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16th Workshop SEMAT/UM, Caracterização Avançada de MateriaisUniversidade do Minho, 17 de Outubro de 201216th Workshop SEMAT/UM, Caracterização Avançada de Materiais
Técnicas de preparação de amostras para análise por MicroscopiaEletrónica (TEM, SEM, STEM)
Universidade do Minho, 17 de Outubro de 2012Universidade do Minho, 17 de Outubro de 2012
RESULTADOS E VANTAGENES DA CARACTERIZAÇÃO DE AMOSTRAS POR MICROSCOPIA ELECTRONICA NO
SEMAT/UM
Edith Ariza AvilaEdith Ariza Avila
16th Workshop SEMAT/UM, Caracterização Avançada de MateriaisUniversidade do Minho, 17 de Outubro de 2012
Tópicos
1 Características FEG-SEM - Nova Nano SEM 200 (FEI)1. Características FEG-SEM - Nova Nano SEM 200 (FEI)
2. Detetores e tipo de informação obtida
3. Potencialidades de Analise e Resultados
16th Workshop SEMAT/UM, Caracterização Avançada de MateriaisUniversidade do Minho, 17 de Outubro de 2012
Características FEG-SEM - Nova Nano SEM 200
Microscópio Eletrónico de Varrimento de emissão de campo (FEG-SEM) (FEI)
Resolução para amostras ideais e à distancia de trabalho ótima:
- 1.0 nm a 15 kV (TLD-SE) - 1.8 nm a 1 kV (TLD-SE) - 0.8 nm a 30 kV (STEM)
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Configuração - Características especiais
Fonte de emissão de eletrões tipo Schottky
Filamento de TungsténioReservatório de ZrO2
Maior Brilho, maior densidade de corrente de emissão, maior
tempo de vida útiltempo de vida útil.
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Configuração - Características especiais
Lentes objetivas com modo duploLentes objetivas com modo duplo
Amostra
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Lentes objetivas com modo duplo
Configuração - Características especiais
Modo I Normal
Lentes objetivas com modo duplo
Modo I – Normal
Campo magnético baixo na amostra
Ideal para amostras magneticamente sensíveis
Modo I- Lentes Magnéticas
Amostra
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Lentes objetivas com modo duplo
Configuração - Características especiais
Modo II – Lentes de imersão
L t d i ã L t i t i
j p
Lentes de imersão: Lentes virtuaisentre as lentes objetivas e a amostra
Ideal trabalhar com baixas tensões deaceleração
As amostras devem estar muito pertodas lentes objetivas
Amostra
das lentes objetivas
Originam a máxima resoluçãoModo II- Lentesde Imersão
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CamaraConfiguração - Características especiais
284 mm direita a esquerda
Distancia analítica de Trabalho (WD) 5mm
Suporte de 3 eixos (X, Y, Z), monitorizado eletronicamente.
Inclinação T = -15° - + 75°(monitorizado manualmente).
Rotação continua de 360°
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Configuração - Características especiais
Camara
Porta-amostras: 7 posições
Porta-amostras individual
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2. Detetores e tipo de informação obtida
Informação TopograficaElectrões secundarios (SE) - (10 nm de profundidade) ( ) ( p )
informação do contraste atómico - composiçãoElectrões retrodifundidos (BSE) (1-2 mµ profundidade)Electrões retrodifundidos (BSE) (1 2 mµ profundidade)
Informação elemental – quantitativa e qualitativaRaios-X (2-5 mµ profundidade)Raios X (2 5 mµ profundidade)
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)
2. Detetores e tipo de informação obtida
c)Feixe Detetor eletrões secundários SE
Detetor Si-Li – Raios-XDetetor eletrões retrodifundidos BSE
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Detetor de eletrões secundários SE
Detetores
Detetor de eletrões secundários – SE-Everhardt-Thornley (ETD)
Detetor de Ultra-alta resolução (TLD - SE-BSE)
Detetor de eletrões retrodifundidos – BSE
Detetor Si-Li – EDX – Microanálise por Raios-X
Detetor de Baixo Vácuo (LVD- SE)
Sistema Integrado EDS-BSED para analise de padrões de difração por eletrõesde padrões de difração por eletrões retrodifundidos
Detetor de Transmissão por varrimento STEM
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3. Potencialidades de Analise e Resultados
Analise topográfico (Detetor SE modo I - Normal)
Lotus Artificial-PLLA-Wenlong Son-3Bs
Cortiça Emmanuel Fernandes 3Bs Hidroxiapatita Gisela Luz 3BsCortiça-Emmanuel Fernandes-3Bs Hidroxiapatita-Gisela Luz-3Bs
Membrana de peprtdos-Daniela Ferreira-3Bs
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3. Potencialidades de Analise e Resultados
Analise topográfico – Amostras não condutoras (Sputtering)
Hi h R l ti S tt C t C i t d l 208 HR ith MTM 20 Hi hHigh Resolution Sputter Coater - Cressington, model 208 HR, with a MTM-20 High resolution Thickness control (Au- Au-Pd, Pt, Cr).
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3. Potencialidades de Analise e Resultados
Analise topográfico (Detetor SE modo I - Normal)
Mineral de Ferro-Jose Alves-DCT
Esferulitas-Polimero-DEP Alumínio Puro-DEM
Particulas Ceramicas-StanislavFerdov-DF
Filme TiO2-DF
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3 P t i lid d d A li R lt d3. Potencialidades de Analise e Resultados
Analise topográfico (Detetor Baixo Vácuo)
Ideal para amostras no condutoras
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3. Potencialidades de Analise e Resultados
Analise topográfico (Detetor de ultra-alta resolução-modo II)
Amostra padrão de Au em Carbono
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Informação de contraste atómico (Detetor eletrões retrodifundidos – BSE)
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Microanálise por Raios-X – (Espectroscopia por Dispersão de Energia EDS)
a)a)
Liga de Aluminio- Catarina Vieira-DEM
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Mapa de distribuição de elementos
Liga metálica Al-Si-Cu-Mg
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Mapa de distribuição de elementos
Fe
Mapa de distribuição de elementos
Al
Si
Mapa de distribuição de elementos
Si
Superfície das folhas de uma arvore exposta a contaminação ambiental-Celeste Gomes-U. CoimbraImagem BSE
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Evaporador de Carbono (Revestimento de amostras não condutoras para analise EDX)
High vacuum evaporatorQuorum/Polaron, model E 67006700.
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Perfis de composição química elementar p ç q
OK PK CaK TiKOK PK CaK TiK
Seção transversal interfase Ti-TiO2-Ca-P para aplicações biomédicas-Alexandra Alves-DEM
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Análise de Padrões de Difração de Eletrões Retrodifundidos (EBSD)
Padrão de difração das bandas de Kikuchi
Identificação de fases b d i t i d i t lbasada na simetria do cristal
Inverse Pole FigureMapa de orientação cristalinaDeterminação do tamanho de grão
Inverse Pole Figure
Orientação preferencial
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Microscopia Eletrónica de transmissão por varrimento (STEM)
Detetor com 8 posições de analise
Avaliação de amostras preparadas para analise TEM
(Grelhas Cobre ou Cu-C)
Analise previa de amostras que vão ser analisadas por
TEM
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Aplicações da microscopia eletrónica de transmissão por varrimento (STEM)
Amostras Biológicas com espessuras
< 2mµ.
Amostras poliméricas preparadas por corte
criogénico com ultramicrotomiacriogénico com ultramicrotomia
Ultramicrotomo- Leica, modelo EM FCS, para corte criogénico de amostras por ultramicrotomia-. SEMAT/UM
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Aplicações da microscopia de transmissão por varrimento (STEM)
Verificação de diversas amostras preparadas
para analise por TEMpara analise por TEM
Polímero Liga de Alumínio
Avaliação de nano-partículas
Nanopartículas de titanato de estrôncio (SrTiO), do tipo Perovskite, sintetizado por via hidrotérmica a 200°C. Preparação para a análise STEM: Diluição propanol a 0,6% , seguida de aplicação de ultra-sons durante 30 minutos. Claudia Mota. SEMAT/UM
16th Workshop SEMAT/UM, Caracterização Avançada de MateriaisUniversidade do Minho, 17 de Outubro de 2012
Obrigadog
Edith Ariza AvilaServiços de Caracterização de Materiais da Universidade do MinhoSEMAT/UMSEMAT/UMEdifício da Escola de Ciências - Sala EC0.05 Universidade do MinhoCampus de Azurem4800-058Guimarães P t lPortugalTel: 253 510 451 (Ext: 510 451)Fax: 253 510 [email protected]://www.semat.lab.uminho.pt