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Preparação de Amostras para MET em Ciência dos Materiais
I Escola de Microscopia Eletrônica de Transmissão do CBPF/LABNANO
Junho/2008
Ana Luiza Rocha
1. Condições de uma amostra adequada para MET • Considerações
2. Afinamento inicial / intermediário da amostra• Pré-afinamento mecânico• Dimple
3. Afinamento final da amostra• Polimento Eletrolítico• Ion Milling
4. Outros métodos de preparação • Réplica• Ultramicrotomia• FIB = Focused Ion Beam• Preparação de amostras em pó
5. Considerações Finais
Sumário
Condições de uma amostra adequada para MET
A amostra deve ser:
• Representativa do material de estudo• Estável sob ação do feixe de elétrons• Transparente ao feixe de elétrons
Espessura das amostras para MET: até 100 nm.Em casos específicos (HREM) < 50 nm.
Questões Importantes:1- A deformação mecânica deve ser evitada a todo custo?2- A amostra é susceptível ao calor/radiação?Etc...
Preparação de Amostras
Pergunta básica:
Folha Fina do próprio material
ou
Grade metálica
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Seleção de Grades
1) são feitas de Cu ou Ni em geral. 2) diferentes espaçamentos/ formas.
Grades
Vários modelos:
- Rotation holder;
- Heating holder;
- Cooling holder;
- Double-tilt holder;
- Single-title holder;
- Two specimen
Porta Amostras
AFINAMENTO INICIAL DO DISCO
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Amostras de Folha FinaAfinamento Inicial Seqüência de preparação
Corte do material
Lixamento/Polimento mecânico
Corte de discos de 3mm de diâmetro
Abertura do FuroDiferentes técnicas
Corte
→ →
Dimple Grinder
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Dimple Grinder
Afinamento Intermediário
- Objetivo: afinar o centro do disco de 3 mm através da ação mecânica de abrasão.
- Pressão, velocidade e profundidade do desgaste podem ser controlados.
Preparação da amostra para o MET
Após Dimple
Grade
Amostra nanocristalizada
Exemplo: Amostra FinemetFeSiBCuNb (fita)
5 microns40 microns
Como recebida Marcas de usinagem
AFINAMENTO FINAL DO DISCO
- Só pode ser realizado em amostras condutoras;
- Produz amostras sem deformação mecânica e polida nas duas faces;
- Eletrólitos conhecidos;
- Processo rápido e barato que permite a produção de várias amostras;
Parâmetros importantes:1) temperatura,2) voltagem, 3) corrente, 4) solução utilizada.
Polimento Eletrolítico
Polimento Eletrolítico
PROCESSO DE ABERTURADO FURO
Williams & Carter, 1996, Fig. 10-7
• Dissolução anódica do material da superfície da amostra por uma pilha eletrônica.
• O eletrólito atua em ambos os lados da amostra sob uma pressão constante.
• Sensor detecta transparência e produz um aviso sonoro.
• Após este aviso a amostra tem que ser retirada imediatamente e lavada com solvente para remover completamente o eletrólito.
Williams & Carter, 1996, Fig. 10-6
1. A curva de polimento eletrolítico apresenta um aumento na corrente entre o anodo e o catodo a medida que a voltagem aplicada aumenta.
2. O polimento ocorre numa posição intermediária.
Baixas voltagens: ataque químico
Altas voltagens: corrosão
3. As condições ideais para obter uma superfície polida requer a formação de um filme viscoso entre o eletrólito e a superfície da amostra.
Polimento Eletrolítico
Preparação de amostra de Al utilizando o método de polimento eletrolítico. Melhores resultados foram obtidos utilizando uma solução 30% HNO3 em CH3OH. Temperatura -200C e voltagem entre15-20 V. Este método apresentou melhores resultados do que Ion beam (mais regiões transparentes ao feixe de elétrons).
http://www.phys.rug.nl/mk/research/98/hrtem_localprobe.html
Procedimento:• Bombardeio de íons ou
átomos neutros.
• Preparação é finalizada quando a amostra está fina o suficiente (transparente ao feixe de elétrons) ou quando foi perfurada.
• Processo versátil !!!
Velocidade do afinamento é controlado por: (1) voltagem aplicada, (2) natureza do íon (Ar, He), (3) ângulo de incidência, (4) temperatura da amostra (em alguns equipamentos é possível adicionar nitrogênio líquido), (5) tempo.
Afinamento por feixe de íons - Ion Mill
Observação: Nunca comece o processo com uma amostra grossa!!!
Gatan Dual Ion Mill
Rotação
tanque de Ar
tempo decorrido
Voltagem aplicada
Porta amostra
Medidor de vácuo
Controle do ângulo de incidência
Seletor do canhão
Williams & Carter, 1996, Fig. 10-8
Diagrama esquemático do dispositivo de afinamento por feixe de íons:
• A voltagem aplicada cria um feixe de íons de Ar.• Um ou ambos os canhões podem ser selecionados.• O progresso no afinamento pode ser observado utilizando um microscópio
monocular.• Amostra pode ser resfriada, evitando contaminação e deterioração da superfície.
Ion Milling
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Ion Milling – Ângulo de incidência
- Ângulos utilizados variam entre 15-25o.
Preparação da amostra para o MET
Após Dimple
Grade
Marcas das linhas de usinagem da roda de cobre
Ion milling
Furo
Amostra nanocristalizada
Espessura Inicial= 40 µm
t = 50 min
Amostra Finemet: FeSiBCuNb(fita)
Necessário o uso de uma grade
Largura 1,7 mm
Cu
Réplica de Relevo
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Amostras em Réplica
Réplica de Extração
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Amostras em Réplica
D. Williams & B. Carter/ TEM Textbook
Ultramicrotomia
Utilizada para materiais biológicos e polímeros
Preparação de amostra por FIB
Método:
-É feita uma deposição de metal (Pt) na superfície da área de interesse para proteção durante a operação de desbaste;
- Consiste no desbaste por íons de Ga+ de duas áreas paralelas, delimitando a área de interesse;
- Extensão área da amostra: ~ 15-20 microns.
Preparação de amostra por FIB
Amostra: Metal Nb3Sn/bronze
Características do processo:
1) permite a escolha de regiões de interesse específico;
2) processo demorado;
3) processo caro;
4) requer treinamento.
Preparação de amostras em pó
Materiais Cerâmicos, Minerais, etc.
- Solução = pó + líquido inerte.
- Solução é misturada no ultra-som (homogeneidade).
- Gota da solução é colocada na grade contendo um filme de carbono.
Pó 100 nm
Par de imagens BF-DF
• A preparação de amostra é uma etapa importante no estudo por MET pois a qualidade dos resultados está diretamente relacionada a qualidade das amostras observadas;
• É recomendável observar as amostras logo após preparação das mesmas;
• Encontre o método de preparação de amostra que melhor funcione para o seu material de estudo. Cada método apresenta suas vantagens, desvantagens e artefatos.
Considerações Finais
Referências
– Williams DB, Carter CB (1996). Transmission Electron Microscopy. I. Basics. Specimen preparation (Cap. 10) Plenum Press, New York, pp 155-173.
– Websites: http://temsamprep.in2p3.fr/http://www.phys.rug.nl/mk/research/
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