético da edificação (FROST et al., 1993; CADDET, 1999).
Um dos principais aspectos aos quais se atribui responsabilidade de consumo de
energia às janelas está relacionado ao condicionamento do espaço interno. Muitos
estudos têm demonstrado a veracidade dessa culpa atribuída às mesmas. FROST et al.
(1996) estimam que, no ano de 1994, existia nos EUA uma área de janelas de
aproximadamente 1,77 bilhões de metros quadrados no setor residencial, os quais eram
responsáveis pelo consumo de 1,7x1015 BTU/ano (498 TWh/ano)1. Destes, 1,3x1015
BTU/ano (76,5%) eram usados para aquecimento e 0,4x1015 BTU/ano (23,5%) para
resfriamento. Isto representava mais de 2% do consumo total de energia do país.
Em outro trabalho, REILLY e HAWTHORNE (1998) realizaram um estudo
avaliando a influência da transmitância térmica e do ganho de calor solar através de
janelas sobre o consumo de energia com condicionamento (aquecimento e resfriamento)
de ambientes residenciais em cidades dos EUA. Estima-se que, para o caso da cidade de
Baltimore (aquecimento predominante), o ganho de calor solar através de janelas
compõe aproximadamente 15% da energia utilizada para condicionamento. Já para a
cidade de Miami (resfriamento predominante), o ganho de calor solar é responsável por
37% do consumo de energia com condicionamento.
Estudos e simulações energéticas de edifícios comerciais na cidade de Hong
Kong mostram que o consumo com ar condicionado está entre 50% e 60% do uso total
de energia elétrica, sendo o ganho de calor solar, principalmente por aberturas, o maior
responsável pela carga de resfriamento (LI e LAM, 2000). Também relacionado ao
consumo de energia, WINKELMANN (2001) estima que, em média, a transferência de
calor através de janelas corresponda a 31% da carga de resfriamento e 17% da carga de
aquecimento em edifícios comerciais dos EUA. Já no caso de construções residenciais,
esses números seriam de 34% e 23%, respectivamente.
53
3 MATERIAIS E MÉTODOS
Os trabalhos foram conduzidos com vistas no desenvolvimento de processo para
produção de filmes óxidos de Ti. Além disso, foram realizadas, atividades:
• Adequação/Manutenção de sistemas de deposição de vapores para preparo de
filmes óxidos.
• Gestão da Manutenção, Modernização e Ampliação no LEMS.
Foram preparados e caracterizados filmes com e sem pós-processamento. O
melhor filme foi utilizado para montagem e testes de um dispositivo eletrocrômico.
3.1 Plano de Gestão da Manutenção, Modernização e Ampliação do LEMS
O propósito inicial era de melhorar os indicadores de desempenho através do
planejamento do trabalho das equipes de manutenção e registro das intervenções
realizadas nas máquinas, de forma a documentar a atividade e criar um histórico de
manutenção em cada equipamento. Esses indicadores constam da análise do andamento
das atividades conforme a linha de base traçada no planejamento quadrimestral do
laboratório. Semanalmente, é conferido o andamento das atividades e feita a
comparação com o planejamento inicial, com o objetivo de identificar possíveis atrasos
e riscos para o projeto. Ao final de cada mês, documenta-se o trabalho realizado e são
detalhadas as atividades que foram concluídas no prazo, as que estão em andamento
dentro do prazo, as que estão em andamento fora do prazo e as que ainda não foram
iniciadas e estão fora do prazo. Esses dados são tratados gerando documentos gráficos
que interpretam o desempenho da manutenção realizada nos equipamentos.
Para cumprir com os objetivos iniciais, o primeiro passo foi fazer uma revisão
bibliográfica e pesquisar as melhores práticas – benchmarks - existentes no segmento
industrial e que se adequam à situação de trabalho em estudo. Como resultado dessa
primeira etapa, foi preconizado, do Gerenciamento de Projetos, a Estrutura Analítica de
Projetos – EAP, do inglês Work Break-down Structure – WBS, usando, como
ferramenta, o software WBS Chart Pro. A EAP é um recurso que possibilita uma
adequada estruturação dos produtos, entregas e pacotes de atividades inerentes ao
54
projeto. Para o ótimo desenvolvimento da EAP, foram utilizadas diversas ferramentas,
(Fig. 09) tais como:
• 5W2H - Este consiste em um método que supervisiona e detalha o pacote de
atividades que estão presentes na EAP (Estrutura Analítica de Projeto). Com ele,
é possível estabelecer previsões de tempo, posicionar as ações a serem
executadas e especificar os principais responsáveis pelas atividades. O resultado
foi a definição de planos de ação que dimensionam, com certo grau de eficácia,
as ações a serem executadas pelas equipes de manutenção (SOUZA, 2004).
• Diagrama de Ishikawa - Este organiza o pensamento entre o que é causa e o
que é efeito. Deve ser usado após o levantamento das causas de um problema
por meio da ferramenta brainstorming.
• Brainstorming - É uma ferramenta utilizada constantemente e está presente em
todas as etapas anteriormente descritas. É ainda muito importante nas análises de
não-conformidades presentes na manutenção e no processo.
A importância dessas ferramentas na execução desse estudo não está somente
relacionada à aplicação das mesmas. Mais importante que isso, é a adequação dessas
ferramentas para o tipo da estrutura organizacional e para as especificidades existentes
em um Laboratório pertencente a um Centro de Pesquisa.
.
FIGURA 09 - Ferramentas utilizadas na gestão das atividades de manutenção
A implantação dessa metodologia, mesmo sendo significativa para o
desenvolvimento do trabalho no laboratório, exigiu aprimoramento no registro das
atividades. A participação no gerenciamento da manutenção, modernização e ampliação
55
possibilitou um maior entendimento do funcionamento dos diversos reatores e
contribuiu para uma maior disponibilidade dos recursos/máquinas no laboratório para os
diversos projetos, tais como desenvolvimento de células solares fotovoltaicas,
superfícies seletivas para coletores solares e janelas inteligentes.
3.2 Produções de Filmes Finos
Filmes finos podem ser preparados por diversos métodos, químicos (sol-gel e
CVD) ou físicos (Sputtering, Evaporação térmica, Evaporação por Feixe de elétrons)
(MONTEIRO, 2002; CUI, 2003). Nesse trabalho, foi utilizado um método de deposição
física a vácuo com evaporação por feixe de elétrons, assistido por plasma (reator BAI
640R da fabricante BALZERS).
3.2.1 Planejamento de Experimento
O planejamento de experimentos foi feito com base na competência do
Laboratório de Engenharia e Modificações de Superfícies (LEMS) do Setor de
Tecnologia Metalúrgica (SDT) da Fundação Centro Tecnológico de Minas Gerais
(CETEC-MG) para processos de filmes no reator BAI 640R e no estudo da literatura.
Foram realizados experimentos de forma a se obter um filme com boas propriedades
ópticas para aplicação em janelas.
Foram dois experimentos de deposição. No primeiro experimento para produção
de filmes finos de Dióxido de Titânio (TiO2), usou-se uma pressão inicial de 1,52x10-
3mBar. Após a injeção de gases na câmara, chegou-se a 1,74x10-3mBar. Foi introduzido
Ar (Argônio) pureza 99,9997%, O2 (Oxigênio) pureza 99,998%, com fluxo de gás
padrão de cm3 por minuto, de 39 Ar e 39, respectivamente. O tempo para recobrimento
do substrato chegou a 50 minutos. As amostras foram posicionadas a 33 e a 38 cm do
alvo de Titânio. Foram revestidos substratos de vidro previamente cobertos com Óxido
de Estanho Dopado com Flúor (FTO) numa face, pois este tem a função de óxido
condutor transparente.
No segundo experimento para produção de filmes de TiO2, o tempo de
recobrimento foi reduzido para apenas 15 minutos na tentativa de obter um filme de
menor espessura, pois o filme produzido no primeiro experimento apresentou-se opaco.
A espessura dos filmes eletrocrômicos é um dos importantes parâmetros que afetam a
56
resposta eletrocrômica. Os filmes com qualidade para dispositivos chegam a ter menos
de 120nm, com transmitância próxima a 80%. Filmes com espessuras superiores a
200nm tem sua mudança de coloração prejudicada e também uma baixa transmitância
no estado transparente devido ao aumento da absorção (KAMAL, 2005).
3.2.2 Deposição de Filmes Finos de óxido de Titânio
O equipamento utilizado para a produção dos filmes apresentados nesta
dissertação de mestrado foi um reator da BALZERS, o BAI640R, uma unidade
desenvolvida especificamente para trabalhos de P&D (Pesquisa e Desenvolvimento).
Filmes finos de TiO2 foram preparados pelo método de Deposição Física de Vapores, a
vácuo com evaporação por feixe de elétrons, Fig. 10 e 11.
FIGURA 10 – Esquema do reator para produção de filmes finos
O reator BAI640R possibilita que o processo de deposição seja feito de forma
automática. O sistema é provido de um magnetron sputter planar D.C., uma fonte de
evaporação por feixe de elétrons (E-gun) e um arco termiônico para auxiliar na câmara.
Os substratos são montados com a face de suas superfícies voltada para o magnetron e o
E-gun. O feixe de elétrons é utilizado para fundir o alvo de Titânio.
57
FIGURA 11 – Vista frontal do reator BAI 640R
Durante o processo de deposição, são realizadas as seguintes etapas:
• Aquecimento: quando se busca aquecimento das amostras. A temperatura de
aquecimento vai depender do filme a ser produzido;
• Limpeza: por vezes tratada como “ataque”. Quando se realiza a limpeza iônica
dos substratos, em plasma de Argônio;
• Recobrimentos: quando se depositam os filmes de interesse. O sistema está apto
a fazer uso de sputtering, ou evaporação a feixe de elétrons, com ou sem
assistencia de plasma;
• Resfriamento: quando os substratos são resfriados até as temperaturas em que o
contato dos filmes com o ar não mais afetarão as propriedades dos filmes.
No aquecimento, um arco de baixa tensão, em atmosfera de Argônio, aquece as
amostras. Durante a limpeza, usou-se tratamento em plasma de Argônio. Durante a
etapa de recobrimento, usou-se atmosfera de Argônio e Oxigênio, com assistência de
plasma de Argônio.
3.2.3 Tratamento Termoquímico
Para se melhorar as características químicas, estruturais e morfológicas das
amostras, realizou-se um tratamento térmico em forno com atmosfera controlada de
58
Oxigênio. A Fig. 12 traz a montagem utilizada. Os experimentos foram montados
utilizando-se um forno LINDBERG, um tubo de quartzo, cilindro de Oxigênio,
mangueiras e um béquer. O controle de temperatura do forno foi ajustado para se
realizar os tratamentos a 450ºC. Usualmente, filmes de dióxido de Titânio são tratados
em temperaturas entre 400-500ºC para melhorarem-se as propriedades em termos de
morfologia e cristalinidade (MOHAMED, 2004; NGUYEN, 2006). Usou-se uma vazão
de Oxigênio próxima de 80ml/s.
FIGURA 12 – Montagem utiliza para tratamento térmico
Na montagem do sistema para tratamento termoquímico, um termopar foi
instalado do lado externo do tubo de quartzo utilizado. As amostras foram tratadas
durante 30 minutos. As Fig. 13 e 14 apresentam alguns detalhes da entrada e saída de
gases no tubo, bem como as amostras dentro do tubo de quartzo.
O tratamento térmico foi realizado as amostras T1 e T2 como depositadas, a
450ºC.
59
FIGURA 13 – Detalhe da entrada e saída de gases no forno
FIGURA 14 – Detalhe das amostras dentro do tubo de quartzo
60
3.3 Caracterizações dos Filmes preparados
3.3.1 Medida de Espessura
As medidas de espessura dos filmes TiO2 foram realizadas por Microscopia de
Força Atômica no Atomic Force Microscopy Dimension 3000 Digital Instruments,
disponível no Departamento de Física da UFMG. Também foi utilizado o perfilômetro
Taylor Hobson, modelo Form Talysurf, disponível no Laboratório de Engenharia e
Modificações de Superfícies do LEMS, no CETEC.
3.3.2 Análise de Composição e Estrutura
A superfície e a morfologia dos filmes foram analisadas empregando-se
Microscopia de Força Atômica. Tais análises permitiram a observação da morfologia
das amostras bem como obtenção da rugosidade da superfície e do tamanho de grão das
mesmas.
As análises por Microscopia de Força Atômica (MFA) foram realizadas no
Laboratório de Nanoscopia do Departamento de Física da UFMG, utilizando-se o
equipamento de microscopia de varredura por sonda SPM (Scanning Probe
Microscopy) Nanoscope IV Multi Mode, da marca Veeco.
Utilizou-se a técnica de AFM no modo Contato Intermitente, também conhecido
como Tapping. Na técnica de AFM a imagem é formada pela interação entre a
superfície da amostra e uma sonda mecânica finíssima, cujo raio de curvatura da ponta é
da ordem de 5nm. No modo Tapping uma sonda, geralmente feita de Silício (Si), é
forçada a oscilar em uma freqüência próxima à freqüência de ressonância da alavanca
(100 kHz a 400 kHz) sobre a superfície da amostra, tocando-a periodicamente. Esse
modo diminui as forças de arraste lateral presentes no modo de operação em contato
constante, reduzindo os riscos de deterioração e mudança morfológica da superfície
devido à interação com a sonda. Por ser formada predominantemente por uma interação
de curto alcance (~ 1nm), a imagem obtida por AFM carrega informação tridimensional
quantitativa, isto é, as dimensões das amostras são quantificadas nas três direções
espaciais, ao contrário da Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV), onde a
quantificação é bidimensional (JUNQUEIRA, 1998).
61
3.3.3 Difração de Raios X
A análise estrutural dos filmes foi feita por difração de raios X com ângulo de
incidência rasante. Nesse método, o ângulo de incidência (θ) é desacoplado do ângulo
percorrido pelo detector (2θ) e permanece fixo em valores pequenos (~1º). Assim, é
possível garantir uma baixa profundidade de penetração e um grande volume irradiado.
No método convencional de difração de raios X com ângulos acoplados, chamado de
Bragg-Bretano, o feixe incidente atinge o substrato, dificultando a obtenção de
informações de amostras muito delgadas. O equipamento usado nas análises de
difratometria foi o difratômetro LabX – XRD – 6000 SHIMADZU, com tubo de Cu
(K), disponível no Setor de Análises Químicas – STQ da Fundação Centro Tecnológico
de Minas Gerais, ver Fig. 15. Fases cristalinas dos filmes foram obtidas.
FIGURA 15 – Difratômetro
3.3.4 Caracterização Óptica
A caracterização óptica dos filmes foi feita utilizando-se um espectrômetro,
AnalytikJena, modelo Specord – 210, ver Fig. 16, disponível no Setor de Análises
Químicas da Fundação Centro Tecnológico de Minas Gerais (CETEC-MG). As análises
dos espectros de transmitância e de refletância obtidos na região de absorção do filme
permitiram a obtenção do coeficiente de absorção das amostras. Com a técnica, pôde-se
determinar a transmitância máxima e o seu respectivo comprimento de onda.
62
FIGURA 16 – Espectrofotômetro Specord – 210 AnalytikJena
3.3.5 Voltametria Cíclica
O comportamento eletroquímico dos polímeros intrinsecamente condutores
(PIC) utilizados em um dispositivo eletrocrômico resulta de processo eletroquímico
entre eletrodos, que pode ser estudado in situ por meio de técnicas
espectroeletroquímicas, tais como a voltametria cíclica, a qual permite obter
informações sobre o processo redox do material polimérico; e cronoamperometria, que
permite estudar a velocidade de transferência de elétrons através do cálculo do
coeficiente de difusão aparente no filme polimérico. A análise do sistema eletrocrômico,
após um transitório de potencial ou corrente, fornece dados importantes sobre efeitos
cinéticos e termodinâmicos que ocorrem no eletrodo. A espectroscopia de impedância
eletroquímica também é uma técnica utilizada para investigar parâmetros cinéticos
relacionados com as propriedades eletrocrômicas dos DEC (MACHADO, 2001).
Voltametria constitui um grupo de métodos eletro analíticos, em que a
informação sobre o analito (composto de interesse sendo analisado) é advinda da
medida da corrente em função do potencial aplicado nas condições de polarização do
eletrodo indicador ou de trabalho (CUSTÓDIO, 2001). A voltametria cíclica é a
63
varredura do potencial direto e inverso em vários ciclos sucessivos, gerando picos
catódicos e anódicos (CANTANE, 2004). Cronoamperometria é a análise das curvas de
corrente em função do tempo a um dado potencial aplicado. Cronocoulometria é a
modificação de corrente e o potencial do eletrodo é medido como função do tempo
(LMS, 2006).
As duas primeiras técnicas eletroquímicas citadas acima, associadas à
espectroscopia visível-NIR, permitem estudar a mudança de cor do filme quando passa
do estado reduzido para o estado oxidado. Os valores de máximo e a posição dos picos
de absorção do espectro Vis/NIR permitem o estudo do transporte iônico no filme
(MACHADO, 2001).
O eletrocromismo de um material está associado ao processo redox (transporte
eletrônico) e à entrada/saída do dopante na matriz polimérica (transporte
iônico/transporte de massa). Baseando-se nesse princípio, pode-se associar a variação de
contraste à carga inserida/ejetada por unidade de área do filme e monitorar o
comportamento eletrocrômico de um material em um comprimento de onda, o que
permite o estudo cinético do material (MACHADO, 2001).
A degradação do material leva à perda das características de polímero condutor.
Nesse ponto, ocorre a perda da reversibilidade eletroquímica, processo que é
acompanhado de mudanças de cor relacionadas às mudanças do estado de oxidação do
material, possibilitando estudos por meio de voltametria cíclica.
Alguns dados obtidos com as técnicas de voltametria cíclica e
cronoamperometria são:
Eficiência eletrocrômica: carga injetada para que ocorra uma mudança entre o estado
reduzido e oxidado, simultaneamente, com variação cromática. A eficiência
eletrocrômica é dada como uma função de unidade de área no material e deve apresentar
o menor valor possível.
Resposta eletrocrômica: tempo que os polímeros levam para responder a um potencial
e mudar de cor. Não se deve esperar uma resposta eletrocrômica rápida para os
polímeros por causa do processo de inserção de íons na matriz.
64
Tempo de vida: quando um material é submetido a vários ciclos de clareamento e
escurecimento, esse material apresenta variações na resposta eletrocrômica. Para se ter
um material com tempo de vida longo, ele deve ser estável ao máximo possível de
ciclos de carga e descarga do dispositivo eletrocrômico.
Memória óptica: tempo no qual o material mantém sua coloração em circuito aberto
após aplicação de um potencial externo, ou seja, o eletrodo é condicionado em um
potencial específico (potencial de oxidação ou redução) durante o tempo necessário para
que o material adquira a cor referente ao seu estado de oxidação. Em seguida, o circuito
é desligado e a variação de cor do material pode ser monitorada por técnicas
espectroscópicas (MACHADO, 2001).
A voltametria cíclica foi realizada em um potenciostato, PG -29 da Omnimetra
Equipamentos Científicos, disponível no Laboratório de Corrosão e Engenharia de
Superfície do Departamento de Engenharia Química da UFMG - DEQ/UFMG.
Nas análises de voltametria cíclica, utilizou-se como eletrólito uma solução de
10-3 molL-1 de ácido sulfúrico, com inserção de íons lítio. O eletrodo de trabalho foi um
filme de dióxido de Titânio depositado sobre FTO (óxido condutor transparente de
estanho dopado com flúor). O contra eletrodo utilizado foi o de platina. O eletrodo de
referência foi o de calomelano. A velocidade de varredura foi de 50mV/s.
Na Tab. 04, têm-se as amostras analisadas:
TABELA 04 – Amostras analisadas por Voltametria Cíclica
Nº Amostra Características de processo
1 (T1)- filme homogêneo TiO2 depositado por PVD
2 (T2)- filme fino TiO2 depositado por PVD, transparente, sem
tratamento térmico
3 Filme oxidado TiO2 com tratamento térmico (450ºC por 30
minutos)
Foram feitas análises de cronoamperometria com pulsos de potenciais catódicos
e anódicos (±0,3V) durante 10 segundos.
65
3.4 Validações do desenvolvimento de filmes de TiO2
Para validação do desenvolvimento de filmes de TiO2 para DEC, montou-se uma
pequena janela de, aproximadamente, 2cm x 2cm.
Nessa montagem foram utilizados:
Eletrodo: Filme de TiO2 desenvolvidos neste trabalho + Substrato de vidro previamente
recoberto com FTO numa face.
Contra-eletrodo: Filme de NiO + Substrato de vidro coberto com FTO numa face,
preparado para esse fim (CERQUEIRA, 2006).
Eletrólito: HPC / HEC, também preparado para esse fim (CERQUEIRA, 2006).
O dispositivo foi montado e nele aplicado uma tensão elétrica, registrando-se,
em filme digital, a ocorrência do fenômeno do eletrocromismo.
66
4 RESULTADOS E DISCUSSÃO
4.1 Gestão da Manutenção
Como resultado desta demanda, padronizou-se um registro de manutenção (ver
Anexo A), que é um recurso de preenchimento rápido das intervenções realizadas nos
equipamentos. A adoção desse mecanismo substituiu o relatório que era feito e que
despendia muito tempo, permitindo maior disponibilidade do colaborador para atuar na
manutenção. Isso possibilitou a melhoria da prática que era adotada anteriormente para
a confecção dos relatórios. O resultado foi a documentação de pequenos reparos até
intervenções de porte maior, proporcionando, ainda, a confecção de um relatório
padronizado, cuja estrutura possibilita o registro de todas as atividades executadas em
determinado período.
Um importante impulsionador dos resultados adquiridos nas práticas de gestão
da manutenção no LEMS foi a mudança realizada na estrutura organizacional do setor.
Antes, o setor era formado por seis equipes independentes e cada uma delas contava
com um gerente responsável (Fig.17).
FIGURA 17 – Estrutura organizacional do LEMS antes da mudança
A troca de informações entre essas equipes era limitada, bem como o contato
entre os trabalhadores. A estratégia adotada consta em migrar as equipes para uma única
grande equipe de manutenção coordenada por uma gerência central (Fig. 18). Nessa
nova equipe, os profissionais trocam informações e experiências de trabalho,
compartilham recursos e ajudam uns aos outros na manutenção dos equipamentos.
67
FIGURA 18 – Estrutura organizacional do LEMS após a mudança.
A mudança na estrutura organizacional do setor de manutenção do Laboratório
de Engenharia e Modificações de Superfícies foi um grande estimulador para a adoção
das ferramentas de gestão descritas nesse trabalho. Dispor de uma equipe unificada
permite, mais facilmente, analisar riscos envolvidos na manutenção, bem como obter
informações entre os colaboradores e documentá-las como lições aprendidas. Através
dessa nova estrutura, o desempenho dos manutentores em relação ao sucesso das
intervenções realizadas nos equipamentos melhorou significativamente, uma vez que o
cenário atual é um facilitador para a aprendizagem constante.
4.2 Influências dos Parâmetros de Deposição
A análise que pode ser descrita, levando-se em consideração a faixa de
parâmetros usados para Deposição Física de Vapor, mostrou que, do ponto de vista da
taxa de deposição, a melhor faixa de pressão esta entre 1 x 10-5 e 5 x10-5 mbar na
câmara. Fora dessa faixa de pressão, o conteúdo de Titânio na atmosfera é insuficiente
para se produzir óxidos.
Durante as deposições, um parâmetro que foi alterado do primeiro recobrimento
para o segundo foi o tempo de deposição, fator este determinante para o controle da
espessura e características ópticas do filme, conforme Tabela 05.
68
TABELA 05 – Amostras utilizadas para caracterização sem tratamento térmico
Experimento Pressão
Total
(x10-
3mbar)
Argônio
Fluxo
(sccm)
Oxigênio
Fluxo
(sccm)
Tempo de
Recobrimento
(min)
Resultado
E1 * 1,74
39 39 50 Filme com
aspecto azulado,
baixa
transmitância no
visível.
E2 * 1,70 40 40 15 Filme
transparente, com
alta transmitância
na região do
visível.
* E1 corresponde ao primeiro experimento e E2 ao segundo experimento.
Quanto menor a pressão, menos íons disponíveis existem para serem
depositados, ao passo que pressões elevadas diminuem o caminho livre médio tanto dos
íons quanto dos átomos injetados e há uma maior ocorrência de choques entre as
espécies.
A espessura dos filmes eletrocrômicos é um dos importantes parâmetros que
afetam a resposta eletrocrômica. Os filmes de menor espessura, com menos que 120nm,
mostram elevada transmitância, 80%, mas sua coloração fica comprometida; já aqueles
de espessura maior que 200nm mostram uma maior coloração, mas uma baixa
transmitância no estado transparente devido ao aumento da absorção (KAMAL, 2005).
Os filmes produzidos no primeiro experimento tiveram suas espessuras
determinada com o perfilômetro Taylor Hobson, modelo Form Talysurf, obtendo-se
valores da ordem de 4938 nm. A medição foi feita com um cut-off de 0,8 mm (medição
do comprimento a cada 0,8 mm), num comprimento de 8 mm. Os filmes dessa primeira
etapa de experimentos se apresentaram espessos.
69
Os filmes obtidos com o segundo experimento tiveram sua espessura
determinada com o Microscópico de Força Atômica Atomic Force Microscopy
Dimension 3000 Digital Instruments. Nesse caso, os filmes apresentaram espessuras
muito inferiores ao do primeiro experimento. Na tabela 08, os resultados de espessura
podem ser vistos. O parâmetro espessura do filme influencia diretamente a
transmitância da amostra e o efeito eletrocrômico da mesma.
Na Tabela 06, tem-se a descrição da primeira matriz de experimentos onde
foram produzidas 10 amostras em diversos substratos. É importante salientar que as
amostras que serão utilizadas para produção do eletrodo são as que apresentam, como
material, vidro + FTO.
TABELA 06 – Matriz de experimentos 1
Material Posição (em relação ao cadinho) Quantidade
Aço com degrau 32 cm 38 cm 2
Vidro sodacal 38 cm 2
Vidro com degrau 32 cm 38 cm 2
Vidro + FTO 32 cm 38 cm 4
Referência do cadinho: 0 cm
As corridas realizadas podem ser divididas em três etapas principais. Essas
etapas para a realização da corrida podem ser vistas na Fig. 19, que resultaram nas
amostras da Tab. 06.
70
FIGURA 19 – Variação da pressão ao longo do Experimento 1
Durante o processo de deposição, pode-se observar três etapas, sendo elas o
aquecimento, a etapa de limpeza e o recobrimento propriamente dito. No primeiro
processo para produção de recobrimentos (Fig. 19), pode-se observar que essas etapas
ocorreram duas vezes seguidas. Na figura acima, observa-se a ocorrência de duas etapas
de aquecimento (heat), limpeza (etch) e recobrimento (coat). Em um primeiro
momento, é produzida uma camada de filme de Titânio com aproximadamente dois
minutos de oxidação da mesma (primeira etapa de coat na figura 19). Posteriormente,
outro filme é depositado, sendo que, nesse caso, há a presença de Titânio e oxigênio. A
oxidação ocorreu durante 40 minutos aproximadamente (segunda etapa de coat na
figura 19). Devido ao tempo de processo, o filme produzido apresentou-se espesso.
As curvas da pressão absoluta determinadas com um Baratron (PBara (x0,5)),
fluxo de Oxigênio (fO2(x0,2)) e corrente de emissão (Iemissão) também são apresentadas.
As variáveis de processo são apresentadas no eixo das ordenadas em mV, pois esta é a
forma como o sistema BAI faz a leitura das variáveis de processo.
71
Em um processo de Deposição Física de Vapores, o conhecimento da variação
dessas variáveis em função do tempo de processamento é relevante para avaliar a
qualidade dos filmes produzidos.
Na Tab. 07, tem-se a descrição da segunda matriz de experimentos. Nessa
corrida foram produzidas 6 amostras.
TABELA 07 – Matriz de experimentos 2
Material Posição Aço Inox 304 33 cm 38 cm
Vidro Sodacal com degrau
33 cm 38 cm
Vidro + FTO 33 cm 38 cm Referência do cadinho: 0 cm
Na Fig. 20, têm-se as variáveis de processo em função do tempo referentes à
segunda corrida para produção de filmes.
0 10 20 30 40 50
0
1000
2000
3000
4000
5000
ETCH COATHEAT
[mV]
tempo [min]
P Bara (x0,5)
f O2 (x0,2)
I emissão
I ARC (X3)
FIGURA 20 – Variação da pressão ao longo do Experimento 2
72
No segundo processo para produção do recobrimento (Fig. 20), buscou-se
melhorar o primeiro processo. Nesse processo, pode se observar as etapas de
aquecimento, limpeza e recobrimento ocorrendo apenas uma única vez. Em
aproximadamente 38 minutos, observa-se, na figura acima, o início do recobrimento,
inicialmente sem oxidação do filme e, em aproximadamente 43 minutos, observa-se a
injeção de oxigênio no processo. A etapa de recobrimento durou, aproximadamente, 20
minutos. As diferenças da segunda corrida para a primeira são o tempo de deposição e,
também, a ocorrência das etapas de aquecimento, limpeza e recobrimento.
4.3 Caracterização de Filmes de TiO2
4.3.1 Propriedades ópticas
A transmitância dos filmes na faixa da radiação UV-Vis-NIV, mostrada nas Fig.
21, indica o efeito dos parâmetros de processo, como fluxo de argônio, fluxo de
oxigênio, potência de plasma e temperatura do substrato, apresentados na Tab. 05.
Observa-se que o pós-processamento aumenta a transmitância em ambos os filmes
preparados. Os filmes resultantes da segunda corrida, antes ou após pós-processamento,
apresentaram maior transmitância. Na Fig. 21, pode-se observar o aumento da
transmitância das amostras T1 e T2 pós-tratamento termoquímico.
300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100
Transmitância(%)
Comprimento de Onda (nm)
T2T
T2
T1
T1T
FIGURA 21 – Transmitância das amostras T1 e T2 e amostras T1T(amostra T1
tratada) e T2T(amostra T2 tratada)
73
4.3.2 Composição e Estrutura
Através da técnica de Microscopia de Força Atômica foi medido, para amostra
T1, o tamanho médio de partículas ou aglomerados. Seu tamanho ou rugosidade não foi
significativamente alterado com o tratamento termoquímico. A morfologia de T1 indica
que a deposição resultou em um filme menos compacto e menos homogêneo em termos
de sua textura superficial do que o da amostra T2. Verificou-se que o aumento do tempo
de deposição aumentou a porosidade dos filmes, o que, possivelmente, está relacionado
a um aumento de tensão residual nos filmes ou as reorientações estruturais do deposito
em busca de se minimizar energia livre de superfícies. A variação de temperatura
também pode influenciar o modo de crescimento do filme e afetar a porosidade do
mesmo. A porosidade dependerá da molhabilidade do filme contra o substrato e das
tensões residuais devido a diferenças de coeficiente de dilatação dos materiais. Com o
pós-processamento, obteve-se um material mais compacto e denso, como é possível
verificar, também, na literatura, só que para amostras tratadas termicamente
(TAKIKAWA, 1999). Da literatura, é possível verificar-se que as diferenças de
morfologia influenciam no transporte de íons e, assim, influenciam as propriedades
eletrocrômicas dos filmes (ZOPPI, 2000). Verificou-se que, em filmes menos
compactos, o transporte de íons é mais rápido e facilitado, provavelmente, por esse
fator. As análises de microscopia de força atômica indicaram que os filmes TiO2
apresentaram morfologias diferentes dependendo da região do eletrodo onde eles foram
observados. Os filmes depositados por PVD e sem tratamento térmico apresentam
fatores estruturais e morfológicos mostrados nas Fig. 22 e 25 de MFA. A porosidade
diminui com o tratamento térmico e as amostras tornam-se menos heterogêneas. A Tab.
08 mostra a espessura e a rugosidade para cada amostra.
TABELA 08 – Dados da Microscopia de Força Atômica
Amostra Espessura (Altura Vertical) Rugosidade (RMS)
T1 261 nm 127,6 nm
T2 26 nm 13,6 nm
T1 Tratada a 450ºC 239 nm 97,7 nm
T2 tratada a 450ºC 24 nm 10,6 nm
74
FIGURA 22 – Microscopia de Força Atômica da amostra T1
Nas figuras de MFA observa-se que a superfície se caracteriza por uma textura
com depressões da ordem de 10nm. Neste trabalho tais depressões são denominadas
poros.
FIGURA 23 – Microscopia de Força Atômica da amostra T1 tratada.
75
FIGURA 24 – Microscopia de Força Atômica da amostra T2
FIGURA 25 – Microscopia de Força Atômica da amostra T2 tratada (T2T).
Com o pós-processamento, ocorrem oxidação (porque a transmitância
aumentou) e cristalização (conforme resultados de difração de Raios X) dos filmes, o
76
que resultou em redução de porosidade, com redução de rugosidade, mas, também, da
transmitância.
Na Fig. 26, é apresentado um difratograma, onde se pode observar picos
correspondentes ao anastásio e rutilo (Cavalcante, 2006). A figura 27 mostra uma
representação gráfica das fases presentes no recobrimento de Titânio em função do
ângulo de difração 2θ.
FIGURA 26 – DRX de TiO2 Calcinado sintetizado
Fonte: CAVALCANTE, 2006
R – Rutilo; A – Anastásio
FIGURA 27 – Identificação das fases presentes no recobrimento
77
Nas Fig. 28, 29, 30 e 31 são apresentados os resultados obtidos para composição
das amostras.
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
200
220
240
260
280
300
320
20.2
27.28
28.82
35.640.8 52.7456.26 69.4
ângulo de incidência 0.25
Intensidade
2q
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
50
100
150
200
250
300
20.76
27.24
29.18
39.3640.22 54.2268.3
ângulo de incidência 0.5
Intensidade
2q
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
100
200
300
20.68
ângulo de incidência 1.5
Intensidade
2θ
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
50
100
150
200
250
300
350
400
19.9224.74
27.18
43.72 54.38
73.44
ângulo de incidência 2.5
Intensidade
2θ
FIGURA 28 – Difratogramas de Raios X da amostra T1 a diferentes ângulos de
incidência.
78
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
50
100
150
200
250
21.1
27.28
37.7643.4454.28
68.34
ângulo de incidência 0.5
Intensidade
2θ
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
-20
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
200
27.44
35.28
43.6 54.5868.74
ângulo de incidência 0.25
Intensidade
2 θ
FIGURA 29 – Difratograma da amostra T1T
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
-20
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
ângulo de incidência 0.25
Intensidade
2θ
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
50
100
150
200
ângulo de incidência 0.5
Intensidade
2θ
FIGURA 30 – Difratograma da amostra T2
79
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
-20
0
20
40
60
80
100
120
140
160
180
ângulo de incidência 0.25
Intensidade
2θ
0 10 20 30 40 50 60 70 80 90
0
50
100
150
200
ângulo de incidência 0.5
Intensidade
2θ
FIGURA 31 – Difratograma da amostra T2T
Na amostra T1 existem picos em 27,02; 54,26; 56,20 que são próprios do cristal
Rutilo. Entretanto, para a mostra T2, o filme pareceu ter sido depositado com uma
espessura muito fina, o que pode ser constatado por análise de AFM listados na Tabela
08 e, como conseqüência disso, a análise de Difração de Raios X não detectou picos e,
sim, o halo amorfo. Isso pode ser constatado, também, na amostra T2T.
Os filmes de TiO2 foram crescidos com estrutura amorfa e cristalina e puderam
ser cristalizados mediante tratamento térmico. O tratamento térmico por um longo
tempo aumenta a espessura do filme e pode deixá-lo mais uniforme.
4.3.3 Voltametria Cíclica
A mudança de cor no filmes de TiO2 foi observada durante o experimento de
inserção de Li quando da aplicação da tensão elétrica no material. A polarização não
pode ser associada à retirada de oxigênio, pois a energia de coesão é muito grande, entre
10 e 13,5eV. Isso leva a crer que só pode ocorrer injeção de elétrons no material como
forma de se manter eletro neutralidade. Dois processos catódicos podem ser percebidos
na Fig. 32, um pico de corrente em torno de –0,5V, relacionado ao processo de inserção
de Li+, e um rápido aumento de corrente em 1,75V.
80
FIGURA 32 – Voltametria cíclica para amostra T1.
A amostra de TiO2 com tratamento térmico (T1T) mostrou-se menos eletroativa
que a amostra não tratada (Fig. 33).
FIGURA 33 – Voltamograma cíclico da amostra T1T.
Nos ensaios de voltametria foi observada a mudança de cor da amostra T2, o que
leva a concluir que o filme nessa amostra é um cristal Rutilo, pois essa característica é
necessária para a mudança de cor em óxido de Titânio. Isso ocorre porque o óxido de
Titânio possui uma estrutura cristalina que, justaposta, forma túneis onde pequenos
cátions podem se inserir como H+, Li+, K+ .
-0.2 0.0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 1.2 1.4 1.6-0.00010
-0.00005
0.00000
0.00005
0.00010
0.00015
I / m
A
E / V versus ECS
CV82
81
4.4 Considerações finais
A variação dos parâmetros de deposição indica que, nos filmes T1, ocorreu uma
deposição a temperaturas mais altas que em T2. Disso resultam filmes mais cristalinos
em T1, que são mais rugosos (SABINO, 2007).
Considerando-se as características estruturais, ópticas e os resultados de
voltametria, os resultados permitem afirmar que os filmes, da maneira como foram
depositados, têm óxidos suficientes para os processos eletrocrômicos.
4.5 Protótipo produzido
Montaram-se alguns protótipos de Janela Inteligente e foram feitas as filmagens
dos mesmos. Não foi observada a mudança de coloração do dispositivo de forma
acentuada em todas as montagens. Os filmes apresentaram-se com coloração mais
escura em determinadas partes do dispositivo.
O dispositivo foi montado e nele aplicado uma tensão elétrica, registrando-se,
em filme digital, a ocorrência do fenômeno do eletrocromismo, ver Fig. 34.
(a) Estado transparente (b) Estado Colorido
FIGURA 34 – Janela Eletrocrômica
Não foi observada a mudança de coloração do dispositivo de forma
acentuada em todas as montagens, ver Fig. 35. Em algumas das montagens, o
dispositivo funcionou, sendo necessário desenvolver novos filmes para se conseguir
uma maior uniformidade no dispositivo. Na Fig. 35, (b), é possível observar onde o
efeito eletrocrômico foi mais acentuado (circulo vermelho).
82
(a) Estado transparente (b) Estado Colorido
FIGURA 35 – Detalhe da Janela Eletrocrômica
5 CONCLUSÕES
A evolução na Gestão da Manutenção evidencia que é possível para a equipe do
LEMS reduzir as paradas para manutenção e o fator de sucesso é o uso de ferramentas
para o planejamento e para identificação de riscos associados a falhas das atividades de
manutenção dos sistemas de deposição sob vácuo estudados do Laboratório. As técnicas
utilizadas resultaram em um aprimoramento expressivo nos indicadores de prazos de
conclusão das atividades de manutenção de equipamentos. Outro fator de sucesso é a
padronização de relatórios e registros de manutenção, que aprimoraram o banco de
dados do laboratório e facilitaram a análise de falhas e o planejamento das intervenções
realizadas pelos manutentores.
No tocante a produção do dispositivo eletrocrômico, o mesmo foi montado
usando-se o filme de TiO2 desenvolvido na Fundação Centro Tecnológico de Minas
Gerais, e operado com sucesso. Portanto o desenvolvimento do filme de óxido de
Titânio para Janela Inteligente foi alcançado com êxito.
Filmes de TiO2 foram depositados sob vácuo a partir de Ti . É possível observar-
se que filmes TiO2 na fase cristalina(anastásio) apresentam uma melhora significativa
em suas propriedades ópticas para serem aplicados em janelas inteligentes quando
ocorre um aumento no fluxo de oxigênio durante a sua deposição. Filmes com baixo
fluxo de oxigênio apresentam uma coloração azul e baixa transmitância no visível.
Através do tratamento termoquímico pós-processamento, constatou-se que
filmes de melhor qualidade em relação à transmitância no visível são obtidos. Filmes
mais porosos apresentam maior intercalação. Assim, é preciso verificar quais os
83
parâmetros ótimos que possam relacionar a maior facilidade de intercalação e
transparência no visível.
Através da técnica de voltametria cíclica, é possível concluir-se que os filmes de
dióxido de Titânio possuem capacidade de armazenar carga ou íons positivos.
Averiguou-se a necessidade de pequeno potencial para a coloração e clareamento dos
filmes, de acordo com trabalhos anteriores.
Pode-se concluir que com o controle dos parâmetros de deposição de filmes com
a evaporação sob vácuo, em atmosfera reativa, permite a técnica de PVD, obter-se
filmes com espessuras e transmitâncias que podem atender os requisitos de qualidade
para Janelas Inteligentes.
6 SUGESTÕES DE TRABALHOS FUTUROS
Com o encerramento do Projeto P&D 016 CEMIG-ANEEL - Abordagem
Integrada da Eficiência Energética e Energias Renováveis, buscou-se a continuidade do
projeto de Janelas Inteligentes. Dessa forma, já foi feita uma proposta para um edital
CEMIG – ANEEL, período 2006/2007, sendo que se tem, como objetivo geral,
desenvolver um protótipo de janela inteligente a partir de filmes finos eletrocrômicos
cerâmicos à base de Ti, W ou Ni, para maior eficiência energética de edificações.
Como objetivos específicos, têm-se:
• Desenvolver processamento de filmes eletrocrômicos e de filme para função de
eletrólito, com qualidade para o dispositivo em pauta;
• A partir de filmes eletrocrômicos e de filme de eletrólito sólido, produzir um
protótipo de janela inteligente;
• Modelamento de relações entre propriedades de filmes e desempenho de
dispositivos;
• Modelamento de relações entre variáveis de processo de preparo de filmes, sua
composição, estrutura e propriedades;
• Quantificar indicadores da vida útil do dispositivo;
• Avaliar a viabilidade econômica do protótipo.
84
Os trabalhos serão conduzidos em 3 ciclos de aprendizado, buscando-se
combinar planejamento fatorial de experimentos para o desenvolvimento de filmes e de
dispositivos, caracterização, análise de resultado e definição de próximos passos.
Serão utilizados processos físicos e químicos para a deposição de filmes,
técnicas eletrostáticas e de espectroscopia de massa e óptica para a caracterização de
plasma durante deposições, bem como técnicas variadas para a caracterização química,
eletroquímica, estrutural e de propriedades dos filmes.
A análise de resultados buscará determinar relações entre composição, estrutura
e variáveis de deposição de filmes, bem como relações entre composição, estrutura e
propriedades ou desempenho eletrocrômico dos filmes. As ações a serem realizadas
compreendem:
a) Revisão da literatura e análise da situação de patentes para complementar a
pesquisa bibliográfica referente à relação Composição X Estrutura X Propriedades de
filmes bem como relativamente às novas metodologias e técnicas para produção e
caracterização de filmes eletrocrômicos. Revisão do planejamento de experimentos.
Determinação de requisitos de qualidade de filmes e janelas. Definição de matérias
primas e riscos pertinentes. Definição de processos, parâmetros e riscos. Definição de
métodos referentes e riscos.
b) Desenvolvimento de filmes eletrocrômicos para função de eletrodo e de
contra-eletrodo. Os resultados anteriores levaram os proponentes a optar pela produção,
nessa etapa, de filmes à base de óxido de tungstênio (WO3) e óxido de Titânio (TiO2).
Esses dois filmes apresentam características relevantes, tais como, mudança de cor com
a inserção rápida e reversível de íons e elétrons dentro do material. Deseja-se controlar a
espessura, a estrutura e a composição com parâmetros de processo que maximizem
taxas de deposição (qualidade e produtividade). Para se conseguir altas taxas de
deposição, necessita-se de alta potência, para o que será usada uma fonte de potência
pulsada. Os filmes serão produzidos, sistematicamente, em dois reatores (reatores da
Balzers BAI 640 R e BAS 450 MS), sobre substratos de vidro soda-cal. Vidros
especiais poderão ser utilizados para facilitar medidas ópticas e elétricas. Serão
utilizados vidros adquiridos com TCO e vidros revestidos com TCO preparados pela
equipe. Apesar de não existir, ainda, a técnica implementada para se usar substratos de
85
poliéster, serão feitas tentativas nesse sentido. O preparo de contra-eletrodos será
realizado por sputtering, em reator a ser implementado nesse projeto, e evaporação a
vácuo com fusão por feixe de elétrons, em reator BALZERS BAI 640 R. Pretende-se
avaliar o efeito de elementos de liga no contra-eletrodo, com base em óxido de níquel,
para melhora de desempenho. Também serão produzidos filmes com recobrimento com
níquel químico e eletroquímico e posterior oxidação da amostra.
c) Caracterização óptica de filmes eletrocrômicos, utilizando-se um sistema de
espectrometria de radiação eletromagnética na faixa de infravermelho próximo ao
ultravioleta, para se determinar a refletância e transmitância dos filmes (LARSSON,
2004), bem como eficiência de coloração com injeção de íons, medida por voltametria
cíclica (AVENDAÑO, 2003). As respostas eletroquímica e elétrica serão, também,
avaliadas por técnicas de espectroscopia de impedância eletroquímica. Serão
determinadas a condutividade elétrica e a capacidade de polarização dos filmes.
d) Desenvolvimento e caracterização de filmes para função de eletrólito,
pretendendo-se investigar dispositivos com eletrólito polimérico e eletrólito cerâmico
(base ZrO2) na busca de melhores sanduíches para janelas inteligentes (FAEZ, 2000;
LARSSON, 2004). A resposta eletroquímica e elétrica de eletrodos eletrocrômicos será
medida. Esses eletrodos serão isolados e, depois de laminados com eletrólitos, por meio
de técnicas de espectroscopia de impedância eletroquímica e voltametria cíclica,
determinar-se-ão os parâmetros pertinentes, tais como condutividade elétrica e
resistividade do meio condutor.
e) Montagem do protótipo de Janela Inteligente, a partir dos filmes
eletrocrômicos e de eletrólitos.
f) Caracterização de processos de degradação do dispositivo, também com a
combinação das técnicas de espectroscopia óptica e voltametria. Serão testados os
efeitos de testes de intemperismo e exposição controlada ao Sol. A modelagem do
dispositivo será definida considerando-se estrutura, composição e desempenho.
g) Caracterização de plasma durante as corridas para deposição de filmes finos,
com técnica eletrostática de Langmuir, combinada com espectroscopia de massa e de
emissão óptica.
86
Buscando-se a avaliar os benefícios possíveis com o dispositivo produzido, bem
como identificar a economia de energia utilizando o dispositivo, pretende-se dar
continuidade ao estudo de simulação computacional que, por hora, encontra-se
paralisado. No anexo A, encontra-se parte do desenvolvimento realizado até o momento
no tocante ao levantamento do estado da arte e, também, da simulação de uma
edificação simplificada.
7 REFERÊNCIAS ABNT (Associação Brasileira de normas Técnicas). (2005) NBR 15220-3. Parte 3: Zoneamento bioclimático brasileiro e diretrizes construtivas para habitações unifamiliares de interesse social. Rio de Janeiro. ALUCCI, M. P. www.usp.br/fau/deptecnologia/docs/bancovidros/low.htm ALUCCI, M.P. www.usp.br/fau/deptecnologia/docs/bancovidros/termica.htm AVELLANEDA C. O. e BULHÕES, L. O.S. - Optical and electrochemical properties of V2O5:Ta Sol–Gel thin films Solar Energy Materials and Solar Cells, Volume 90, Issue 4, 6 March 2006, Pages 444-451 AVELLANEDA C. O. e BULHÕES, L. O.S. – “Intercalation in WO3 and WO3:Li films” Solid State Ionics, 163 (2003) 59-64 AVELLANEDA, C. O., BULHÕES L.S., and PAWLICKA A., (2005) “The CeO2–TiO2–ZrO2 sol–gel film: a counter-electrode for electro chromic devices”. Thin Solid Films. AVENDAÑO, E. et alli. , Electrochromism in nickel oxide films containing Mg, Al, Si, V, Zr, Nb, Ag, or Ta, Solar Energy Materials and Solar Cells 84 (2004) 337-350. BALZERS, KA Introduction to Vacuum technology (Basics) BEN (Balanço Energetico Nacional): Análises Energéticas e Dados Agregados - 2006 Disponível em: http://ben.epe.gov.br/BEN2006_Capitulo1.aspx BERGER, P.; Gaillet, L.; El Tahhann, R.; Moulin, G.; Viennot, M. (2001) Oxygen diffusion studies in oxide scales thermally grown or deposited on mechanically loaded metallic surfaces (MS-P2). NIM B – Beam interactions with materials & atoms, 181, pp 382-388 BOHREN, C.F.; Huffman, D.R. “Absorption and Scattering of Light by Small Particles”John Wiley and Sons, Canadá, 1983. BOYLE, Godfrey. Renewable Energy Power for a Sustainable Future. Oxford, UK: Oxford University Press, 1996.
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94
ANEXO A: Ficha de Registro de Manutenção
REGISTRO DE MANUTENÇÃO N°:
Serviço Corretiva Preventiva Emergencial Melhoria
Laboratório:
Data Início:
Data término:
Horas gastas:
Dados do sistema/equipamento:
Equipamento/modelo:
Sub-sistema:
Marca:
Localização:
Defeito no equipamento e/ou serviço:
Possível causa do defeito e/ou justificativa do serviço:
Procedimentos / Tarefas realizadas:
1.
2.
3.
4.
5.
Observações:
Anexos: Fotos Testes Outros:
Componentes / peças compradas: Quantid. Valor unitário
Valor total
1.
2.
3.
4.
Elaborado por: Aprovado por:
95
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